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基于常温磁控溅射法的二氧化钒薄膜制备方法研究 被引量:2
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作者 刘星星 《红外》 CAS 2014年第7期24-28,43,共6页
采用常温磁控溅射法制备金属钒薄膜,然后在合适的氧气氛围下对其进行退火氧化处理,最终在非晶玻璃衬底上制备出具有相变的高性能二氧化钒(Vanadium Dioxide,VO_2)薄膜。X射线衍射(X-Ray Diffraction,XRD)测试结果表明,所制薄膜的主要成... 采用常温磁控溅射法制备金属钒薄膜,然后在合适的氧气氛围下对其进行退火氧化处理,最终在非晶玻璃衬底上制备出具有相变的高性能二氧化钒(Vanadium Dioxide,VO_2)薄膜。X射线衍射(X-Ray Diffraction,XRD)测试结果表明,所制薄膜的主要成分为VO_2;扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)测试结果表明,所制薄膜的结晶性良好,晶粒粗细均匀。该薄膜在室温下的红外光透过率(2400nm处)为67%,在高温下的红外光透过率(2400 nm处)为9%。其透过率差值为58%,因此具有良好的红外透过率调节能力。同时还测试分析了薄膜光学转变与电学转变的差异,发现电学转变温度比光学转变温度高4.7℃。该方法适合大面积VO_2薄膜的制备,对智能窗的研究与应用具有重要意义。 展开更多
关键词 二氧化钒 磁控溅射 相变 智能窗
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亚波长光栅与法布里-珀罗滤光片集成的高性能光谱偏振分光器
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作者 朱远宇 关学昱 +6 位作者 余沛其 刘清权 贾奇祥 吴杰 李辰璐 李志锋 王少伟 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期179-186,共8页
光谱偏振成像技术是一种新型的光学成像技术,它不仅提高了目标的信息获取量,还降低了背景噪声,可以捕获目标细节,检测伪装目标。本文提出了一种将亚波长光栅与F-P滤光片相结合的光谱偏振测量器件,该器件可以获得超高光谱分辨率和偏振消... 光谱偏振成像技术是一种新型的光学成像技术,它不仅提高了目标的信息获取量,还降低了背景噪声,可以捕获目标细节,检测伪装目标。本文提出了一种将亚波长光栅与F-P滤光片相结合的光谱偏振测量器件,该器件可以获得超高光谱分辨率和偏振消光比,并且光谱和偏振可以灵活调控。本文设计了一种光谱偏振同时分光器,可同时获得4个光谱通道的斯托克斯参数。仿真结果表明,其光谱分辨率为217,偏振消光比为106。实验结果表明,亚波长光栅的偏振消光比大于500,透射率为90%。全介质F-P滤光片的光谱分辨率为30,在长波红外波段的透射率为60%。该设计方法具有通用性,可用于可见光、红外甚至太赫兹等波段。得益于这些优点,器件在微型偏振光谱仪和全斯托克斯偏振检测等领域有很大的应用潜力。 展开更多
关键词 光谱偏振分光器 亚波长光栅 法布里-珀罗滤光片 光谱 偏振
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Long wavelength infrared metalens fabricated by photolithography
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作者 LI Yun-Peng LUO Jia-Cheng +5 位作者 JI Ruo-Nan XIE Mao-Bin CUI Wen-Nan WANG Shao-Wei LIU Feng LU Wei 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期603-608,共6页
Metasurfaces in the long wave infrared(LWIR)spectrum hold great potential for applications in ther-mal imaging,atmospheric remote sensing,and target identification,among others.In this study,we designed and experiment... Metasurfaces in the long wave infrared(LWIR)spectrum hold great potential for applications in ther-mal imaging,atmospheric remote sensing,and target identification,among others.In this study,we designed and experimentally demonstrated a 4 mm size,all-silicon metasurface metalens with large depth of focus opera-tional across a broadband range from 9µm to 11.5µm.The experimental results confirm effective focusing and imaging capabilities of the metalens in LWIR region,thus paving the way for practical LWIR applications of met-alens technology. 展开更多
关键词 long wave infrared broadband operation passive imaging
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Study on multi-wavelength thin film thickness determination method
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作者 SHI Ce XIE Mao-Bin +3 位作者 ZHENG Wei-Bo JI Ruo-Nan WANG Shao-Wei LU Wei 《红外与毫米波学报》 CSCD 北大核心 2024年第6期813-819,共7页
This work introduces a novel method for measuring thin film thickness,employing a multi-wavelength method that significantly reduces the need for broad-spectrum data.Unlike traditional techniques that require sev⁃eral... This work introduces a novel method for measuring thin film thickness,employing a multi-wavelength method that significantly reduces the need for broad-spectrum data.Unlike traditional techniques that require sev⁃eral hundred spectral data points,the multi-wavelength method achieves precise thickness measurements with data from only 10 wavelengths.This innovation not only simplifies the process of spectral measurement analysis but also enables accurate real-time thickness measurement on industrial coating production lines.The method effectively reconstructs and fits the visible spectrum(400-800 nm)using a minimal amount of data,while maintaining measurement error within 7.1%.This advancement lays the foundation for more practical and efficient thin film thickness determination techniques in various industrial applications. 展开更多
关键词 film thickness determination transmittance and reflectance spectra FITTING spectral reconstruction
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薄膜光学常数的原位测定 被引量:4
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作者 谢茂彬 吴智勇 +6 位作者 崔恒毅 赵新潮 玄志一 刘清权 刘锋 孙聊新 王少伟 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第5期888-893,共6页
薄膜的光学常数(折射率和消光系数)精度直接影响设计和制造的光学器件的性能。大多数光学常数的测定方法较为复杂,不能直接应用在镀膜过程中。提出了一种薄膜光学常数原位实时测量的方法,通过监测沉积材料的透射率可以快速准确地测量光... 薄膜的光学常数(折射率和消光系数)精度直接影响设计和制造的光学器件的性能。大多数光学常数的测定方法较为复杂,不能直接应用在镀膜过程中。提出了一种薄膜光学常数原位实时测量的方法,通过监测沉积材料的透射率可以快速准确地测量光学常数。测量了高吸收材料Si、低吸收材料Ta_(2)O_(5)和超低吸收材料SiO_(2)的近红外光学常数,用这种方法测得光学常数分别为n=3.22,k=4.6×10^(-3),n=2.06,k=1.3×10^(-3)和n=1.46,k=6.6×10^(-5)。该方法适用于强吸收材料和弱吸收材料光学常数的测定,为在线精确测量薄膜的光学常数提供了一种有效的方法,对设计和制造高质量的光学器件具有重要意义。 展开更多
关键词 光学常数 近红外 薄膜 原位 测定
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高性能智能窗用掺钨二氧化钒膜系的研制 被引量:4
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作者 刘星星 《红外》 CAS 2014年第8期21-26,31,共7页
针对智能窗用的二氧化钒膜系需相变温度接近室温、红外调节率高、可见光透过率高等实际问题,通过薄膜设计(Coating designer,CODE)软件设计了一种由掺钨(Tungsten-doped,W-doped)二氧化钒(Vanadium dioxide,VO2)层和二氧化硅(Silicon di... 针对智能窗用的二氧化钒膜系需相变温度接近室温、红外调节率高、可见光透过率高等实际问题,通过薄膜设计(Coating designer,CODE)软件设计了一种由掺钨(Tungsten-doped,W-doped)二氧化钒(Vanadium dioxide,VO2)层和二氧化硅(Silicon dioxide,SiO2)减反层组成的高性能智能窗膜系。系统研究了各层膜的厚度对红外调节率和可见光透过率的影响,确定综合性能优良的膜系为玻璃/70nm掺钨二氧化钒/50nm二氧化硅,并采用大面积多靶磁控溅射系统制备出了该膜系。实验测得膜系的相变温度为38.2℃,红外调节率(2400 nm波长处)为40.4%,可见光的峰值透过率为46.3%。在太阳能红外波段,膜系具有良好的入射调节效果。此外,该膜系的制备方法与现有的大面积镀膜玻璃工艺兼容,适于工业化生产。 展开更多
关键词 二氧化钒 智能窗 相变温度
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嵌埋材料对分布式布拉格反射镜腔共振模式的影响
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作者 崔壮壮 刘清权 +2 位作者 谢茂彬 王少伟 陆卫 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CSCD 北大核心 2023年第6期737-742,共6页
低维材料嵌入微腔已经广泛应用于纳米激光器和探测器等。为了实现增益材料和光学微腔之间的有效耦合,需要深入研究嵌埋材料对腔共振模式的影响。本文主要讨论了嵌埋材料的厚度、位置、腔层厚度以及分布式布拉格反射镜的对数对腔供着模... 低维材料嵌入微腔已经广泛应用于纳米激光器和探测器等。为了实现增益材料和光学微腔之间的有效耦合,需要深入研究嵌埋材料对腔共振模式的影响。本文主要讨论了嵌埋材料的厚度、位置、腔层厚度以及分布式布拉格反射镜的对数对腔供着模式的影响。结果表明,腔共振模式随嵌埋材料位置的不同呈现周期性变化并且在λ/2光程周期内存在最大峰位移。最大峰位移随腔层厚度增加而减小,但与嵌埋材料的厚度成正比。分布式布拉格反射镜的对数不影响腔共振模式。这些结果为光学器件的设计和实验现象的分析提供了指导,并且可以应用于不同波长分布式布拉格反射腔结构。 展开更多
关键词 光学腔 共振模式 嵌埋位置 分布式布拉格反射镜
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