期刊文献+
共找到12篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
基于电化学研磨的SPM钨探针制备方法研究 被引量:14
1
作者 黄强先 高桥健 初泽毅 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期258-263,266,共7页
钨探针是扫描隧道显微镜(STM)常用探针之一。为了将钨探针应用于扫描探针显微镜(SPM),根据钨探针的受力,通 过理论分析确定了钨探针的理想轮廓:钨探针的直径变化应具有指数曲线。为了获得指数曲线轮廓、尖锐测头等良好特性的 钨探针,分... 钨探针是扫描隧道显微镜(STM)常用探针之一。为了将钨探针应用于扫描探针显微镜(SPM),根据钨探针的受力,通 过理论分析确定了钨探针的理想轮廓:钨探针的直径变化应具有指数曲线。为了获得指数曲线轮廓、尖锐测头等良好特性的 钨探针,分别提出并研究了改进的钨探针液面直流电化学研磨法和薄膜直流电化学研磨法。通过这两种电化学研磨法获得的 探针以及通过传统的交流电化学研磨法获得的钨探针,分别在探针的形状、探针尖端曲率半径、表面质量、研磨速度、可复现 性等多个方面进行了观察和比较。通过实验发现,除了研磨速度外,改进的液面直流电化学研磨法和薄膜直流电化学研磨法 在其他各方面都优于交流电化学研磨法。 展开更多
关键词 探针制备 指数曲线 研磨法 观察 直流电 方法研究 实验 电化学 薄膜 液面
在线阅读 下载PDF
多孔质气悬浮气膜压力特性建模及试验研究 被引量:3
2
作者 钟伟 刘昊 +2 位作者 陶国良 黎鑫 香川利春 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期616-621,657,共7页
为了研究多孔质气悬浮气膜压力特性以便对玻璃基板的非接触式搬运系统进行性能分析和优化设计,以具有代表性的区域单元为对象,建立包含多孔质特性和间隙流特性的气膜压力动态模型,利用有限体积法(FVM)进行求解.当多孔质表面空气薄膜受... 为了研究多孔质气悬浮气膜压力特性以便对玻璃基板的非接触式搬运系统进行性能分析和优化设计,以具有代表性的区域单元为对象,建立包含多孔质特性和间隙流特性的气膜压力动态模型,利用有限体积法(FVM)进行求解.当多孔质表面空气薄膜受到工件的往复振动挤压时,压力响应相对间隙距离呈现明显的滞环现象,表现出弹性特性和阻尼特性.仿真和试验的结果表明,基于动态模型的计算结果与实验值吻合较好.气膜压力刚度系数随着间隙距离的减小而迅速增大,并受到供给流量与区域半径的影响.气膜压力阻尼系数受供给流量的影响甚小,受区域半径的影响显著,表明适当增加导轨宽度可以有效地加快工件自由振荡衰减速度. 展开更多
关键词 多孔质 非接触式搬运 压力响应 刚度系数 阻尼系数
在线阅读 下载PDF
真空元件流阻对射流式真空发生器流量特性的影响研究 被引量:3
3
作者 郭钟华 李小宁 +1 位作者 黎鑫 香川利春 《液压与气动》 北大核心 2012年第3期33-36,共4页
射流式真空发生器抽吸侧通常安装有真空检测元件和控制元件等,以实现自动吸着、实时检测等功能。但是,真空检测元件和控制元件等气动真空元件的流阻会导致其流量特性发生改变,并伴随延长吸着响应时间。为了定量地描述气动真空元件的流... 射流式真空发生器抽吸侧通常安装有真空检测元件和控制元件等,以实现自动吸着、实时检测等功能。但是,真空检测元件和控制元件等气动真空元件的流阻会导致其流量特性发生改变,并伴随延长吸着响应时间。为了定量地描述气动真空元件的流阻对真空发生器流量特性的影响,该课题先采用等温容器对真空发生器静态流量特性进行了测量,并结合小孔流量特性的表达式,推导出存在流阻时真空输出端压力与流量关系的数学表达式;再根据真空回路中流量与压力的物理关系,提出了判断流阻对抽吸流量影响程度的无量纲数Gr*;接着,测试真空输出端压力响应特性,并将根据真空输出端压力与流量关系的数学表达式和容腔放气模型得到的压力响应仿真曲线进行比较,得出测试曲线与仿真曲线相吻合;最后,对压力响应曲线进行无量纲化处理,指出无量纲数Gr*的大小既能反映出流阻对流量特性的影响程度,又能帮助判断吸着响应时间的长短,在设计真空发生器回路时,可以参考Gr*选择合适的气动真空元件,简便有效。 展开更多
关键词 气动系统 真空元件 真空发生器 流量特性 吸着响应时间
在线阅读 下载PDF
考虑热传递的真空容腔压力响应研究 被引量:3
4
作者 郭钟华 李小宁 香川利春 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期74-78,共5页
针对气动真空系统中容腔的压力响应,以往的经验方法没有研究温度变化带来的影响。而在真空发生器回路的容腔抽吸过程中,容腔内空气温度的变化会对压力响应曲线产生影响。本文围绕真空发生器回路和具有一定容积的抽吸容器,改进经验方法,... 针对气动真空系统中容腔的压力响应,以往的经验方法没有研究温度变化带来的影响。而在真空发生器回路的容腔抽吸过程中,容腔内空气温度的变化会对压力响应曲线产生影响。本文围绕真空发生器回路和具有一定容积的抽吸容器,改进经验方法,建立了考虑热传递的真空抽吸模型。为了研究真空抽吸过程中传热系数,使用间接测量法("停止法")测得了容腔内温度的变化量,得出了无量纲努塞尔数随抽吸时间的变化曲线。以等温容器抽吸法获得的真空发生器流量特性为基础,使用定努塞尔数传热模型对真空容腔压力响应进行了仿真。通过比较仿真和实验结果可知,考虑热传递的真空容腔压力响应模型能较好地表示真空容腔内压力的变化。 展开更多
关键词 气动真空系统 容腔 压力响应 传热系数
在线阅读 下载PDF
电共轭流体微型泵的实验研究(英文) 被引量:2
5
作者 王海波 张如照 +1 位作者 邹海龙 金俊完 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期151-154,共4页
为了解决MEMS技术制备具有超厚、高深宽比电极结构的射流发生器中三角柱电极尖端部分出现的弧形缺陷以及脱模时缝隙电极易脱落等问题,提高射流发生器的制作质量以及电共轭流体微型泵的输出性能。结合理论分析与反复试验提出了一系列改... 为了解决MEMS技术制备具有超厚、高深宽比电极结构的射流发生器中三角柱电极尖端部分出现的弧形缺陷以及脱模时缝隙电极易脱落等问题,提高射流发生器的制作质量以及电共轭流体微型泵的输出性能。结合理论分析与反复试验提出了一系列改进措施:优化涂胶、热处理、显影等工艺的参数以及缝隙电极的形状,采用新型KMPR光刻胶去除方法等。通过应用上述方法获得的射流发生器中,三角柱电极-缝隙电极对厚度约500μm,深宽比高,三角柱电极尖端结构完整,缝隙电极附着率有很大提高。同时,利用制备的射流发生器,设计、装配了电共轭流体微型泵的样机。 展开更多
关键词 微型泵 MEMS 电共轭流体 三角柱-缝隙电极对
在线阅读 下载PDF
(一般社团法人)日本流体动力系统学会(JFPS)介绍 被引量:1
6
作者 香川利春 萧欣志(翻译) 蔡茂林(翻译) 《液压与气动》 北大核心 2013年第3期62-62,共1页
作为2012年5月新就任日本流体动力系统学会(TheJapanFluidPowerSystemSociety)的会长,我有幸于2012年8月参加了在长春由中国机械工程学会流体传动与控制分会举办的学术会议及其旅游活动。此次参会,不仅与中国流体动力领域的各位老... 作为2012年5月新就任日本流体动力系统学会(TheJapanFluidPowerSystemSociety)的会长,我有幸于2012年8月参加了在长春由中国机械工程学会流体传动与控制分会举办的学术会议及其旅游活动。此次参会,不仅与中国流体动力领域的各位老师和研究者加深了交往,更通过长白山旅游亲密接触了中国东北大自然的美丽风光。 展开更多
关键词 中国机械工程学会 流体动力系统 日本 流体传动与控制 法人 社团 旅游活动 学术会议
在线阅读 下载PDF
高增益PID控制器实现纳米定位 被引量:12
7
作者 卢礼华 郭永丰 +2 位作者 大刀川博之 梁迎春 下河边明 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期63-68,共6页
建立了高增益PID闭环控制系统,在“直流伺服电机+滚珠丝杠”驱动机构上实现了大范围的纳米定位。对于“伺服电机+滚珠丝杠”驱动系统来说,摩擦是实现纳米定位精度的主要障碍,它影响着系统微动特性并导致稳态误差。针对这种驱动系统,在... 建立了高增益PID闭环控制系统,在“直流伺服电机+滚珠丝杠”驱动机构上实现了大范围的纳米定位。对于“伺服电机+滚珠丝杠”驱动系统来说,摩擦是实现纳米定位精度的主要障碍,它影响着系统微动特性并导致稳态误差。针对这种驱动系统,在根据标定参数计算得到的线性传递函数的基础上,设计高增益不完全微分、比例反馈PID控制器,配置闭环控制系统的极点为负实轴上的多重极点,避免了摩擦力建模和补偿。实验结果表明,该高增益闭环控制系统有效地抑制了摩擦等非线性因素的影响,在系统的宏动和微动特性阶段都可以实现单步的纳米定位并取得了一致的响应,10 nm^10 mm阶跃响应的稳态误差不超过±2 nm。 展开更多
关键词 滚珠丝杠 PID控制器 纳米定位 摩擦
在线阅读 下载PDF
有等温材料的压力容器内空气温度变化测量方法 被引量:3
8
作者 王涛 姚蘅 +1 位作者 赵彤 香川利春 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期149-153,共5页
针对填充了等温材料的压力容器在排气过程中产生的温度变化,提出了测量容器内空气温度变化的方法.建立了利用中间停止法测量容器内空气温度变化的数学模型,仿真和实验结果的比较验证了模型的正确性.针对传统的中间停止法提出了缩短测量... 针对填充了等温材料的压力容器在排气过程中产生的温度变化,提出了测量容器内空气温度变化的方法.建立了利用中间停止法测量容器内空气温度变化的数学模型,仿真和实验结果的比较验证了模型的正确性.针对传统的中间停止法提出了缩短测量时间的新方法.结果表明,同等测试精度下,新方法比传统方式在测试时间上缩短90%以上. 展开更多
关键词 中间停止法 气体温度测量 模型辨识 测试时间
在线阅读 下载PDF
气动真空发生器系统背压与抽吸性能关系分析 被引量:4
9
作者 郭钟华 李小宁 香川利春 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期312-315,350,共5页
对气动系统中常用的真空发生器样机,采用有限体积法对其内部流场进行数值计算,分析了背压不同时内部压力分布和吸入流速改变情况。以此为基础,测量系统背压升高时吸入流量变化量,绘制了背压与吸入流量关系曲线,提出了通过判断系统背压... 对气动系统中常用的真空发生器样机,采用有限体积法对其内部流场进行数值计算,分析了背压不同时内部压力分布和吸入流速改变情况。以此为基础,测量系统背压升高时吸入流量变化量,绘制了背压与吸入流量关系曲线,提出了通过判断系统背压防止逆流现象的方法。在真空发生器系统的设计和应用中,需要在理论计算的基础上,根据试验得出系统正常工作的背压范围,防止逆流现象,保证系统工作。 展开更多
关键词 气动系统 真空发生器 背压 吸入流量
在线阅读 下载PDF
考虑气动伺服阀流体力的压力控制系统设计 被引量:2
10
作者 王涛 彭光正 香川利春 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1081-1084,共4页
提出了考虑气动伺服阀流体力的精密压力控制系统设计的新方法.建立了喷嘴挡板式伺服阀内流体力的计算模型和差压控制系统的线性模型.基于该模型,利用数值计算法设计了压力控制系统的PID控制器和干扰观测器.考虑伺服阀后的流体力能够进... 提出了考虑气动伺服阀流体力的精密压力控制系统设计的新方法.建立了喷嘴挡板式伺服阀内流体力的计算模型和差压控制系统的线性模型.基于该模型,利用数值计算法设计了压力控制系统的PID控制器和干扰观测器.考虑伺服阀后的流体力能够进行压力控制系统的最优设计,并提高了参考输入的追踪性和系统的抗干扰性方面的控制效果.仿真与实验结果验证了该模型的正确性. 展开更多
关键词 喷嘴挡板式气动伺服阀 流体力 压力控制
在线阅读 下载PDF
具有反射率及亮度补偿功能的光纤振动计 被引量:1
11
作者 李希胜 汤程 +2 位作者 王家鑫 中村健太郎 上羽贞行 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2006年第3期17-19,51,共4页
介绍了一种结构简单、价格低、带有反射率和亮度补偿的光纤振动计。该光纤式振动计由发光二极管、光纤探头和两个光子探测器组成。光纤探头的光纤束分为三部分:一根发射光纤、第一邻近接收光纤组(组A)、第二邻近接收光纤组(组B)。光纤组... 介绍了一种结构简单、价格低、带有反射率和亮度补偿的光纤振动计。该光纤式振动计由发光二极管、光纤探头和两个光子探测器组成。光纤探头的光纤束分为三部分:一根发射光纤、第一邻近接收光纤组(组A)、第二邻近接收光纤组(组B)。光纤组A和光纤组B的输出信号平均值的比值取决于光纤探头和被测表面之间的平均距离,而与被测表面的反射率及亮度无关。根据这一比值可以实现探头与被测表面间距离的估计。然后根据光纤组A和B的标定曲线,对振动计的灵敏度进行了补偿。因为在比值运算中使用的是平均值,所以振动频率的提高不会限制这一技术的使用。实验结果表明,这一方法适宜于动态测量,可以实现被测表面反射率、入射亮度及探头与被测表面间平均距离的补偿。 展开更多
关键词 光纤 光学传感器 振动测量
在线阅读 下载PDF
多投影系统D-vision中双手6自由度力觉交互
12
作者 骆岩林 刘学慧 村山淳 《系统仿真学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期3157-3160,共4页
D-vision系统(这里“D”有“DivideScreen”和“Duplex-Vision”双重含义)是一类基于PC机群的多投影虚拟现实系统(或简称多投影系统)。给出D-vision系统中双手6自由度力觉交互的实现过程:在客户端协同控制两个力觉交互设备Spidar-G(Spac... D-vision系统(这里“D”有“DivideScreen”和“Duplex-Vision”双重含义)是一类基于PC机群的多投影虚拟现实系统(或简称多投影系统)。给出D-vision系统中双手6自由度力觉交互的实现过程:在客户端协同控制两个力觉交互设备Spidar-G(SpaceInterfaceforArtificialRealitywithGrip)实现双手协作交互,其次构造一个基于UDP的Socket类完成客户端和绘制服务器节点之间的通讯,传递跟踪球的位置、方向等信息;然后,通过分布绘制实现在大屏幕上无缝显示。最后实验结果表明:在D-vision系统中双手6自由度力觉交互是一种自然直观的人机交互方式。 展开更多
关键词 虚拟现实 多投影虚拟现实系统 双手6自由度力觉交互 分布绘制
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部