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基于SPR的多层金属膜厚在线纳米测量
被引量：
1
1
作者
李艳敏
李孟超
+3 位作者
刘芳芳
金丹
张大伟
庄松林
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第5期7-12,共6页
通过对于首层金属膜的SPR反射光强曲线的分析利用两峰值点标记角度,同时用柱面光与CCD测量系统建立无机械测角转台的反射光强角度分布测量系统。根据CCD接收的光强与位置对应信息经计算机处理换算为光强角度分布曲线,并通过与库内的曲...
通过对于首层金属膜的SPR反射光强曲线的分析利用两峰值点标记角度,同时用柱面光与CCD测量系统建立无机械测角转台的反射光强角度分布测量系统。根据CCD接收的光强与位置对应信息经计算机处理换算为光强角度分布曲线,并通过与库内的曲线数据进行匹配而获得膜厚数值。利用该系统对铬钛银铝等常用金属薄膜进行了在线测控研究,得到了纳米级金属薄膜的膜层蒸镀顺序与相应的膜厚测量范围。
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关键词
表面等离子体振荡
柱面光
多层金属薄膜
在线测量
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职称材料
题名
基于SPR的多层金属膜厚在线纳米测量
被引量：
1
1
作者
李艳敏
李孟超
刘芳芳
金丹
张大伟
庄松林
机构
上海理工大学光电信息工程与计算机学院
上海
市计量测试技术研究院
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第5期7-12,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(60908021)
国家质检总局科技计划项目(2011QK099)
文摘
通过对于首层金属膜的SPR反射光强曲线的分析利用两峰值点标记角度,同时用柱面光与CCD测量系统建立无机械测角转台的反射光强角度分布测量系统。根据CCD接收的光强与位置对应信息经计算机处理换算为光强角度分布曲线,并通过与库内的曲线数据进行匹配而获得膜厚数值。利用该系统对铬钛银铝等常用金属薄膜进行了在线测控研究,得到了纳米级金属薄膜的膜层蒸镀顺序与相应的膜厚测量范围。
关键词
表面等离子体振荡
柱面光
多层金属薄膜
在线测量
Keywords
surface plasma resonance
cylindrical light
multilayer metal films
online measurement
分类号
TN06 [电子电信—物理电子学]
O439 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于SPR的多层金属膜厚在线纳米测量
李艳敏
李孟超
刘芳芳
金丹
张大伟
庄松林
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2012
1
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