期刊文献+
共找到3篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
磁控反应溅射氧流量变化对TiO_2薄膜影响的实验研究 被引量:3
1
作者 常学森 巴德纯 +1 位作者 闻立时 刘坤 《真空与低温》 2007年第3期163-167,共5页
通过中频交流磁控溅射设备,利用金属Ti靶制备出了有一定厚度的、质量较好的TiO2薄膜,TiO2薄膜被沉积在玻璃基底上。利用各种分析测试手段对其性能进行了测试,初步探讨了不同氧流量对TiO2薄膜的影响。实验表明,不同氧流量下制备的TiO2薄... 通过中频交流磁控溅射设备,利用金属Ti靶制备出了有一定厚度的、质量较好的TiO2薄膜,TiO2薄膜被沉积在玻璃基底上。利用各种分析测试手段对其性能进行了测试,初步探讨了不同氧流量对TiO2薄膜的影响。实验表明,不同氧流量下制备的TiO2薄膜的亲水特性发生了变化。 展开更多
关键词 纳米二氧化钛 薄膜 光电效应 亲水性 磁控溅射
在线阅读 下载PDF
垂直上升圆管内等温泡状流的数值模拟 被引量:2
2
作者 王晓冬 张孜博 屠基元 《力学学报》 EI CSCD 北大核心 2008年第4期441-446,共6页
介绍了描述等温状态下垂直气泡流流动的总体平衡方法(population balance approach).将平均气泡数密度控制方程引入到双流体模型中实现总体平衡.介绍了描述气泡聚并与破裂机制的Yao和Morel理论模型以及Hibiki等人的实验方法.利用商业计... 介绍了描述等温状态下垂直气泡流流动的总体平衡方法(population balance approach).将平均气泡数密度控制方程引入到双流体模型中实现总体平衡.介绍了描述气泡聚并与破裂机制的Yao和Morel理论模型以及Hibiki等人的实验方法.利用商业计算流体力学软件ANSYS CFX10,对圆管特定位置上的5个基本变量:气含率、气泡平均直径、相间表面积浓度以及气体和液体速度沿半径分布进行了模拟计算.预测结果与实验数据的比较表明,预测结果和实测数据之间有很好的一致性. 展开更多
关键词 气-液两相流 泡状流动 CFD建模 总体平衡方法 数值模拟
在线阅读 下载PDF
磁控溅射状态三个参数理论分析 被引量:1
3
作者 常学森 巴德纯 +2 位作者 刘坤 李飞 张健 《真空与低温》 2007年第3期178-182,共5页
应用了宏观统计学的理论,以矩形平面磁控溅射靶为例,分析了在不同的磁场、电场和真空度的条件下,保持磁控溅射靶的工作状态,以及实现高质量磁控溅射薄膜的优化条件。通过分析表明,磁控溅射的磁场、电场与真空度存在着密切的关系,在磁控... 应用了宏观统计学的理论,以矩形平面磁控溅射靶为例,分析了在不同的磁场、电场和真空度的条件下,保持磁控溅射靶的工作状态,以及实现高质量磁控溅射薄膜的优化条件。通过分析表明,磁控溅射的磁场、电场与真空度存在着密切的关系,在磁控溅射中为了获得原子理想的沉积状态,必须对磁场、电场与真空度的参数进行合理的设定。三者参数的设定必须遵循其内在的关系和规律。 展开更多
关键词 磁控溅射 电场强度 磁场强度 压力
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部