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微机械振动式陀螺仪灵敏度分析 被引量:5
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作者 孙玉国 《噪声与振动控制》 CSCD 北大核心 2008年第3期167-168,共2页
微机械振动式陀螺仪在飞机、轮船的惯性导航系统中有重要应用。介绍微机械振动式陀螺仪的工作原理。给出其运动微分方程。推导谐振幅值相对于转动角速度的灵敏度表达式。分析表明:谐振状态下哥氏力与静电力成正比,与驱动模态频率成反比... 微机械振动式陀螺仪在飞机、轮船的惯性导航系统中有重要应用。介绍微机械振动式陀螺仪的工作原理。给出其运动微分方程。推导谐振幅值相对于转动角速度的灵敏度表达式。分析表明:谐振状态下哥氏力与静电力成正比,与驱动模态频率成反比。减小检测质量块的刚度可提高陀螺仪的灵敏度。 展开更多
关键词 振动与波 微机械陀螺仪 灵敏度 惯性测量 模态频率
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静电梳驱动RF MEMS滤波器动力学分析
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作者 孙玉国 《噪声与振动控制》 CSCD 北大核心 2007年第6期134-135,共2页
静电梳驱动硅微机械滤波器在RF通信领域有重要应用。从振动力学的角度,对硅微机械滤波器的力电耦合动态特性进行分析。分析结果表明:硅微机械滤波器输出电压V_o(t)与梳状振子振动速度成正比。谐振状态下,静电力包含直流分量和倍频分量... 静电梳驱动硅微机械滤波器在RF通信领域有重要应用。从振动力学的角度,对硅微机械滤波器的力电耦合动态特性进行分析。分析结果表明:硅微机械滤波器输出电压V_o(t)与梳状振子振动速度成正比。谐振状态下,静电力包含直流分量和倍频分量。直流偏置电压V_p可消除系统倍频振动,为后续检测电路设计提供便利。 展开更多
关键词 振动与波 机械滤波器 偏置电压 微机电系统
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