无源核子料位计中脉冲峰值采样系统的设计 被引量：2

1

作者 吴斯彧 顾玲娟 +1 位作者 瑚琦 张立成 《电子设计工程》 2010年第4期7-9,共3页

针对无源核子料位计中测量精度不高的问题,设计一种随机脉冲峰值采样系统。该设计通过比对不同类型的峰值检测电路,选取了跨导型脉冲峰值检测方案,在分析核脉冲波形的过程中结合探测器实际情况,推导出该检测系统的参数,实现带宽高达15 ... 针对无源核子料位计中测量精度不高的问题,设计一种随机脉冲峰值采样系统。该设计通过比对不同类型的峰值检测电路,选取了跨导型脉冲峰值检测方案,在分析核脉冲波形的过程中结合探测器实际情况,推导出该检测系统的参数,实现带宽高达15 MHz的随机峰值检测系统。最后通过Spice模型仿真,结果表明系统具有快速的频率响应、低失真性,从而证明此脉冲峰值系统可行性,能够有效提高无源核子料位计的测量精度。 展开更多

关键词 随机脉冲 无放射源核子料位计 跨导型峰值检测 OPA860

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具有栅瓣抑制功能的非等间距光学相控阵芯片研究 被引量：1

2

作者 刘海鹏 葛锦蔓 +4 位作者 谭庆贵 李小军 张福领 曾和平 冯吉军 《空间电子技术》 2022年第2期23-28,共6页

光学相控阵(optical phased array,OPA)作为一种激光扫描技术,具有扫描速度快、精度高、损耗小和易于集成化等优点,在光通信、无人驾驶、激光雷达和航空航天等领域具有广泛的应用前景。为了抑制旁瓣的产生,要求工作波长大于OPA的阵元间... 光学相控阵(optical phased array,OPA)作为一种激光扫描技术,具有扫描速度快、精度高、损耗小和易于集成化等优点,在光通信、无人驾驶、激光雷达和航空航天等领域具有广泛的应用前景。为了抑制旁瓣的产生,要求工作波长大于OPA的阵元间距,导致远场主瓣附近必然产生栅瓣,降低OPA扫描精度和扫描范围。提出了一种具有栅瓣抑制功能的非等间距OPA芯片,可实现宽视场、高精度的光斑偏转效果。采用遗传算法优化64路非等间距OPA阵元间距,得到最低栅瓣的阵元分布,实现最佳的栅瓣抑制效果。实验结果表明,在1500~1600 nm波长范围内,优化后波导最小间距为2.2μm,最大间距为11.4μm,芯片远场光斑可实现20°×10°的二维扫描角度,且对旁瓣的抑制作用显著。 展开更多

关键词 光学相控阵 激光雷达 非等间距 遗传算法

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单层铁磁体中的超快太赫兹辐射研究进展

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作者 洪晖祥 张慧萍 +3 位作者 许涌 吴少晖 金钻明 彭滟 《太赫兹科学与电子信息学报》 2024年第8期813-822,共10页

宽频带太赫兹辐射源在太赫兹科学与技术中有着迫切的实际应用需求,是构建波谱和成像为代表的太赫兹应用系统的核心器件。与常用的商用太赫兹源相比,自旋光电子学太赫兹辐射源具有超宽频谱、固态稳定以及成本低等一系列优点。目前,基于... 宽频带太赫兹辐射源在太赫兹科学与技术中有着迫切的实际应用需求,是构建波谱和成像为代表的太赫兹应用系统的核心器件。与常用的商用太赫兹源相比,自旋光电子学太赫兹辐射源具有超宽频谱、固态稳定以及成本低等一系列优点。目前,基于自旋光电子学太赫兹辐射源的理论、材料和器件技术研究尚处于起步阶段。本文主要总结了近年来单层铁磁层的太赫兹产生机理以及太赫兹辐射信号的极性与激发构型之间的关系。通过改变磁场方向、入射激光方向和样品入射方向可有效区分超快退磁、反常霍尔效应和反常能斯特效应对太赫兹辐射特性的贡献,为太赫兹自旋光电子学领域的研究提供参考。 展开更多

关键词 太赫兹辐射源 铁磁薄膜 超快退磁 反常霍尔效应 反常能斯特效应

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生物组织脱水过程的太赫兹时域光谱 被引量：14

4

作者 杨航 赵红卫 +2 位作者 张建兵 朱亦鸣 刘永彪 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期263-267,共5页

利用透射式太赫兹时域光谱(THz-TDS)技术对猪脂肪、肌肉和皮肤三种新鲜组织的持续脱水过程进行在线连续扫描,观察太赫兹波时域谱在组织脱水过程的变化,并分析比较三种组织脱水前后的太赫兹波吸收系数及折射率的改变及差异.结果表明,太... 利用透射式太赫兹时域光谱(THz-TDS)技术对猪脂肪、肌肉和皮肤三种新鲜组织的持续脱水过程进行在线连续扫描,观察太赫兹波时域谱在组织脱水过程的变化,并分析比较三种组织脱水前后的太赫兹波吸收系数及折射率的改变及差异.结果表明,太赫兹波对新鲜组织含水量的改变十分敏感,新鲜组织的含水量是影响太赫兹波吸收系数的主要因素.同时,不同组织对太赫兹的吸收有明显差异,表明太赫兹光谱技术可以鉴别不同的组织类型.本研究为太赫兹技术在生物医学领域的进一步研究和应用提供了帮助. 展开更多

关键词 太赫兹 生物组织 脱水 吸收系数 折射率

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消像差Offner成像光谱仪的研究进展 被引量：2

5

作者 韩姗 黄元申 +2 位作者 李柏承 张大伟 倪争技 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期33-38,共6页

为了获得消像差Offner成像光谱仪,以三镜系统为基础综述了Offner成像光谱仪的各种消像差方法,介绍了由两块不同曲率半径凹面镜与凸面光栅构成的Offner成像光谱仪和狭缝与刻槽成不同方向的Offner成像光谱仪的消像差方法,并得到面内结构... 为了获得消像差Offner成像光谱仪,以三镜系统为基础综述了Offner成像光谱仪的各种消像差方法,介绍了由两块不同曲率半径凹面镜与凸面光栅构成的Offner成像光谱仪和狭缝与刻槽成不同方向的Offner成像光谱仪的消像差方法,并得到面内结构及正交结构两种成像光谱仪结构,其中正交结构在消像差方面更具优势,为获得高质量Offner成像光谱仪提供了理论基础。 展开更多

关键词 光学设计 消像差结构 像差理论 Offner成像光谱仪 凸面光栅

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高光谱无损检测辣椒粉中苏丹红浓度 被引量：2

6

作者 周瑶 李柏承 +2 位作者 赵曼彤 王琦 张大伟 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期27-34,共8页

为无损检测辣椒粉中苏丹红一号浓度(C),本文运用高光谱成像检测技术得到120个含有不同C的辣椒粉高光谱图像,其中60个作为校正集剩余为预测集,采用连续投影算法(SPA)从校正集的海量光谱数据中优选出45个特征波长,再通过偏最小二乘回归法(... 为无损检测辣椒粉中苏丹红一号浓度(C),本文运用高光谱成像检测技术得到120个含有不同C的辣椒粉高光谱图像,其中60个作为校正集剩余为预测集,采用连续投影算法(SPA)从校正集的海量光谱数据中优选出45个特征波长,再通过偏最小二乘回归法(PLSR)、多元线性回归法(MLR)和主成分回归法(PCR)建立预测模型。结果表明,MLR模型较优,其校正集相关系数为0.998,校正均方根误差为0.737 3?g/ml,预测集相关系数为0.987,预测均方根误差为1.921 3?g/ml,该方法可以实现辣椒粉中C的无损检测。 展开更多

关键词 高光谱成像技术 无损检测 辣椒粉 苏丹红一号浓度

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紫外衍射微透镜阵列的设计与制备 被引量：2

7

作者 张伟 李毅 +3 位作者 张虎 黄毅泽 朱慧群 孙若曦 《上海理工大学学报》 CAS 北大核心 2011年第2期174-178,共5页

通过研究互相关联的光学和工艺参数,用标量衍射理论设计了用于128×1日盲型紫外探测器的衍射微透镜阵列,其工作中心波长为400 nm,单元透镜F数为f/5,f为焦距.采用组合多层镀膜和剥离的工艺方法制备微透镜阵列,对工艺流程和制备误差... 通过研究互相关联的光学和工艺参数,用标量衍射理论设计了用于128×1日盲型紫外探测器的衍射微透镜阵列,其工作中心波长为400 nm,单元透镜F数为f/5,f为焦距.采用组合多层镀膜和剥离的工艺方法制备微透镜阵列,对工艺流程和制备误差进行了分析,对制备出的128×1的衍射微透镜阵列的光学性能进行测量和分析.实验结果表明,衍射微透镜阵列的衍射效率为87%.制备误差主要来自对准误差和线宽误差.紫外衍射微透镜阵列的整体性能满足了微透镜阵列与紫外焦平面阵列的单片集成要求. 展开更多

关键词 紫外 微透镜阵列 菲涅尔波带片 组合多层镀膜与剥离

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聚合物分散液晶柔性全息曲面光栅的研究 被引量：2

8

作者 李鹏飞 张伟伟 +2 位作者 申桐 康彪 郑继红 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2021年第2期237-245,共9页

本文通过将聚合物分散液晶膜包裹在固定曲率半径的聚对苯二甲酸乙二醇酯(Polyethylene terephthalate,PET)软膜内,通过平面波干涉的全息技术,制作了一种柔性曲面全息光栅。文章研究了柔性曲面全息光栅的衍射再现特性。使用微元法以及耦... 本文通过将聚合物分散液晶膜包裹在固定曲率半径的聚对苯二甲酸乙二醇酯(Polyethylene terephthalate,PET)软膜内,通过平面波干涉的全息技术,制作了一种柔性曲面全息光栅。文章研究了柔性曲面全息光栅的衍射再现特性。使用微元法以及耦合波理论研究推导了柔性曲面光栅在曲率改变时的衍射特性公式。提出以柱面波再现曲率变化时的柔性全息光栅,以实现最佳衍射效果再现,论文推演了相关技术参数,如柱面波焦点位置,柱透镜焦距与衍射横向放大关系率等。在曝光时间为70 s和曝光强度为30 mW/cm2的条件下,制备了中心衍射效率为88%的柔性光栅。实验通过改变柔性光栅的曲率半径和使用柱面波再现,实现了理论计算的衍射横向放大率特性。 展开更多

关键词 聚合物分散液晶 柔性光栅 衍射效率 衍射特性

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梯度学习的参数控制帮助线程预取模型 被引量：1

9

作者 裴颂文 张俊格 宁静 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期59-63,共5页

对于非规则访存的应用程序，当某个应用程序的访存开销大于计算开销时，传统帮助线程的访存开销会高于主线程的计算开销，从而导致帮助线程落后于主线程。于是提出一种改进的基于参数控制的帮助线程预取模型,该模型采用梯度下降算法对... 对于非规则访存的应用程序，当某个应用程序的访存开销大于计算开销时，传统帮助线程的访存开销会高于主线程的计算开销，从而导致帮助线程落后于主线程。于是提出一种改进的基于参数控制的帮助线程预取模型,该模型采用梯度下降算法对控制参数求解最优值，从而有效地控制帮助线程与主线程的访存任务量，使帮助线程领先于主线程。实验结果表明，基于参数选择的线程预取模型能获得1.1~1.5倍的系统性能加速比。 展开更多

关键词 数据预取 帮助线程 多核系统 访存延迟 梯度下降

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差分式强度检测型表面等离子共振传感器的研究 被引量：1

10

作者 刘瑾 陈抱雪 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2010年第12期50-54,共5页

针对表面等离子共振(SPR)传感器需要昂贵的角度转动或光谱分析装置的缺点,提出了采用双LD进行差分光强检测折射率变化的方法。该方法基于等离子共振原理,采用两个波长对应的反射光强差来实现对介质折射率变化量的传感,设计了参考光路,... 针对表面等离子共振(SPR)传感器需要昂贵的角度转动或光谱分析装置的缺点,提出了采用双LD进行差分光强检测折射率变化的方法。该方法基于等离子共振原理,采用两个波长对应的反射光强差来实现对介质折射率变化量的传感,设计了参考光路,以消除光源波动带来的影响。理论分析及实验表明,这种方法比单LD光强检测方法的灵敏度提高了近一倍。由于没有使用角度检测装置及光谱仪,易于实现仪器的小型化。可通过调整入射角和采用不同光源的方法来实现不同区间的折射率测量。 展开更多

关键词 表面等离子体共振 差分检测 参考光路

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非均匀光照下的车牌图像分割算法 被引量：2

11

作者 巨志勇 苏春美 《信息技术》 2015年第10期34-37,共4页

为了克服非均匀光照对车牌图像分割效果的影响,提出了一种新的光度补偿插值算法,将子图像的平均灰度值作为中心相对照度,并且利用插值算法得到子图像边缘照度,将非均匀光照的车牌图像转变成均匀光照图像,进而利用Otsu算法对均匀光照车... 为了克服非均匀光照对车牌图像分割效果的影响,提出了一种新的光度补偿插值算法,将子图像的平均灰度值作为中心相对照度,并且利用插值算法得到子图像边缘照度,将非均匀光照的车牌图像转变成均匀光照图像,进而利用Otsu算法对均匀光照车牌图像进行分割。实验结果表明,该算法对非均匀光照图像分割精度高,运算速度快,具有更加理想的分割效果。 展开更多

关键词 非均匀光照 车牌图像 亮度补偿 图像分割

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有机金属配价物在光电成像传感器中的紫外增强

12

作者 田鑫 张大伟 +2 位作者 黄元申 倪争技 庄松林 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期86-88,92,共4页

针对传统光电成像传感器对紫外响应的敏感度不高,通过研究有机金属配价物的发光机理与光致发光特性,用真空蒸镀的方法制备出有机金属配价物三（8-羟基喹啉）铝（Alq3）薄膜。用紫外光激发Alq3薄膜发现有较强的黄绿光产生,中心波长位于51... 针对传统光电成像传感器对紫外响应的敏感度不高,通过研究有机金属配价物的发光机理与光致发光特性,用真空蒸镀的方法制备出有机金属配价物三（8-羟基喹啉）铝（Alq3）薄膜。用紫外光激发Alq3薄膜发现有较强的黄绿光产生,中心波长位于510nm左右,并且激发光谱较宽（250nm～425nm）。该薄膜在可见光波段有很好的透过性,这使得可见光可以透射薄膜,基本无损失地到达传感器光敏感窗,从而增强了光电成像传感器的紫外响应。 展开更多

关键词 三(8-羟基喹啉)铝 有机金属配价物 紫外增强 光电成像传感器

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并联BUCK变换器的非线性控制

13

作者 李少龙 金爱娟 +2 位作者 刘安康 叶芳 徐向丽 《电子科技》 2015年第10期161-165,共5页

针对DC-DC变换器在开关工作频率下,系统易产生高次谐波、分叉混沌状态,以及系统稳定性降低的问题。在适当的频率和振幅下,通过采用参数共振干扰法干扰系统参数,可避免系统出现分岔混沌状态,抑制高次谐波,提高系统稳定性。文中通过研究... 针对DC-DC变换器在开关工作频率下,系统易产生高次谐波、分叉混沌状态,以及系统稳定性降低的问题。在适当的频率和振幅下,通过采用参数共振干扰法干扰系统参数,可避免系统出现分岔混沌状态,抑制高次谐波,提高系统稳定性。文中通过研究电压控制模式下并联BUCK变换器分岔混沌现象,证明参数共振干扰法可抑制分岔与混沌,减小系统相位移动,增强系统的稳定性。 展开更多

关键词 并联BUCK 参数共振干扰 非线性

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多孔硅制备中醇对形貌的影响

14

作者 袁明辉 刘顺顺 +1 位作者 赵堤 张益彬 《太赫兹科学与电子信息学报》 2014年第4期505-507,共3页

实验研究了无光照情况下多孔硅制备中不同单羟基正醇对形貌的影响。实验结果表明,随着醇碳链的增长,多孔硅孔密度减小,枝杈变长,枝杈的尖端变得尖锐。在孔的生长过程中,十字枝杈首先沿着晶格方向快速生长,然后晶格方向的生长速率减小,... 实验研究了无光照情况下多孔硅制备中不同单羟基正醇对形貌的影响。实验结果表明,随着醇碳链的增长,多孔硅孔密度减小,枝杈变长,枝杈的尖端变得尖锐。在孔的生长过程中,十字枝杈首先沿着晶格方向快速生长,然后晶格方向的生长速率减小,而非晶格方向则持续生长直到空穴耗尽。本实验增进了对硅溶解动力学中醇作用机理的理解。 展开更多

关键词 多孔硅 电化学腐蚀法 单羟基正醇

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多壁碳纳米管掺杂的聚合物分散液晶光栅的电光特性 被引量：2

15

作者 张伟伟 李鹏飞 +3 位作者 沈金荣 刘悠嵘 蔡智星 郑继红 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2020年第11期1095-1102,共8页

为了提高全息聚合物分散液晶的衍射效率以及降低其驱动电压和阈值电压,通过在聚合物分散液晶中掺杂多壁碳纳米管(MWCNT)研究其对H-PDLC光栅的电光特性的影响。本文采用了全息干涉的方法制备了4种质量分数(0,0.03%,0.05%,0.07%)MWCNT掺杂... 为了提高全息聚合物分散液晶的衍射效率以及降低其驱动电压和阈值电压,通过在聚合物分散液晶中掺杂多壁碳纳米管(MWCNT)研究其对H-PDLC光栅的电光特性的影响。本文采用了全息干涉的方法制备了4种质量分数(0,0.03%,0.05%,0.07%)MWCNT掺杂的H-PDLC光栅。结果表明MWCNT可以提升材料在532 nm处吸收率,从而导致掺杂0.05%多壁碳纳米管的H-PDLC光栅的一级衍射效率可以达到91%。同时引入MWCNT通过降低电阻率、增加电容改变了介质的介电性能,从而增强电场,表现为掺杂0.05%MWCNT时0.68 V/μm的低阈值电压和1.78 V/μm的低饱和电压。另外,随着MWCNT掺杂质量分数增加,H-PDLC的对比度逐渐降低。 展开更多

关键词 聚合物分散液晶 全息光栅 多壁碳纳米管 电光特性

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神经细胞中五种常见物质的太赫兹波谱的推定 被引量：4

16

作者 罗洁 寇天一 +1 位作者 施辰君 吴旭 《太赫兹科学与电子信息学报》 北大核心 2019年第1期35-39,共5页

利用太赫兹时域光谱技术(THz-TDS)对神经细胞中常见的5种物质(L-谷氨酸、γ-氨基丁酸、肌酸、盐酸多巴胺和肌醇)的纯品进行特征谱检测。实验结果显示,5种物质在太赫兹波段有明显且独特的吸收谱线,并且同一种物质不同浓度的吸收系数符合... 利用太赫兹时域光谱技术(THz-TDS)对神经细胞中常见的5种物质(L-谷氨酸、γ-氨基丁酸、肌酸、盐酸多巴胺和肌醇)的纯品进行特征谱检测。实验结果显示,5种物质在太赫兹波段有明显且独特的吸收谱线,并且同一种物质不同浓度的吸收系数符合朗伯比尔定律。此外,利用CASTEP软件包对5种物质的光谱进行仿真,结果显示太赫兹波段光谱特征吸收峰的成因主要由分子基团的振动而引起。之后,对肌醇、L-谷氨酸、γ-氨基丁酸和肌酸的1:1:1:1混合物的谱线进行检测,结合最小二乘法等算法倒推,可以准确推断每一种物质的含量及比例。结果表明,当4种物质混合时,物质含量推断的准确率为94%以上,这一研究结果对于癌组织的早期检测有重大意义。 展开更多

关键词 太赫兹时域光谱技术 混合物成分分析 吸收系数 光谱检测

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纳米氧化锌掺杂液晶/聚合物膜的阻抗谱特性 被引量：3

17

作者 朱清 刘悠嵘 +1 位作者 江志鹏 郑继红 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2020年第9期62-70,共9页

本文研究了采用纳米氧化锌棒掺杂的聚合物分散液晶(PDLC)的电阻抗谱特性及其传感应用。利用聚合物分散液晶薄膜具有稳固结构、能抵御机械冲击、容易制备等特点,在材料中掺杂纳米氧化锌棒,通过电阻抗谱性质分析,实现对极性分子如乙醇气... 本文研究了采用纳米氧化锌棒掺杂的聚合物分散液晶(PDLC)的电阻抗谱特性及其传感应用。利用聚合物分散液晶薄膜具有稳固结构、能抵御机械冲击、容易制备等特点,在材料中掺杂纳米氧化锌棒,通过电阻抗谱性质分析,实现对极性分子如乙醇气体的传感功能。通过对比实验,研究分析了薄膜在遇到乙醇分子时的复阻抗谱的变化,并建立了电化学等效电路,发现该薄膜能有效地实现对乙醇分子的传感功能。并进一步分析研究了该检测传感的灵敏度和响应时间等特性。结果表明,以纳米氧化锌棒掺杂PDLC薄膜有望作为检测乙醇等极性的气体传感器,具有高灵敏度、结构稳定、重复性高、易于制造等优点。 展开更多

关键词 聚合物分散液晶 纳米氧化锌棒 气体检测 阻抗分析 等效电路

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纳米氧化铈掺杂双单体丙烯酸酯光致聚合物的全息存储特性研究

18

作者 郑增荣 刘悠嵘 +3 位作者 张磬瀚 申桐 李绍鑫 郑继红 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2023年第7期870-879,共10页

本文研究了纳米氧化铈(CeO_(2))掺杂的双单体丙烯酸酯光致聚合物(TMPTA/EP828)材料的全息存储性能。通过引入纳米CeO_(2)以及优化配方比例来提升材料的全息性能,分析了CeO_(2)掺杂浓度及预聚合温度对衍射效率的影响。实验结果显示,厚度... 本文研究了纳米氧化铈(CeO_(2))掺杂的双单体丙烯酸酯光致聚合物(TMPTA/EP828)材料的全息存储性能。通过引入纳米CeO_(2)以及优化配方比例来提升材料的全息性能,分析了CeO_(2)掺杂浓度及预聚合温度对衍射效率的影响。实验结果显示,厚度为100μm的透射光栅样品在衍射效率(~95%)、光谱透过率(96.1%)、皱缩率(0.504%)、带宽和角度选择性等方面均表现出优秀性能。CeO_(2)的引入可有效提高TMPTA/EP828系统的交联网络结构和记录介质之间的兼容性,促进聚合反应,抑制体积皱缩,减小复用角度间隔,从而提升全息存储的角度复用性能和材料的稳定性。进一步经过光固化和老化实验证明,优化后的光致聚合物配方具有抗老化和耐高温性能。同时,材料制备工艺流程简便、周期短、易保存,可记录多路复用全息图像,在高密度数据存储等领域具有较广泛的应用前景。 展开更多

关键词 衍射效率 衍射光学 纳米氧化铈 光致聚合物 全息光存储

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太赫兹返波管频率稳定性的检测方法研究

19

作者 舒天娇 游冠军 +1 位作者 朱亦鸣 郭旭光 《红外》 CAS 2018年第8期24-27,共4页

提出了一种返波管频率稳定性快速检测方法。利用一个抛物面镜对返波管辐射信号进行收集和准直,然后将探测器放置在准直平行光束的后方进行检测,并使所测信号经示波器显示和读出。根据法布里--珀罗干涉原理估测返波管的单频频率输出稳定... 提出了一种返波管频率稳定性快速检测方法。利用一个抛物面镜对返波管辐射信号进行收集和准直,然后将探测器放置在准直平行光束的后方进行检测,并使所测信号经示波器显示和读出。根据法布里--珀罗干涉原理估测返波管的单频频率输出稳定性。本文方法对于提高基于返波管的频域高分辨率太赫兹波谱系统的性能具有重要的应用价值。 展开更多

关键词 返波管 频率稳定性 法布里-珀罗干涉

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0.13μm铜互连工艺鼓包状缺陷问题的解决

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作者 张磊 朱亦鸣 《电子与封装》 2013年第5期34-41,共8页

传统集成电路制造工艺主要采用铝作为金属互连材料,但是随着晶体管尺寸越来越小,在0.13μm及以上制程中,一般采用铜大马士革互连工艺来提高器件的可靠性。铜互连工艺中需要用氮化硅作为穿孔图形蚀刻的阻挡层,由于氮化硅材质具有很强的应... 传统集成电路制造工艺主要采用铝作为金属互连材料,但是随着晶体管尺寸越来越小,在0.13μm及以上制程中,一般采用铜大马士革互连工艺来提高器件的可靠性。铜互连工艺中需要用氮化硅作为穿孔图形蚀刻的阻挡层,由于氮化硅材质具有很强的应力,再加上制程中的热反应和蚀刻效应就会造成氮化硅层从界面掀起从而形成一种鼓包状缺陷(bubble defect)。文章通过调整并控制铜金属连线层间氧化电介质层的蚀刻速率,改变有机介质层(BARC)的沉积方法,以及改进产品的电路设计的检验规则,从而解决鼓包状缺陷的产生,降低产品芯片的报废率,提高产品的良率。 展开更多

关键词 铜互连 鼓包缺陷 氮化硅

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