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测量Fabry-Perot标准具平面度的一种新方法
1
作者
翟超
伊藤进一
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第z1期62-63,共2页
介绍了一种测量Fabry-Perot标准具平面度的新方法。通过测量F-P干涉环的直径计算出Fabry-Perot标准具的平面度,测量的不确定度可达λ/1800。
关键词
FABRY-PEROT
平面度
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
测量Fabry-Perot标准具平面度的一种新方法
1
作者
翟超
伊藤进一
机构
中国科技
大学
精密机械与精密仪器系
东京工艺大学工学部
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第z1期62-63,共2页
文摘
介绍了一种测量Fabry-Perot标准具平面度的新方法。通过测量F-P干涉环的直径计算出Fabry-Perot标准具的平面度,测量的不确定度可达λ/1800。
关键词
FABRY-PEROT
平面度
Keywords
Fabry-Perot Flatness
分类号
TH7-55 [机械工程—精密仪器及机械]
在线阅读
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
测量Fabry-Perot标准具平面度的一种新方法
翟超
伊藤进一
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
0
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