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磁控反应溅射氧流量变化对TiO_2薄膜影响的实验研究
被引量:
3
1
作者
常学森
巴德纯
+1 位作者
闻立时
刘坤
《真空与低温》
2007年第3期163-167,共5页
通过中频交流磁控溅射设备,利用金属Ti靶制备出了有一定厚度的、质量较好的TiO2薄膜,TiO2薄膜被沉积在玻璃基底上。利用各种分析测试手段对其性能进行了测试,初步探讨了不同氧流量对TiO2薄膜的影响。实验表明,不同氧流量下制备的TiO2薄...
通过中频交流磁控溅射设备,利用金属Ti靶制备出了有一定厚度的、质量较好的TiO2薄膜,TiO2薄膜被沉积在玻璃基底上。利用各种分析测试手段对其性能进行了测试,初步探讨了不同氧流量对TiO2薄膜的影响。实验表明,不同氧流量下制备的TiO2薄膜的亲水特性发生了变化。
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关键词
纳米二氧化钛
薄膜
光电效应
亲水性
磁控溅射
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职称材料
垂直上升圆管内等温泡状流的数值模拟
被引量:
2
2
作者
王晓冬
张孜博
屠基元
《力学学报》
EI
CSCD
北大核心
2008年第4期441-446,共6页
介绍了描述等温状态下垂直气泡流流动的总体平衡方法(population balance approach).将平均气泡数密度控制方程引入到双流体模型中实现总体平衡.介绍了描述气泡聚并与破裂机制的Yao和Morel理论模型以及Hibiki等人的实验方法.利用商业计...
介绍了描述等温状态下垂直气泡流流动的总体平衡方法(population balance approach).将平均气泡数密度控制方程引入到双流体模型中实现总体平衡.介绍了描述气泡聚并与破裂机制的Yao和Morel理论模型以及Hibiki等人的实验方法.利用商业计算流体力学软件ANSYS CFX10,对圆管特定位置上的5个基本变量:气含率、气泡平均直径、相间表面积浓度以及气体和液体速度沿半径分布进行了模拟计算.预测结果与实验数据的比较表明,预测结果和实测数据之间有很好的一致性.
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关键词
气-液两相流
泡状流动
CFD建模
总体平衡方法
数值模拟
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职称材料
磁控溅射状态三个参数理论分析
被引量:
1
3
作者
常学森
巴德纯
+2 位作者
刘坤
李飞
张健
《真空与低温》
2007年第3期178-182,共5页
应用了宏观统计学的理论,以矩形平面磁控溅射靶为例,分析了在不同的磁场、电场和真空度的条件下,保持磁控溅射靶的工作状态,以及实现高质量磁控溅射薄膜的优化条件。通过分析表明,磁控溅射的磁场、电场与真空度存在着密切的关系,在磁控...
应用了宏观统计学的理论,以矩形平面磁控溅射靶为例,分析了在不同的磁场、电场和真空度的条件下,保持磁控溅射靶的工作状态,以及实现高质量磁控溅射薄膜的优化条件。通过分析表明,磁控溅射的磁场、电场与真空度存在着密切的关系,在磁控溅射中为了获得原子理想的沉积状态,必须对磁场、电场与真空度的参数进行合理的设定。三者参数的设定必须遵循其内在的关系和规律。
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关键词
磁控溅射
电场强度
磁场强度
压力
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职称材料
题名
磁控反应溅射氧流量变化对TiO_2薄膜影响的实验研究
被引量:
3
1
作者
常学森
巴德纯
闻立时
刘坤
机构
东北大学
真空
与
流体
工程
研究
中心
中国科
学院
金属
研究
所
出处
《真空与低温》
2007年第3期163-167,共5页
文摘
通过中频交流磁控溅射设备,利用金属Ti靶制备出了有一定厚度的、质量较好的TiO2薄膜,TiO2薄膜被沉积在玻璃基底上。利用各种分析测试手段对其性能进行了测试,初步探讨了不同氧流量对TiO2薄膜的影响。实验表明,不同氧流量下制备的TiO2薄膜的亲水特性发生了变化。
关键词
纳米二氧化钛
薄膜
光电效应
亲水性
磁控溅射
Keywords
nanostructured TiO2
film
oxygen flux
hydrophility
magnetron sputtering
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
垂直上升圆管内等温泡状流的数值模拟
被引量:
2
2
作者
王晓冬
张孜博
屠基元
机构
东北大学
真空
与
流体
工程
研究
中心
墨尔本皇家理工
大学
航空与
机械工程
学院
出处
《力学学报》
EI
CSCD
北大核心
2008年第4期441-446,共6页
基金
澳洲国家自然科学基金(DP0556095)~~
文摘
介绍了描述等温状态下垂直气泡流流动的总体平衡方法(population balance approach).将平均气泡数密度控制方程引入到双流体模型中实现总体平衡.介绍了描述气泡聚并与破裂机制的Yao和Morel理论模型以及Hibiki等人的实验方法.利用商业计算流体力学软件ANSYS CFX10,对圆管特定位置上的5个基本变量:气含率、气泡平均直径、相间表面积浓度以及气体和液体速度沿半径分布进行了模拟计算.预测结果与实验数据的比较表明,预测结果和实测数据之间有很好的一致性.
关键词
气-液两相流
泡状流动
CFD建模
总体平衡方法
数值模拟
Keywords
gas-liquid flow, bubbly flow, CFD modeling, population balance approach, numerical simulation
分类号
O359.1 [理学—流体力学]
在线阅读
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职称材料
题名
磁控溅射状态三个参数理论分析
被引量:
1
3
作者
常学森
巴德纯
刘坤
李飞
张健
机构
东北大学
真空
与
流体
工程
研究
中心
出处
《真空与低温》
2007年第3期178-182,共5页
文摘
应用了宏观统计学的理论,以矩形平面磁控溅射靶为例,分析了在不同的磁场、电场和真空度的条件下,保持磁控溅射靶的工作状态,以及实现高质量磁控溅射薄膜的优化条件。通过分析表明,磁控溅射的磁场、电场与真空度存在着密切的关系,在磁控溅射中为了获得原子理想的沉积状态,必须对磁场、电场与真空度的参数进行合理的设定。三者参数的设定必须遵循其内在的关系和规律。
关键词
磁控溅射
电场强度
磁场强度
压力
Keywords
magnetron sputtering
electromotive intensity
magnetic intensity
pressure intensity
分类号
TN305.92 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
磁控反应溅射氧流量变化对TiO_2薄膜影响的实验研究
常学森
巴德纯
闻立时
刘坤
《真空与低温》
2007
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
垂直上升圆管内等温泡状流的数值模拟
王晓冬
张孜博
屠基元
《力学学报》
EI
CSCD
北大核心
2008
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
磁控溅射状态三个参数理论分析
常学森
巴德纯
刘坤
李飞
张健
《真空与低温》
2007
1
在线阅读
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职称材料
已选择
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