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可见/近红外超光谱碲镉汞焦平面研究 被引量:1
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作者 张姗 沈益铭 +7 位作者 刘丹 钟艳红 魏彦锋 廖清君 陈洪雷 林春 丁瑞军 何力 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2019年第3期429-434,共6页
为了满足可见-近红外波段的高光谱分辨率和高灵敏观测需求,采用大面阵、低噪声碲镉汞焦平面制备技术和低损伤衬底去除技术,成功制备了高信噪比大面阵可见/近红外碲镉汞焦平面探测器。无损衬底去除技术采用机械抛光和化学腐蚀相结合的方... 为了满足可见-近红外波段的高光谱分辨率和高灵敏观测需求,采用大面阵、低噪声碲镉汞焦平面制备技术和低损伤衬底去除技术,成功制备了高信噪比大面阵可见/近红外碲镉汞焦平面探测器。无损衬底去除技术采用机械抛光和化学腐蚀相结合的方法,使焦平面的响应波段拓展至400 nm~2 600 nm。采用信号定量化焦平面测试评价手段对可见/近红外碲镉汞焦平面的性能进行评估,640×512 25μm中心距碲镉汞焦平面的波段量子效率可达到88.4%,信噪比达到287,有效像元率大于98%,能够获得清晰的可见和近红外波段图像。 展开更多
关键词 超光谱探测 可见/近红外成像 碲镉汞 衬底去除 量子效率
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