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半导体制程设备铝合金涂层腐蚀失效行为研究进展: 1; 作者赵阳王宇航 +1 位作者张涛王福会《东北大学学报(自然科学版)》北大核心 2025年第3期28-45,共18页; 在半导体制程设备中,在高温、真空、强腐蚀气体及其等离子体耦合作用下,铝合金涂层极易发生失效.在氯基等离子体中,阳极氧化涂层极易被刻蚀去除,Y_(2)O_(3)涂层的刻蚀速率约为阳极氧化涂层的1/50;在氟基等离子体中,阳极氧化涂层和Y_(2)O... 展开更多; 关键词半导体制程设备阳极氧化涂层 Y_(2)O_(3)涂层腐蚀失效行为卤素气体等离子体; 在线阅读下载PDF 职称材料

多道次变形条件下V-N微合金钢的流变应力模型: 2; 作者周晓光赵金帆 +1 位作者姜珊曹光明《东北大学学报(自然科学版)》北大核心 2025年第2期35-41,共7页; 为建立多道次变形条件下V-N微合金钢的流变应力模型,采用DIL805热膨胀相变仪对实验钢进行了多道次压缩实验,并绘制了应力-应变曲线.Hensel-Spittel模型高精度地模拟了实验钢在单道次变形条件下的流变应力.当变形温度和应变速率不变时,... 展开更多; 关键词流变应力遗传算法静态再结晶位错密度支持向量机算法; 在线阅读下载PDF 职称材料

轧制及热处理工艺对3Cr2NiMo钢特厚板力学性能的影响: 3; 作者孔令熠骆宗安 +1 位作者冯莹莹邬早勤《精密成形工程》北大核心 2025年第7期52-61,共10页; 目的制备3Cr2NiMo钢特厚板,解决3Cr2NiMo钢在轧制过程中焊缝易开裂、界面强韧性差、轧后硬度不均匀的问题。方法在对2块3Cr2NiMo钢预热后,采用真空电子束焊接在5×10^(-2)Pa的真空条件下对其进行组坯封边,再通过不同的轧制工艺将组... 展开更多; 关键词真空轧制复合复合界面热轧压下率微观组织; 在线阅读下载PDF 职称材料

低品位金属化球团熔分的热力学行为: 4; 作者彭程杨策姜周华《材料与冶金学报》北大核心 2025年第4期362-369,共8页; 以金属化率为60%的低品位金属化球团为研究对象,使用热力学软件FactSage 8.3分析了其熔分过程,熔渣的熔点和黏度,以及熔渣与耐火材料间的相互作用.结果表明:金属化球团熔分的温度应高于1 515℃;每加入1 t金属化球团进行熔分时,应额外添... 展开更多; 关键词金属化球团热力学模拟熔分铁收得率熔渣物性炉衬侵蚀; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种中碳中硅含镍超高强韧弹簧钢的设计与组织性能: 5; 作者袁长波侯世耀 +3 位作者王帅张阳赵阳陈礼清《材料与冶金学报》 2025年第4期379-386,共8页; 设计了一种含镍的中碳中硅弹簧钢,并研究了热处理工艺对其力学性能和微观组织的影响.结果表明:合适的淬火温度能够细化弹簧钢的晶粒和马氏体板条尺寸,但力学性能对淬火温度不敏感;在回火过程中,主要发生马氏体基体的回复和碳化物的析出... 展开更多; 关键词含镍弹簧钢力学性能微观组织热处理工艺; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名半导体制程设备铝合金涂层腐蚀失效行为研究进展: 1; 作者赵阳王宇航张涛王福会; 机构东北大学数字钢铁全国重点实验室; 出处《东北大学学报(自然科学版)》北大核心 2025年第3期28-45,共18页; 基金国家自然科学基金资助项目(52371055).; 文摘在半导体制程设备中,在高温、真空、强腐蚀气体及其等离子体耦合作用下,铝合金涂层极易发生失效.在氯基等离子体中,阳极氧化涂层极易被刻蚀去除,Y_(2)O_(3)涂层的刻蚀速率约为阳极氧化涂层的1/50;在氟基等离子体中,阳极氧化涂层和Y_(2)O_(3)涂层均存在氟化物层剥落导致的颗粒问题.通过调节电解液的成分/温度、制备纯铝层可提高阳极氧化涂层的耐蚀性能,提高Y_(2)O_(3)涂层的致密性同样可降低涂层的刻蚀速率,结合远程等离子体清洗技术,避免带电粒子轰击腔室材料,可显著减少反应腔室中颗粒的产生.在刻蚀和薄膜沉积过程中,腔室表面成分发生变化,进而改变等离子体状态,将引发多种工艺缺陷.; 关键词半导体制程设备阳极氧化涂层 Y_(2)O_(3)涂层腐蚀失效行为卤素气体等离子体; Keywords semiconductor fabrication equipment anodized coating Y_(2)O_(3)coating corrosion fatigue behavior halogen gas plasma; 分类号 TG178 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名多道次变形条件下V-N微合金钢的流变应力模型: 2; 作者周晓光赵金帆姜珊曹光明; 机构东北大学数字钢铁全国重点实验室; 出处《东北大学学报(自然科学版)》北大核心 2025年第2期35-41,共7页; 基金国家重点研发计划项目(2022YFB3304800) 辽宁省科技专项项目(2022JH25/10200001) 中国博士后科学基金资助项目(2022T150205)。; 文摘为建立多道次变形条件下V-N微合金钢的流变应力模型,采用DIL805热膨胀相变仪对实验钢进行了多道次压缩实验,并绘制了应力-应变曲线.Hensel-Spittel模型高精度地模拟了实验钢在单道次变形条件下的流变应力.当变形温度和应变速率不变时,采用遗传算法优化了多道次变形条件下Hensel-Spittel模型参数.基于支持向量机(support vector machine,SVM)算法建立了变形前静态再结晶体积分数、变形前奥氏体晶粒尺寸、位错密度、变形温度和应变速率与模型参数的对应关系.结果表明,多道次变形条件下流变应力预测值与实测值吻合良好.研究结果为精准描述多道次变形条件下V-N微合金钢的流变应力提供了有力的支持.; 关键词流变应力遗传算法静态再结晶位错密度支持向量机算法; Keywords flow stress genetic algorithm static recrystallization dislocation density support vector machine algorithm; 分类号 TG142.1 [金属学及工艺—金属材料]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名轧制及热处理工艺对3Cr2NiMo钢特厚板力学性能的影响: 3; 作者孔令熠骆宗安冯莹莹邬早勤; 机构东北大学数字钢铁全国重点实验室唐山文丰特钢有限公司; 出处《精密成形工程》北大核心 2025年第7期52-61,共10页; 基金山东省重点研发计划(2020CXGC010304)。; 文摘目的制备3Cr2NiMo钢特厚板,解决3Cr2NiMo钢在轧制过程中焊缝易开裂、界面强韧性差、轧后硬度不均匀的问题。方法在对2块3Cr2NiMo钢预热后,采用真空电子束焊接在5×10^(-2)Pa的真空条件下对其进行组坯封边,再通过不同的轧制工艺将组合坯复合,后续对坯料进行回火热处理以解决硬度不均匀的问题。结果随着轧制压下率的增大,复合界面处氧化物的尺寸变小,在70%压下率下,界面已无明显氧化物,界面两侧基体组织均为下贝氏体。在630℃下回火3 h随炉冷却后,界面两侧组织较为均匀,复合界面氧化物尺寸有所减小,有助于界面强度的提高。回火后,50%与70%压下率的板坯沿厚度方向的硬度均为28HRC~32 HRC,满足模具行业的使用要求。回火后,70%压下率试样z向拉伸断裂位置未在界面处,出现了颈缩现象,且为韧性断裂,抗拉强度可达971MPa,延伸率达到22.5%,冶金结合质量较好。结论70%压下率的轧制工艺及630℃回火3 h后炉冷的冷却方式成功解决了3Cr2NiMo钢界面强韧性差、轧后硬度不均匀的问题。; 关键词真空轧制复合复合界面热轧压下率微观组织; Keywords composite process of vacuum rolling composite interface hot rolling reduction rate microstructure; 分类号 TG335.18 [金属学及工艺—金属压力加工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名低品位金属化球团熔分的热力学行为: 4; 作者彭程杨策姜周华; 机构宝武集团环境资源科技有限公司东北大学冶金学院东北大学数字钢铁全国重点实验室; 出处《材料与冶金学报》北大核心 2025年第4期362-369,共8页; 基金重点研发计划资助项目(2022YFC3901403) 中国宝武低碳冶金创新基金资助项目(BWLCF202211) 中央高校基本科研业务专项资金资助项目(N2225046)。; 文摘以金属化率为60%的低品位金属化球团为研究对象,使用热力学软件FactSage 8.3分析了其熔分过程,熔渣的熔点和黏度,以及熔渣与耐火材料间的相互作用.结果表明:金属化球团熔分的温度应高于1 515℃;每加入1 t金属化球团进行熔分时,应额外添加43.6 kg碳粉;随着留钢量的增大,金属化球团熔分后的铁收得率升高,但均低于80%,仍需配加碳粉以促进球团深度还原.根据CaO-SiO_(2)-Al_(2)O_(3)相图,确定了金属化球团熔渣调质的目标成分,即每熔分1 t金属化球团时,应添加6.31 kg Al_(2)O_(3),2.66 kg SiO_(2)和12.64 kg MgO,调质后熔渣的熔点为1 405℃;当熔炼温度为1 600℃时,调质后熔渣的黏度为0.164 Pa·s.以调质后的熔渣为基准,随着MgO添加量的增大,熔融热解炉炉衬受到的侵蚀减弱.; 关键词金属化球团热力学模拟熔分铁收得率熔渣物性炉衬侵蚀; Keywords metallized pellet thermodynamic simulation melting iron yield slag properties lining erosion; 分类号 TF741 [冶金工程—钢铁冶金]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种中碳中硅含镍超高强韧弹簧钢的设计与组织性能: 5; 作者袁长波侯世耀王帅张阳赵阳陈礼清; 机构青岛特殊钢铁有限公司棒材研究所; 出处《材料与冶金学报》 2025年第4期379-386,共8页; 基金教育部重点实验室开放课题项目(ASM-202402) 青岛特殊钢铁横向联合项目(2023040200061)。; 文摘设计了一种含镍的中碳中硅弹簧钢,并研究了热处理工艺对其力学性能和微观组织的影响.结果表明:合适的淬火温度能够细化弹簧钢的晶粒和马氏体板条尺寸,但力学性能对淬火温度不敏感;在回火过程中,主要发生马氏体基体的回复和碳化物的析出.当回火温度为350~380℃时,马氏体基体回复程度较低,同时基体中析出大量的碳化物,钢的强度略有降低.当回火温度为440℃时,马氏体基体发生过度回复,碳化物明显长大并粗化,钢的强度大幅度降低;由于碳化物在晶界和板条界上的析出、粗化,晶界强度显著降低,钢的冲击吸收功也逐渐降低.先在900℃保温1 h后油淬,随后在380℃保温2 h后水冷,此工艺下实验钢可以获得最佳的力学性能,抗拉强度为2040 MPa,屈服强度为1793 MPa,伸长率为9.3%,断面收缩率为50.2%,冲击吸收功为27.7 J.; 关键词含镍弹簧钢力学性能微观组织热处理工艺; Keywords nickel-containing spring steel mechanical properties microstructure heat treatment process; 分类号 TG142 [一般工业技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	半导体制程设备铝合金涂层腐蚀失效行为研究进展	赵阳王宇航张涛王福会	《东北大学学报(自然科学版)》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	多道次变形条件下V-N微合金钢的流变应力模型	周晓光赵金帆姜珊曹光明	《东北大学学报(自然科学版)》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	轧制及热处理工艺对3Cr2NiMo钢特厚板力学性能的影响	孔令熠骆宗安冯莹莹邬早勤	《精密成形工程》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	低品位金属化球团熔分的热力学行为	彭程杨策姜周华	《材料与冶金学报》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	一种中碳中硅含镍超高强韧弹簧钢的设计与组织性能	袁长波侯世耀王帅张阳赵阳陈礼清	《材料与冶金学报》	2025		在线阅读下载PDF 职称材料