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钢带退火炉自动化控制系统
被引量：
3
1
作者
付东翔
刘丽莉
王亚刚
《控制工程》
CSCD
北大核心
2012年第4期580-582,586,共4页
介绍了由全氢罩式炉机组组成的全氢罩式退火炉控制系统。讨论了应用西门子公司的S7-300系列PLC和WINCC图形软件如何实现在退火过程中对设备的自动控制和实时监控功能。为了提高退火质量和控制精度,在温度控制问题上采用PID控制算法结合...
介绍了由全氢罩式炉机组组成的全氢罩式退火炉控制系统。讨论了应用西门子公司的S7-300系列PLC和WINCC图形软件如何实现在退火过程中对设备的自动控制和实时监控功能。为了提高退火质量和控制精度,在温度控制问题上采用PID控制算法结合脉冲循环燃烧算法。脉冲循环控制算法在提高被控温度的均匀性和延长烧嘴的寿命上有很好的效果。运行结果表明,该控制系统性能优越,效果良好。
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关键词
退火炉
脉冲循环燃烧
PLC
WINCC
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职称材料
基于SPR的多层金属膜厚在线纳米测量
被引量：
1
2
作者
李艳敏
李孟超
+3 位作者
刘芳芳
金丹
张大伟
庄松林
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第5期7-12,共6页
通过对于首层金属膜的SPR反射光强曲线的分析利用两峰值点标记角度,同时用柱面光与CCD测量系统建立无机械测角转台的反射光强角度分布测量系统。根据CCD接收的光强与位置对应信息经计算机处理换算为光强角度分布曲线,并通过与库内的曲...
通过对于首层金属膜的SPR反射光强曲线的分析利用两峰值点标记角度,同时用柱面光与CCD测量系统建立无机械测角转台的反射光强角度分布测量系统。根据CCD接收的光强与位置对应信息经计算机处理换算为光强角度分布曲线,并通过与库内的曲线数据进行匹配而获得膜厚数值。利用该系统对铬钛银铝等常用金属薄膜进行了在线测控研究,得到了纳米级金属薄膜的膜层蒸镀顺序与相应的膜厚测量范围。
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关键词
表面等离子体振荡
柱面光
多层金属薄膜
在线测量
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职称材料
题名
钢带退火炉自动化控制系统
被引量：
3
1
作者
付东翔
刘丽莉
王亚刚
机构
上海理工大学光电工程与计算机学院
出处
《控制工程》
CSCD
北大核心
2012年第4期580-582,586,共4页
基金
国家自然科学基金项目(61074087)
上海市教育委员会科研创新项目(12ZZ144)
文摘
介绍了由全氢罩式炉机组组成的全氢罩式退火炉控制系统。讨论了应用西门子公司的S7-300系列PLC和WINCC图形软件如何实现在退火过程中对设备的自动控制和实时监控功能。为了提高退火质量和控制精度,在温度控制问题上采用PID控制算法结合脉冲循环燃烧算法。脉冲循环控制算法在提高被控温度的均匀性和延长烧嘴的寿命上有很好的效果。运行结果表明,该控制系统性能优越,效果良好。
关键词
退火炉
脉冲循环燃烧
PLC
WINCC
Keywords
annealing furnace
pulse cycle combustion
PLC
WINCC
分类号
TP27 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于SPR的多层金属膜厚在线纳米测量
被引量：
1
2
作者
李艳敏
李孟超
刘芳芳
金丹
张大伟
庄松林
机构
上海理工大学
光电
信息
工程
与计算机
学院
上海
市计量测试技术研究院
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第5期7-12,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(60908021)
国家质检总局科技计划项目(2011QK099)
文摘
通过对于首层金属膜的SPR反射光强曲线的分析利用两峰值点标记角度,同时用柱面光与CCD测量系统建立无机械测角转台的反射光强角度分布测量系统。根据CCD接收的光强与位置对应信息经计算机处理换算为光强角度分布曲线,并通过与库内的曲线数据进行匹配而获得膜厚数值。利用该系统对铬钛银铝等常用金属薄膜进行了在线测控研究,得到了纳米级金属薄膜的膜层蒸镀顺序与相应的膜厚测量范围。
关键词
表面等离子体振荡
柱面光
多层金属薄膜
在线测量
Keywords
surface plasma resonance
cylindrical light
multilayer metal films
online measurement
分类号
TN06 [电子电信—物理电子学]
O439 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
钢带退火炉自动化控制系统
付东翔
刘丽莉
王亚刚
《控制工程》
CSCD
北大核心
2012
3
在线阅读
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职称材料
2
基于SPR的多层金属膜厚在线纳米测量
李艳敏
李孟超
刘芳芳
金丹
张大伟
庄松林
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2012
1
在线阅读
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职称材料
已选择
0
条
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引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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