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题名氮化硅薄膜传感器的平面加工工艺研究
被引量：1
- 1
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作者
谭六喜
赵根宝
刘胜
徐勇
冷毅
姚媛
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机构
华中科技大学机械科学与工程学院
奇瑞汽车有限公司
韦恩州立大学电子与计算机工程学院
上海飞恩微电子有限公司
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2008年第2期59-60,64,共3页
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文摘
介绍一种以氮化硅薄膜为压力敏感膜、多晶硅为电阻应变计的压力传感器。该压力传感器先后采用2种不同的平面加工工艺进行加工,实际结果表明:改进后的工艺比较好。通过采用对称分布在一个敏感膜上的4只多晶硅电阻应变计串联组成惠斯通电桥的一个桥臂,减少桥臂电阻的制作误差。制作传感器样品并对传感器的电压输出特性进行了测试。测试结果表明:恒流激励的传感器的电压输出特性非常好,传感器具有过载保护功能。
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关键词
多晶硅
氮化硅
平面加工工艺
过载保护
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Keywords
polysilicon
silicon nitride
surface manufacturing process
overload protection
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分类号
TP221
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名压力传感器封装中波纹膜片的结构优化
被引量：5
- 2
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作者
付兴铭
谭六喜
姚媛
刘胜
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机构
武汉光电国家实验室
上海飞恩微电子有限公司
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007年第7期80-81,84,共3页
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文摘
对压力传感器隔离封装中的关键部件——波纹膜片,采用有限元分析的方法,分别得到了2,4,6个波纹的膜片的弹性特性,并根据封装要求选择了6波纹的膜片。通过比较不同波数的膜片对压力传感器输出信号的影响,验证了膜片结构优化的正确性。最后,使用6波纹的膜片进行封装,得到了性能稳定的压力传感器,并测试得到了其主要的静态参数。
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关键词
压力传感器
波纹膜片
封装
有限元分析
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Keywords
pressure sensor
corrugated diaphragm
packaging
finite elements analysis（FEA）
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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