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金属刻蚀后清洗导致AlSiCu互连线空洞问题的研究和对策被引量：1: 1; 作者尤美琳朱亦鸣《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期176-181,共6页; 集成电路制造中,AlSiCu互连线一般使用干法刻蚀来制造,刻蚀后需经清洗工艺将残留物去除掉。而在清洗时,合金表面会出现空洞。我们在对空洞形成原理分析后发现,AlSiCu合金是由α相铝铜和富含Cu的θ相铝铜合金组成,在清洗过程中会发生电... 展开更多; 关键词 AlSiCu互连刻蚀后残留物清洗空洞; 在线阅读下载PDF 职称材料

高分辨力凹面光栅光谱仪的优化设计被引量：2: 2; 作者黄元申苏仰庆 +3 位作者盛斌杨海马黄运柏李柏承《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2015年第12期1-7,共7页; 本文从凹面光栅的理论分辨力和像差、狭缝的宽度和高度、光栅基片的尺寸大小等角度出发,推导了系统分辨力的计算公式,得出系统优化设计的新方法。得出以下结论:系统不能通过无限增加光栅刻线数来提高分辨力;狭缝宽度的选择要综合考虑入... 展开更多; 关键词凹面光栅光谱仪分辨力像差; 在线阅读下载PDF 职称材料

并联BUCK变换器的非线性控制: 3; 作者李少龙金爱娟 +2 位作者刘安康叶芳徐向丽《电子科技》 2015年第10期161-165,共5页; 针对DC-DC变换器在开关工作频率下,系统易产生高次谐波、分叉混沌状态,以及系统稳定性降低的问题。在适当的频率和振幅下,通过采用参数共振干扰法干扰系统参数,可避免系统出现分岔混沌状态,抑制高次谐波,提高系统稳定性。文中通过研究... 展开更多; 关键词并联BUCK 参数共振干扰非线性; 在线阅读下载PDF 职称材料

多孔硅制备中醇对形貌的影响: 4; 作者袁明辉刘顺顺 +1 位作者赵堤张益彬《太赫兹科学与电子信息学报》 2014年第4期505-507,共3页; 实验研究了无光照情况下多孔硅制备中不同单羟基正醇对形貌的影响。实验结果表明,随着醇碳链的增长,多孔硅孔密度减小,枝杈变长,枝杈的尖端变得尖锐。在孔的生长过程中,十字枝杈首先沿着晶格方向快速生长,然后晶格方向的生长速率减小,... 展开更多; 关键词多孔硅电化学腐蚀法单羟基正醇; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于可见-近红外高光谱成像技术的梨硬度和可溶性固体含量的预测被引量：10: 5; 作者侯宝路李柏承 +3 位作者周瑶赵曼彤洪瑞金张大伟《激光杂志》北大核心 2015年第10期70-74,共5页; 高光谱成像技术可以用在无损检测水果品质方面。可见-近红外波段(400nm至1000nm)的光谱可以用来检测梨的可溶性固体含量(SSC)和硬度。用搭建的可见-近红外光谱范围的高光谱成像系统可以拍摄得到不同种类的梨的光谱图,再通过计算机软件... 展开更多; 关键词光谱学可见-近红外高光谱梨可溶性固体含量硬度; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名金属刻蚀后清洗导致AlSiCu互连线空洞问题的研究和对策被引量：1: 1; 作者尤美琳朱亦鸣; 机构上海交通大学微电子学院上海先进半导体制造股份有限公司工艺集成部上海理工大学教育部光学仪器与系统工程研究中心; 出处《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期176-181,共6页; 基金上海市科委纳米技术专项资助项目(0952nm02400) 上海市科委浦江人才计划资助项目(09PJ1407800) +2 种基金教育部留学回国科研启动基金资助项目; 文摘集成电路制造中,AlSiCu互连线一般使用干法刻蚀来制造,刻蚀后需经清洗工艺将残留物去除掉。而在清洗时,合金表面会出现空洞。我们在对空洞形成原理分析后发现,AlSiCu合金是由α相铝铜和富含Cu的θ相铝铜合金组成,在清洗过程中会发生电偶腐蚀而腐蚀Al。并且清洗使用的化学试剂由于含有胺根,水解后加剧了对Al的腐蚀。我们通过降低AlSiCu合金溅射时的衬底温度,将AlSiCu合金表面氧化,去离子水清洗时通入CO2这三种方案来防止AlSiCu合金在清洗时被腐蚀,从而提高了产品的成品率。; 关键词 AlSiCu互连刻蚀后残留物清洗空洞; Keywords AlSiCu interconnect etch residue cleaning holes; 分类号 TN305.96 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高分辨力凹面光栅光谱仪的优化设计被引量：2: 2; 作者黄元申苏仰庆盛斌杨海马黄运柏李柏承; 机构上海理工大学教育部光学仪器与系统工程研究中心上海现代光学系统重点实验室; 出处《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2015年第12期1-7,共7页; 基金国家自然科学基金(61378060 61205156) +1 种基金上海市教育委员会科研创新项目(14YZ095); 文摘本文从凹面光栅的理论分辨力和像差、狭缝的宽度和高度、光栅基片的尺寸大小等角度出发,推导了系统分辨力的计算公式,得出系统优化设计的新方法。得出以下结论:系统不能通过无限增加光栅刻线数来提高分辨力;狭缝宽度的选择要综合考虑入射光的能量和分辨力的大小;狭缝宽度对系统分辨力的影响远远大于狭缝高度和凹面光栅的理论分辨力的影响;提出了基片尺寸大小的计算公式和优化设计的方法。本文的理论计算值与实验结果相一致。; 关键词凹面光栅光谱仪分辨力像差; Keywords concave grating spectrometer resolution aberration; 分类号 TN247 [电子电信—物理电子学] TN253 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名并联BUCK变换器的非线性控制: 3; 作者李少龙金爱娟刘安康叶芳徐向丽; 机构上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室上海理工大学教育部光学仪器与系统工程研究中心上海理工大学光电信息与计算机工程学院; 出处《电子科技》 2015年第10期161-165,共5页; 文摘针对DC-DC变换器在开关工作频率下,系统易产生高次谐波、分叉混沌状态,以及系统稳定性降低的问题。在适当的频率和振幅下,通过采用参数共振干扰法干扰系统参数,可避免系统出现分岔混沌状态,抑制高次谐波,提高系统稳定性。文中通过研究电压控制模式下并联BUCK变换器分岔混沌现象,证明参数共振干扰法可抑制分岔与混沌,减小系统相位移动,增强系统的稳定性。; 关键词并联BUCK 参数共振干扰非线性; Keywords chaos bifurcation nonlinear; 分类号 TM564 [电气工程—电器] TN751.11 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名多孔硅制备中醇对形貌的影响: 4; 作者袁明辉刘顺顺赵堤张益彬; 机构上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室上海理工大学教育部光学仪器与系统工程研究中心上海理工大学光电信息与计算机工程学院; 出处《太赫兹科学与电子信息学报》 2014年第4期505-507,共3页; 基金上海市自然科学基金资助项目(No.11ZR1424900); 文摘实验研究了无光照情况下多孔硅制备中不同单羟基正醇对形貌的影响。实验结果表明,随着醇碳链的增长,多孔硅孔密度减小,枝杈变长,枝杈的尖端变得尖锐。在孔的生长过程中,十字枝杈首先沿着晶格方向快速生长,然后晶格方向的生长速率减小,而非晶格方向则持续生长直到空穴耗尽。本实验增进了对硅溶解动力学中醇作用机理的理解。; 关键词多孔硅电化学腐蚀法单羟基正醇; Keywords porous silicon electrochemical etching method monohydric alcohol; 分类号 TQ127.2 [化学工程—无机化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于可见-近红外高光谱成像技术的梨硬度和可溶性固体含量的预测被引量：10: 5; 作者侯宝路李柏承周瑶赵曼彤洪瑞金张大伟; 机构上海理工大学教育部光学仪器与系统工程研究中心上海现代光学系统重点实验室; 出处《激光杂志》北大核心 2015年第10期70-74,共5页; 基金国家自然科学基金(61378060) 国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ14014704) +2 种基金上海市教委曙光项目(11SG44) 上海市自然科学基金(13ZR1427800); 文摘高光谱成像技术可以用在无损检测水果品质方面。可见-近红外波段(400nm至1000nm)的光谱可以用来检测梨的可溶性固体含量(SSC)和硬度。用搭建的可见-近红外光谱范围的高光谱成像系统可以拍摄得到不同种类的梨的光谱图,再通过计算机软件提取光谱图中的有效信息进行分析。用于预测建立模型的两个品种共200个梨样品的光谱图经过连续投影算法(SPA)和多元线性回归算法(MLR)的处理分析可以建立回归模型以及回归方程来有效的预测梨的可溶性固体含量(SSC)和硬度。最终得到硬度模型的相关系数为0.923,SSC模型的相关系数为0.898。; 关键词光谱学可见-近红外高光谱梨可溶性固体含量硬度; Keywords Spectroscopy Visible-near infrared imaging spectroscopy Pear Soluble solids content Firmness; 分类号 S661.2 [农业科学—果树学] TN219 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	金属刻蚀后清洗导致AlSiCu互连线空洞问题的研究和对策	尤美琳朱亦鸣	《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心	2012	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	高分辨力凹面光栅光谱仪的优化设计	黄元申苏仰庆盛斌杨海马黄运柏李柏承	《光电工程》 CAS CSCD 北大核心	2015	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	并联BUCK变换器的非线性控制	李少龙金爱娟刘安康叶芳徐向丽	《电子科技》	2015	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	多孔硅制备中醇对形貌的影响	袁明辉刘顺顺赵堤张益彬	《太赫兹科学与电子信息学报》	2014	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	基于可见-近红外高光谱成像技术的梨硬度和可溶性固体含量的预测	侯宝路李柏承周瑶赵曼彤洪瑞金张大伟	《激光杂志》北大核心	2015	10	在线阅读下载PDF 职称材料