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金属刻蚀后清洗导致AlSiCu互连线空洞问题的研究和对策被引量：1: 1; 作者尤美琳朱亦鸣《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期176-181,共6页; 集成电路制造中,AlSiCu互连线一般使用干法刻蚀来制造,刻蚀后需经清洗工艺将残留物去除掉。而在清洗时,合金表面会出现空洞。我们在对空洞形成原理分析后发现,AlSiCu合金是由α相铝铜和富含Cu的θ相铝铜合金组成,在清洗过程中会发生电... 展开更多; 关键词 AlSiCu互连刻蚀后残留物清洗空洞; 在线阅读下载PDF 职称材料

氧化钛薄膜调控金属铜的表面等离子体共振特性研究被引量：2: 2; 作者桑小舟张大伟《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第7期2027-2030,共4页; 提出了一种利用氧化钛薄膜对金属铜薄膜表面等离子体共振特性调制的想法。实验中首先使用电子束蒸发制备一批同等厚度的氧化钛薄膜,再利用磁控溅射方法在氧化钛薄膜上沉积厚度为5~80 nm不等的金属铜薄膜。测试结果表明,氧化钛膜层对不... 展开更多; 关键词表面等离子体共振氧化钛铜吸收光谱电场分布; 在线阅读下载PDF 职称材料

高分辨力凹面光栅光谱仪的优化设计被引量：2: 3; 作者黄元申苏仰庆 +3 位作者盛斌杨海马黄运柏李柏承《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2015年第12期1-7,共7页; 本文从凹面光栅的理论分辨力和像差、狭缝的宽度和高度、光栅基片的尺寸大小等角度出发,推导了系统分辨力的计算公式,得出系统优化设计的新方法。得出以下结论:系统不能通过无限增加光栅刻线数来提高分辨力;狭缝宽度的选择要综合考虑入... 展开更多; 关键词凹面光栅光谱仪分辨力像差; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于可见-近红外高光谱成像技术的梨硬度和可溶性固体含量的预测被引量：10: 4; 作者侯宝路李柏承 +3 位作者周瑶赵曼彤洪瑞金张大伟《激光杂志》北大核心 2015年第10期70-74,共5页; 高光谱成像技术可以用在无损检测水果品质方面。可见-近红外波段(400nm至1000nm)的光谱可以用来检测梨的可溶性固体含量(SSC)和硬度。用搭建的可见-近红外光谱范围的高光谱成像系统可以拍摄得到不同种类的梨的光谱图,再通过计算机软件... 展开更多; 关键词光谱学可见-近红外高光谱梨可溶性固体含量硬度; 在线阅读下载PDF 职称材料

权重函数对渐进镜片设计的影响被引量：4: 5; 作者高健东项华中 +4 位作者李念宁王成郑刚庄松林张大伟《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第9期35-43,共9页; 为了研究权重分布函数对镜片设计的影响,在构建最小化模型的基础上,使用样条插值方法对过渡区域权重函数进行处理,设计了三组连接高权重区域和低权重区域的过渡区域变化快慢不同的权重分布函数.根据不同的权重分布函数设计了相应的渐进... 展开更多; 关键词视光学光学设计渐进多焦点镜片权重函数自由曲面像散屈光度; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于时域太赫兹波谱法的降糖类药物分类与分析被引量：2: 6; 作者李晗董萍 +5 位作者王家泰杜少卿李洪谢乐陈麟朱亦鸣《医用生物力学》 EI CAS CSCD 2011年第6期555-559,共5页; 目的根据降糖类药物在太赫兹频域范围的吸收光谱,研究他们各自基团的振动频率及其共振峰,以有效鉴别各种相似药品,同时也为明确不同分子基团振荡在药理上的贡献打下基础。方法利用时域太赫兹波谱系统对格列喹酮、格列吡嗪、格列齐特、... 展开更多; 关键词太赫兹光谱支持向量机降糖药振动分析频段分子; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名金属刻蚀后清洗导致AlSiCu互连线空洞问题的研究和对策被引量：1: 1; 作者尤美琳朱亦鸣; 机构上海交通大学微电子学院上海先进半导体制造股份有限公司工艺集成部上海理工大学教育部光学仪器与系统工程研究中心; 出处《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期176-181,共6页; 基金上海市科委纳米技术专项资助项目(0952nm02400) 上海市科委浦江人才计划资助项目(09PJ1407800) +2 种基金教育部留学回国科研启动基金资助项目; 文摘集成电路制造中,AlSiCu互连线一般使用干法刻蚀来制造,刻蚀后需经清洗工艺将残留物去除掉。而在清洗时,合金表面会出现空洞。我们在对空洞形成原理分析后发现,AlSiCu合金是由α相铝铜和富含Cu的θ相铝铜合金组成,在清洗过程中会发生电偶腐蚀而腐蚀Al。并且清洗使用的化学试剂由于含有胺根,水解后加剧了对Al的腐蚀。我们通过降低AlSiCu合金溅射时的衬底温度,将AlSiCu合金表面氧化,去离子水清洗时通入CO2这三种方案来防止AlSiCu合金在清洗时被腐蚀,从而提高了产品的成品率。; 关键词 AlSiCu互连刻蚀后残留物清洗空洞; Keywords AlSiCu interconnect etch residue cleaning holes; 分类号 TN305.96 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名氧化钛薄膜调控金属铜的表面等离子体共振特性研究被引量：2: 2; 作者桑小舟张大伟; 机构上海理工大学; 出处《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第7期2027-2030,共4页; 基金国家自然科学基金项目(61378060,61205156) 国家重大科学仪器设备开发专项项目(2012YQ170004) +1 种基金上海市自然科学基金项目(13ZR1427800)资助; 文摘提出了一种利用氧化钛薄膜对金属铜薄膜表面等离子体共振特性调制的想法。实验中首先使用电子束蒸发制备一批同等厚度的氧化钛薄膜,再利用磁控溅射方法在氧化钛薄膜上沉积厚度为5~80 nm不等的金属铜薄膜。测试结果表明,氧化钛膜层对不同厚度的金属铜薄膜表面等离子体共振增强具有不同调制效果,金属铜薄膜厚度小于20 m时,底层的氧化钛薄膜对Cu薄膜表面等离子体共振增强效果显著,且随着金属Xu膜层厚度增加表面等离子体共振峰发生蓝移,而当金属铜膜层的厚度超过20nm时,共振增强效果因金属Cu薄膜消光能力的上升而开始减弱。; 关键词表面等离子体共振氧化钛铜吸收光谱电场分布; Keywords Surface plasmon resonance TiO2 Copper Absorption spectrum Electric field distribution; 分类号 O53 [理学—等离子体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高分辨力凹面光栅光谱仪的优化设计被引量：2: 3; 作者黄元申苏仰庆盛斌杨海马黄运柏李柏承; 机构上海理工大学教育部光学仪器与系统工程研究中心上海现代光学系统重点实验室; 出处《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2015年第12期1-7,共7页; 基金国家自然科学基金(61378060 61205156) +1 种基金上海市教育委员会科研创新项目(14YZ095); 文摘本文从凹面光栅的理论分辨力和像差、狭缝的宽度和高度、光栅基片的尺寸大小等角度出发,推导了系统分辨力的计算公式,得出系统优化设计的新方法。得出以下结论:系统不能通过无限增加光栅刻线数来提高分辨力;狭缝宽度的选择要综合考虑入射光的能量和分辨力的大小;狭缝宽度对系统分辨力的影响远远大于狭缝高度和凹面光栅的理论分辨力的影响;提出了基片尺寸大小的计算公式和优化设计的方法。本文的理论计算值与实验结果相一致。; 关键词凹面光栅光谱仪分辨力像差; Keywords concave grating spectrometer resolution aberration; 分类号 TN247 [电子电信—物理电子学] TN253 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于可见-近红外高光谱成像技术的梨硬度和可溶性固体含量的预测被引量：10: 4; 作者侯宝路李柏承周瑶赵曼彤洪瑞金张大伟; 机构上海理工大学教育部光学仪器与系统工程研究中心上海现代光学系统重点实验室; 出处《激光杂志》北大核心 2015年第10期70-74,共5页; 基金国家自然科学基金(61378060) 国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ14014704) +2 种基金上海市教委曙光项目(11SG44) 上海市自然科学基金(13ZR1427800); 文摘高光谱成像技术可以用在无损检测水果品质方面。可见-近红外波段(400nm至1000nm)的光谱可以用来检测梨的可溶性固体含量(SSC)和硬度。用搭建的可见-近红外光谱范围的高光谱成像系统可以拍摄得到不同种类的梨的光谱图,再通过计算机软件提取光谱图中的有效信息进行分析。用于预测建立模型的两个品种共200个梨样品的光谱图经过连续投影算法(SPA)和多元线性回归算法(MLR)的处理分析可以建立回归模型以及回归方程来有效的预测梨的可溶性固体含量(SSC)和硬度。最终得到硬度模型的相关系数为0.923,SSC模型的相关系数为0.898。; 关键词光谱学可见-近红外高光谱梨可溶性固体含量硬度; Keywords Spectroscopy Visible-near infrared imaging spectroscopy Pear Soluble solids content Firmness; 分类号 S661.2 [农业科学—果树学] TN219 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名权重函数对渐进镜片设计的影响被引量：4: 5; 作者高健东项华中李念宁王成郑刚庄松林张大伟; 机构上海理工大学生物医学光学与视光学研究所上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海理工大学上海市介入医疗器械工程研究中心上海理工大学教育部光学仪器与系统工程研究中心; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第9期35-43,共9页; 基金国家自然科学基金青年科学基金(No.61605114)。; 文摘为了研究权重分布函数对镜片设计的影响,在构建最小化模型的基础上,使用样条插值方法对过渡区域权重函数进行处理,设计了三组连接高权重区域和低权重区域的过渡区域变化快慢不同的权重分布函数.根据不同的权重分布函数设计了相应的渐进多焦点自由曲面镜片,并进行了仿真、加工及评价.实验结果表明权重分布矩阵对镜片光学性能有影响,曲面的平均曲率和主曲率差的过渡区域权重变化越快,镜片的光学性能越优.因此,使用过渡区域较快变化的权重函数有利于降低镜片周边像散、优化镜片光焦度和散光分布.; 关键词视光学光学设计渐进多焦点镜片权重函数自由曲面像散屈光度; Keywords Optometry Optical design Progressive addition lens Weight functions Free surface Astigmatism Diopters; 分类号 TH74 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于时域太赫兹波谱法的降糖类药物分类与分析被引量：2: 6; 作者李晗董萍王家泰杜少卿李洪谢乐陈麟朱亦鸣; 机构上海市杨浦区老年医院上海理工大学教育部光学仪器与系统工程研究中心上海交通大学微电子学院; 出处《医用生物力学》 EI CAS CSCD 2011年第6期555-559,共5页; 基金上海市科委纳米技术专项(0952nm02400),上海市科委浦江人才计划(09PJ1407800) 国家教育部博士点新教师基金(20093120120007) +1 种基金国家自然科学基金资助项目(61007059); 文摘目的根据降糖类药物在太赫兹频域范围的吸收光谱,研究他们各自基团的振动频率及其共振峰,以有效鉴别各种相似药品,同时也为明确不同分子基团振荡在药理上的贡献打下基础。方法利用时域太赫兹波谱系统对格列喹酮、格列吡嗪、格列齐特、格列美脲、瑞格列奈和二甲双胍6种降糖药进行检测,得到他们在0.3～3.0 THz范围内的吸收谱;同时选取1.5～2.0 THz范围内的分类特征数据,用支持向量机的方法,分别对这些降糖药的特征数据进行鉴别。结果 4种磺脲类降糖药都在1.37 THz处有一明显的共振峰。根据吸收谱,能够很轻易地区分出瑞格列奈和二甲双胍与磺脲类药物的差别;而在支持向量机的帮助下,4类磺脲类药物也可被100%准确区分出来。结论太赫兹作为一种新的检测手段,在药物鉴别、药物品质控制、化学键/功能基团识别等方面有着积极的意义。; 关键词太赫兹光谱支持向量机降糖药振动分析频段分子; Keywords Terahertz spectroscopy Support vector machines Anti-diabetic drugs Vibration analysis Frequen-cy band Molecules; 分类号 R318.01 [医药卫生—生物医学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	金属刻蚀后清洗导致AlSiCu互连线空洞问题的研究和对策	尤美琳朱亦鸣	《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心	2012	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	氧化钛薄膜调控金属铜的表面等离子体共振特性研究	桑小舟张大伟	《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2016	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	高分辨力凹面光栅光谱仪的优化设计	黄元申苏仰庆盛斌杨海马黄运柏李柏承	《光电工程》 CAS CSCD 北大核心	2015	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于可见-近红外高光谱成像技术的梨硬度和可溶性固体含量的预测	侯宝路李柏承周瑶赵曼彤洪瑞金张大伟	《激光杂志》北大核心	2015	10	在线阅读下载PDF 职称材料
5	权重函数对渐进镜片设计的影响	高健东项华中李念宁王成郑刚庄松林张大伟	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2020	4	在线阅读下载PDF 职称材料
6	基于时域太赫兹波谱法的降糖类药物分类与分析	李晗董萍王家泰杜少卿李洪谢乐陈麟朱亦鸣	《医用生物力学》 EI CAS CSCD	2011	2	在线阅读下载PDF 职称材料