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新型纳米加工技术的研究进展: 1; 作者朱团王英 +2 位作者刑艳邱敏陈丽华《科技创新与应用》 2014年第2期37-37,共1页; 随着纳米技术的发展和电子器件小型化的需求,纳米加工方法越来越多地引起人们的关注,纳米技术的核心是纳米加工技术。新型纳米加工技术突破传统光刻限制和有机高分子结构的限制,属于多项纳米操纵加工技术的系统工程研究,主要特色为瞄准... 展开更多; 关键词无机纳米材料纳米加工技术研究; 在线阅读下载PDF 职称材料

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