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微机械振动式陀螺仪灵敏度分析
被引量:
5
1
作者
孙玉国
《噪声与振动控制》
CSCD
北大核心
2008年第3期167-168,共2页
微机械振动式陀螺仪在飞机、轮船的惯性导航系统中有重要应用。介绍微机械振动式陀螺仪的工作原理。给出其运动微分方程。推导谐振幅值相对于转动角速度的灵敏度表达式。分析表明:谐振状态下哥氏力与静电力成正比,与驱动模态频率成反比...
微机械振动式陀螺仪在飞机、轮船的惯性导航系统中有重要应用。介绍微机械振动式陀螺仪的工作原理。给出其运动微分方程。推导谐振幅值相对于转动角速度的灵敏度表达式。分析表明:谐振状态下哥氏力与静电力成正比,与驱动模态频率成反比。减小检测质量块的刚度可提高陀螺仪的灵敏度。
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关键词
振动与波
微机械陀螺仪
灵敏度
惯性测量
模态频率
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职称材料
静电梳驱动RF MEMS滤波器动力学分析
2
作者
孙玉国
《噪声与振动控制》
CSCD
北大核心
2007年第6期134-135,共2页
静电梳驱动硅微机械滤波器在RF通信领域有重要应用。从振动力学的角度,对硅微机械滤波器的力电耦合动态特性进行分析。分析结果表明:硅微机械滤波器输出电压V_o(t)与梳状振子振动速度成正比。谐振状态下,静电力包含直流分量和倍频分量...
静电梳驱动硅微机械滤波器在RF通信领域有重要应用。从振动力学的角度,对硅微机械滤波器的力电耦合动态特性进行分析。分析结果表明:硅微机械滤波器输出电压V_o(t)与梳状振子振动速度成正比。谐振状态下,静电力包含直流分量和倍频分量。直流偏置电压V_p可消除系统倍频振动,为后续检测电路设计提供便利。
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关键词
振动与波
机械滤波器
偏置电压
微机电系统
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职称材料
题名
微机械振动式陀螺仪灵敏度分析
被引量:
5
1
作者
孙玉国
机构
上海理工大学光学与电子信息学院精密仪器研究所
出处
《噪声与振动控制》
CSCD
北大核心
2008年第3期167-168,共2页
基金
上海市教委科研资助项目(06EZ018)
文摘
微机械振动式陀螺仪在飞机、轮船的惯性导航系统中有重要应用。介绍微机械振动式陀螺仪的工作原理。给出其运动微分方程。推导谐振幅值相对于转动角速度的灵敏度表达式。分析表明:谐振状态下哥氏力与静电力成正比,与驱动模态频率成反比。减小检测质量块的刚度可提高陀螺仪的灵敏度。
关键词
振动与波
微机械陀螺仪
灵敏度
惯性测量
模态频率
Keywords
vibration and wave
micro-machining gyroscope
sensitivity
inertial measurement
modal frequency
分类号
TH73 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
静电梳驱动RF MEMS滤波器动力学分析
2
作者
孙玉国
机构
上海理工大学光学与电子信息学院精密仪器研究所
出处
《噪声与振动控制》
CSCD
北大核心
2007年第6期134-135,共2页
基金
上海市教委科研资助项目(06EZ018)
文摘
静电梳驱动硅微机械滤波器在RF通信领域有重要应用。从振动力学的角度,对硅微机械滤波器的力电耦合动态特性进行分析。分析结果表明:硅微机械滤波器输出电压V_o(t)与梳状振子振动速度成正比。谐振状态下,静电力包含直流分量和倍频分量。直流偏置电压V_p可消除系统倍频振动,为后续检测电路设计提供便利。
关键词
振动与波
机械滤波器
偏置电压
微机电系统
Keywords
vibration and wave
mechanical filter
bias voltage
MEMS
分类号
TN731 [电子电信—电路与系统]
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1
微机械振动式陀螺仪灵敏度分析
孙玉国
《噪声与振动控制》
CSCD
北大核心
2008
5
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职称材料
2
静电梳驱动RF MEMS滤波器动力学分析
孙玉国
《噪声与振动控制》
CSCD
北大核心
2007
0
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职称材料
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