东北大学第二期《真空技术》培训班在沈阳圆满结束

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作者 无 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期319-319,共1页

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磁控溅射TiO_2膜的真空度对薄膜亲水性影响的实验研究 被引量：7

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作者 巴德纯 常学森 +1 位作者 闻立时 刘坤 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期155-158,共4页

采用反应溅射技术可以制备出具有亲水作用的TiO2薄膜。这种TiO2薄膜断面呈现柱状晶体结构。薄膜表面出现不规则起伏。薄膜的晶相主体均为锐钛矿型。TiO2薄膜的光透射谱变化不大。这种TiO2薄膜经紫外光辐照后,可以降低水和TiO2薄膜表面... 采用反应溅射技术可以制备出具有亲水作用的TiO2薄膜。这种TiO2薄膜断面呈现柱状晶体结构。薄膜表面出现不规则起伏。薄膜的晶相主体均为锐钛矿型。TiO2薄膜的光透射谱变化不大。这种TiO2薄膜经紫外光辐照后,可以降低水和TiO2薄膜表面之间的接触角。不同工艺条件下制备的TiO2薄膜接触角相差很大。在纯氧条件下,薄膜制备的真空度对薄膜的亲水性有着决定性的影响。 展开更多

关键词 TIO2薄膜 亲水特性 反应溅射 真空度

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高真空直排大气干泵的最新进展 被引量：17

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作者 刘坤 巴德纯 +3 位作者 杨乃恒 常学森 李涛 陈瑶 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期21-25,共5页

为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大... 为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气干泵,并实现了商业化,已经应用于实际生产中。本文以其中具有代表性的英国BOC Edwards公司的EPX干泵和德国Pfeiffer Vacuum公司的OnTool干泵为例,简单介绍了其原理、结构、性能,为国内从事真空应用和干泵研发人员提供参考。 展开更多

关键词 干式真空泵 高真空 直排大气研究进展

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RH真空精炼吹氩参数对循环流动影响的数值分析 被引量：15

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作者 王晓冬 王维娜 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期682-685,共4页

为研究RH真空脱气过程中的流动行为,建立了描述气泡驱动下的RH循环气-液两相流动的数学模型。基于欧拉-欧拉两流体模型,利用计算流体力学(CFD)商业软件FLUENT6.0,对不同充气量条件下的循环流量进行了预测。计算结果与实验数据的比较表... 为研究RH真空脱气过程中的流动行为,建立了描述气泡驱动下的RH循环气-液两相流动的数学模型。基于欧拉-欧拉两流体模型,利用计算流体力学(CFD)商业软件FLUENT6.0,对不同充气量条件下的循环流量进行了预测。计算结果与实验数据的比较表明两者具有较好的一致性。应用该模型对充气压强与循环流量、充气量与上升管内气相及液相速度分布关系进行了数值模拟,用以理解其中的流动规律,为工程技术改进提供参考。 展开更多

关键词 RH真空精炼 气-液两相流 CFD建模 吹氩参数 数值模拟

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电絮凝水处理技术阳极优化的研究 被引量：8

5

作者 张以忱 钱炯 +1 位作者 左继成 吴达 《工业水处理》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期4-6,共3页

简介了电絮凝法处理废水的基本原理,重点探讨了目前电絮凝水处理技术中存在的阳极钝化问题,以及影响阳极钝化的主要因素,并提出了解决阳极钝化的方法和建议。在实际处理工艺中,可以从采用新型电极、磁场效应以及改进电源技术等方面着手... 简介了电絮凝法处理废水的基本原理,重点探讨了目前电絮凝水处理技术中存在的阳极钝化问题,以及影响阳极钝化的主要因素,并提出了解决阳极钝化的方法和建议。在实际处理工艺中,可以从采用新型电极、磁场效应以及改进电源技术等方面着手,对工作阳极做进一步优化,降低电能消耗和材料消耗,以促进电絮凝水处理技术的推广应用。 展开更多

关键词 电絮凝 水处理 钝化 阳极优化

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La掺杂对SnO_2薄膜光学特性影响的第一性原理及实验研究 被引量：4

6

作者 单麟婷 巴德纯 +2 位作者 林义涵 侯雪艳 李建昌 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期6-11,共6页

采用密度泛函理论的第一性原理平面波超软赝势方法探讨了La掺杂对Sn O2光学特性的影响,并通过实验进行验证。理论分析表明,由于La的掺入,费米能级上移进入导带,禁带宽度变小,介电函数虚部与吸收谱发生红移。实验结果表明La掺杂并没有改... 采用密度泛函理论的第一性原理平面波超软赝势方法探讨了La掺杂对Sn O2光学特性的影响,并通过实验进行验证。理论分析表明,由于La的掺入,费米能级上移进入导带,禁带宽度变小,介电函数虚部与吸收谱发生红移。实验结果表明La掺杂并没有改变晶型结构,晶格常数略微增大,晶粒尺寸减小。薄膜在可见光区的透过率除7%La掺杂外均超过80%,且随掺杂浓度增加禁带宽度逐渐减小,实验结果与理论计算结果相互验证,为稀土掺杂Sn O2的研究提供依据。 展开更多

关键词 LA掺杂 Sn02 溶胶凝胶法 第一性原理 光学特性

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RH-KTB大型真空冶金系统智能故障诊断

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作者 巴德纯 王庆 王晓冬 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期12-15,26,共5页

研究RH-KTB系统的故障种类及特点,进行故障树分析,找出故障间的关系并建立了原始样本采集系统.利用决策树理论对炉外精练大型真空冶金系统的约简集进行快速学习和分类.最后,提出一种基于粗糙集-决策树理论的炉外精炼大型真空冶金系统故... 研究RH-KTB系统的故障种类及特点,进行故障树分析,找出故障间的关系并建立了原始样本采集系统.利用决策树理论对炉外精练大型真空冶金系统的约简集进行快速学习和分类.最后,提出一种基于粗糙集-决策树理论的炉外精炼大型真空冶金系统故障诊断模型.从理论上保证及时对干扰数据进行排除并实现快速诊断.基于该模型开发了一套智能故障诊断系统并应用于大型真空冶金系统,应用效果良好. 展开更多

关键词 真空冶金系统 RH-KTB 智能故障诊断 故障树 决策树

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基于RFPECVD方法不锈钢上沉积类金刚石薄膜的机械与摩擦特性 被引量：16

8

作者 蔺增 巴德纯 +1 位作者 王志 闻立时 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期77-80,共4页

讨论用射频等离子体增强化学气相沉积 (RFPECVD)工艺 ,在室温下实现在 1Cr18Ni9Ti不锈钢基底上镀类金刚石(DLC)膜。为提高DLC膜的结合力 ,首先在不锈钢基底上沉积Ti/TiN/TiC功能梯度膜。借助所设计的界面过渡层 ,成功地在不锈钢基底上... 讨论用射频等离子体增强化学气相沉积 (RFPECVD)工艺 ,在室温下实现在 1Cr18Ni9Ti不锈钢基底上镀类金刚石(DLC)膜。为提高DLC膜的结合力 ,首先在不锈钢基底上沉积Ti/TiN/TiC功能梯度膜。借助所设计的界面过渡层 ,成功地在不锈钢基底上沉积了一定厚度的DLC膜。通过优化沉积参数 ,所沉积的DLC膜在与 10 0Cr6钢球对磨时摩擦系数低于 0 0 2 0。在摩擦过程中DLC膜的磨损机制借助SEM、Raman分析进行了研究。 展开更多

关键词 RFPECVD法 不锈钢 类金刚石薄膜 射频等离子体增强化学气相沉积 DLC 摩擦系数

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螺旋槽式牵引泵过渡流态抽气特性的直接蒙特卡洛模拟 被引量：8

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作者 王晓冬 金磊 +2 位作者 钟亮 巴德纯 杨乃恒 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期517-521,共5页

为研究螺旋槽式牵引分子泵(DMP)过渡流态下的抽气特性,采用直接模拟蒙特卡罗(DSMC)方法对抽气通道内的流动规律进行了数值模拟。通过数值模拟,考察了抽气通道几何参数:入口、出口槽深,槽长,螺旋升角以及螺旋槽数量与泵抽气特性参数:传... 为研究螺旋槽式牵引分子泵(DMP)过渡流态下的抽气特性,采用直接模拟蒙特卡罗(DSMC)方法对抽气通道内的流动规律进行了数值模拟。通过数值模拟,考察了抽气通道几何参数:入口、出口槽深,槽长,螺旋升角以及螺旋槽数量与泵抽气特性参数:传输几率的关系。模拟结果表明:增加抽气通道入口槽深可提高泵的抽速;出口槽深、螺旋倾角均存在最佳值,可获得大的抽速和压缩比;延长槽长、增加槽数对抽速影响不大,可以提高压缩比。本文的研究结果表明,直接模拟蒙特卡罗方法可以较好地模拟牵引分子泵三维抽气通道内过渡流态的流动特性,可用于优化设计抽气通道几何参数,提高牵引分子泵的抽气性能。 展开更多

关键词 牵引分子泵 螺旋槽式 过渡流态 蒙特卡洛方法 数值模拟

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一种适于直排大气的罗茨干泵转子的型线与结构 被引量：5

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作者 刘坤 巴德纯 +3 位作者 张振厚 王光玉 常学森 杨乃恒 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期446-449,共4页

IC装备制造业是国家发展战略的重要行业。在该行业中,70%的工作需要在对洁净度要求苛刻的真空环境下进行。而在用于IC装备制造业的干式罗茨泵中,一对罗茨转子的生产成本占总成本的40%左右。罗茨转子是罗茨真空泵的最关键的核心部件。本... IC装备制造业是国家发展战略的重要行业。在该行业中,70%的工作需要在对洁净度要求苛刻的真空环境下进行。而在用于IC装备制造业的干式罗茨泵中,一对罗茨转子的生产成本占总成本的40%左右。罗茨转子是罗茨真空泵的最关键的核心部件。本文基于啮合原理,通过计算机动画编程和理论计算,提出一种适合直排大气罗茨干泵的转子型线,并对型线和转子结构进行改进,使加工更为简单。分析了容积利用系数和转子间隙分布,并得出结论:(1)改进型线的容积利用系数的改变量在5%以内,对抽气性能影响不大;(2)转子啮合时的间隙分布绝对误差在0.025mm以内,并不影响泵的热力学及抽气性能,验证了结构改进的合理性。文末还介绍了一个改进结构罗茨转子加工的实例。 展开更多

关键词 罗茨真空泵 型线设计 啮合原理 直排大气 容积利用系数 啮合间隙分布

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吸入压力对水蒸汽喷射泵抽气性能影响的数值分析 被引量：7

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作者 王晓冬 董敬亮 屠基元 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期695-698,共4页

为研究水蒸汽喷射泵内部工作蒸汽与被抽气体的流动及其相互作用规律,考察被抽气体压力改变引起的膨胀比、压缩比变化对泵性能的影响机制,基于realizablek-ε湍流模型,建立了描述喷射泵内跨音速流动的数学模型。对喷射泵内压力沿壁面的... 为研究水蒸汽喷射泵内部工作蒸汽与被抽气体的流动及其相互作用规律,考察被抽气体压力改变引起的膨胀比、压缩比变化对泵性能的影响机制,基于realizablek-ε湍流模型,建立了描述喷射泵内跨音速流动的数学模型。对喷射泵内压力沿壁面的分布进行了数值模拟。模拟结果与实验数据有很好的一致性,验证了理论模型的适用性。应用所建模型,在不同被抽气体压力条件下,对喷射泵内部被抽气体流动迹线、质量流率分布进行了数值预测,并计算了泵的引射系数。结果表明,被抽气体的质量流率随吸入压力的升高而增大,在被抽气体有效流动截面变化不大的情况下,使喷射泵引射系数相应增加,说明被抽气体压力增加引起的压缩比减少对引射系数的增加作用强于膨胀比减小对引射系数的减小作用。 展开更多

关键词 水蒸汽喷射泵 跨音速流动 引射系数 CFD建模 数值模拟

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盘型分子泵3D过渡流特性 被引量：3

12

作者 巴德纯 刘波 +2 位作者 王晓冬 杨乃恒 于治明 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期11-15,共5页

采用直接模拟蒙特卡罗方法对过渡流态下盘型分子泵的抽气特性进行了模拟研究 ,并讨论了盘型分子泵通道几何参数对流动特性的影响。指出了通过改变泵的尺寸参数提高抽气系数的途径。最后 ,进行了实验研究和模拟研究结果的对比 。

关键词 盘型分子泵 过渡流特性 抽气特性 直接模拟蒙特卡罗法 DSMC 麦氏分布

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单级水蒸汽喷射泵抽气模型的修正 被引量：2

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作者 王晓冬 巴德纯 +3 位作者 王庆 廖国进 于治明 杨乃恒 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期54-56,共3页

11从研究单级水蒸气喷射泵计算模型出发,对前人的三种典型计算模型的计算结果与实验数据进行比较,得出各自的计算误差,继而对各自的实用性进行评价.在对奥·芳夫计算模型的进一步计算分析中发现计算曲线存在非单调的情况.用回归软... 11从研究单级水蒸气喷射泵计算模型出发,对前人的三种典型计算模型的计算结果与实验数据进行比较,得出各自的计算误差,继而对各自的实用性进行评价.在对奥·芳夫计算模型的进一步计算分析中发现计算曲线存在非单调的情况.用回归软件进行回归处理后,得到计算曲线偏离实际部分的修正式.修正后的计算模型可用于单级水蒸气喷射泵的设计,是多级泵优化设计的基础. 展开更多

关键词 水蒸汽喷射泵 抽气理论 设计计算 回归分析

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垂直上升圆管内等温泡状流的数值模拟 被引量：2

14

作者 王晓冬 张孜博 屠基元 《力学学报》 EI CSCD 北大核心 2008年第4期441-446,共6页

介绍了描述等温状态下垂直气泡流流动的总体平衡方法(population balance approach).将平均气泡数密度控制方程引入到双流体模型中实现总体平衡.介绍了描述气泡聚并与破裂机制的Yao和Morel理论模型以及Hibiki等人的实验方法.利用商业计... 介绍了描述等温状态下垂直气泡流流动的总体平衡方法(population balance approach).将平均气泡数密度控制方程引入到双流体模型中实现总体平衡.介绍了描述气泡聚并与破裂机制的Yao和Morel理论模型以及Hibiki等人的实验方法.利用商业计算流体力学软件ANSYS CFX10,对圆管特定位置上的5个基本变量:气含率、气泡平均直径、相间表面积浓度以及气体和液体速度沿半径分布进行了模拟计算.预测结果与实验数据的比较表明,预测结果和实测数据之间有很好的一致性. 展开更多

关键词 气-液两相流 泡状流动 CFD建模 总体平衡方法 数值模拟

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大面积取向生长碳纳米管的ECR-CVD方法制备与表征 被引量：1

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作者 王志 巴德纯 +4 位作者 刘飞 曹培江 杨天中 顾有松 庞世谨 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期385-388,共4页

本文采用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积方法 (ECR -CVD) ,以CH4和H2 为气源、Fe3 O4纳米粒子为催化剂 ,未加电场 ,在多孔硅基底上制备出大面积取向生长碳纳米管。使用扫描电子显微镜 (SEM)、透射电子显微镜 (TEM)、X射线衍射 (X... 本文采用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积方法 (ECR -CVD) ,以CH4和H2 为气源、Fe3 O4纳米粒子为催化剂 ,未加电场 ,在多孔硅基底上制备出大面积取向生长碳纳米管。使用扫描电子显微镜 (SEM)、透射电子显微镜 (TEM)、X射线衍射 (XRD)、X射线能量色散分析 (EDX)对样品形貌和结构进行表征。结果显示 :合成的碳纳米管为多壁碳管 ;碳纳米管直径 6 0nm～ 90nm ,长度约 8μm ;碳纳米管展现出中空管状和链状两种结构 ;碳纳米管的生长采取催化剂底端生长模式。 展开更多

关键词 制备与表征 碳纳米管 取向生长 色散 电子回旋共振 多孔硅 ECR CVD 硅基底 微波等离子体化学气相沉积

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气体配比对硼掺杂碳纳米管生长特性的影响 被引量：1

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作者 王志 巴德纯 +3 位作者 蔺增 曹培江 刘飞 梁吉 《新型炭材料》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期350-354,共5页

采用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积技术(ECR-CVD),以Fe3O4纳米粒子为催化剂,CH4、B2H6和H2为气源,在多孔硅基底上制备出了掺硼碳纳米管。研究了不同B2H6/CH4气体配比对碳纳米管生长特性的影响。使用扫描电子显微镜(SEM)、透射... 采用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积技术(ECR-CVD),以Fe3O4纳米粒子为催化剂,CH4、B2H6和H2为气源,在多孔硅基底上制备出了掺硼碳纳米管。研究了不同B2H6/CH4气体配比对碳纳米管生长特性的影响。使用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和X射线光电子谱(XPS)对样品的形貌、结构及组分进行表征。结果表明:B2H6对纳米管的生长具有较大影响。气源中含有少量的B2H6就会破坏纳米管的定向生长,使纳米管变得弯曲;随着气源中B2H6比例的增加,纳米管结构从中空结构转变为类竹节结构,多壁管外径由60nm^90nm增大至200nm^250nm,管壁由10nm^20nm增厚至70nm^100nm,表面变得粗糙,同时纳米管的生长速度降低;纳米管中的B/C原子比随着B2H6比例的增大而增大,当B2H6/CH4体积配比为2∶1时B/C原子比增至28∶72。 展开更多

关键词 碳纳米管 硼掺杂 等离子体化学气相沉积技术 气体配比

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大型水蒸汽喷射泵系统故障诊断专家系统 被引量：1

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作者 王晓冬 巴德纯 等 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2002年第B12期88-91,共4页

运用水蒸汽喷射泵抽气理论，结合射泵运行实际，分析喷射泵常见故障，可能产生的原因及处理方法，形成专家系统库，用产生式规则对知识进行表达；在水蒸汽喷射泵上，安装压力，温度，流量等传感器，获得所需数据，形成专家系统数据库，... 运用水蒸汽喷射泵抽气理论，结合射泵运行实际，分析喷射泵常见故障，可能产生的原因及处理方法，形成专家系统库，用产生式规则对知识进行表达；在水蒸汽喷射泵上，安装压力，温度，流量等传感器，获得所需数据，形成专家系统数据库，当喷射泵出现故障时，采用逆向推理机制从目标出发，找出故障可能产生的原因。此外，专家系统具有自学习功能，可以提高专家系统故障诊断的针对性和准确性。 展开更多

关键词 水蒸汽喷射泵 故障诊断 专家系统 抽气理论 人工智能 数据库

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碳纳米管宏观条带的原位制备

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作者 王志 巴德纯 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2019-2022,共4页

采用化学气相沉积法(CVD),以二甲苯为碳源,二茂铁为催化剂,在涂有SiO2薄膜的不锈钢基底上,原位制备出了碳纳米管宏观条带。使用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和拉曼光谱(Raman)对样品形貌和结构进行了表征。结果显示:合成... 采用化学气相沉积法(CVD),以二甲苯为碳源,二茂铁为催化剂,在涂有SiO2薄膜的不锈钢基底上,原位制备出了碳纳米管宏观条带。使用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和拉曼光谱(Raman)对样品形貌和结构进行了表征。结果显示:合成的碳纳米管条带宽度为20～100μm,厚度10～30μm,长度可达6mm;条带由大量多壁碳纳米管沿轴向密实排列组成。对其形成机制进行了初步探讨。 展开更多

关键词 碳纳米管 条带 化学气相沉积 宏观体

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