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Yb∶LuScO_3晶体的超精密光学加工及其激光性能
被引量：
3
1
作者
沈冯峰
徐学科
+3 位作者
高文兰
于浩海
张龙
邵建达
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第10期2407-2414,共8页
Yb∶LuScO_3晶体作为固体激光器的新型增益介质,其面形和表面质量严重影响激光器的光束质量,因此探索Yb∶LuScO_3晶体的超精度光学加工工艺参数具有重要意义。本文系统开展了Yb∶LuScO_3晶体超精密光学加工的工艺参数研究,针对Yb∶LuSc...
Yb∶LuScO_3晶体作为固体激光器的新型增益介质,其面形和表面质量严重影响激光器的光束质量,因此探索Yb∶LuScO_3晶体的超精度光学加工工艺参数具有重要意义。本文系统开展了Yb∶LuScO_3晶体超精密光学加工的工艺参数研究,针对Yb∶LuScO_3晶体在加工过程中容易破裂和表面质量较差的问题,提出了拼接上盘和树脂铜盘抛光垫的关键技术。首先,使用COMSOL Multiphysics有限元软件对拼接工艺中选取的不同保护垫料的应力进行仿真。接着,研磨阶段逐步减小B_4C磨料的粒径。然后,粗糙阶段使用树脂铜盘作为抛光垫,并对树脂铜盘抛光垫的作用进行了分析。最后,使用激光二极管泵浦加工好的样品进行激光输出实验。实验结果表明:基于该技术加工后的晶体表面粗糙度RMS=0.296 nm,面形精度PV=53 nm。在1 086 nm处获得了8.3 W的连续激光输出,斜效率为58%。该加工方法可以广泛应用于Yb∶LuScO_3晶体的高精度加工。
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关键词
光学加工
Yb∶LuScO3
表面面形
表面粗糙度
树脂铜盘
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职称材料
大型环抛机蜡盘平面度的测量
被引量：
8
2
作者
王哲
徐学科
+6 位作者
邵建达
顿爱欢
杨明红
范永涛
方媛媛
高文兰
刘方
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第12期3048-3053,共6页
针对大口径平面光学元件全频谱面形技术指标的高效率、高精度收敛,研究了环形抛光技术。考虑环抛机沥青蜡盘的平面度直接影响工件面形的收敛效率,本文利用准直激光束作为参考,设计研制了测量精度高,重复性精度达到±1μm的大型环抛...
针对大口径平面光学元件全频谱面形技术指标的高效率、高精度收敛,研究了环形抛光技术。考虑环抛机沥青蜡盘的平面度直接影响工件面形的收敛效率,本文利用准直激光束作为参考,设计研制了测量精度高,重复性精度达到±1μm的大型环抛机抛光蜡盘平面度测量专用装置。分析了环抛过程中蜡盘表面平面度和工件面型PV值之间的变化规律和相关性,根据测量数据得出了蜡盘平面度数据和工件面形的对应关系。实验显示:当平面度和面形曲线相差较大时,工件面形可快速收敛至1λ左右,并由粗抛向精抛工序快速过渡。提出的大型环抛机抛光蜡盘平面度监测装置实现了对湿滑胶体平面的高精度、快速测量,为环抛的确定性抛光工艺提供了重要的技术支持。
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关键词
环形抛光
大型环抛机
抛光蜡盘
平面度测量
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职称材料
分束量可调的等光程平行分束技术
3
作者
郭小娴
曾爱军
黄惠杰
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第10期2673-2676,共4页
基于厚波片平行分束特性,提出了一种分束量可调的等光程平行分束技术,给出透射式和反射式两种平行分束光路.透射式平行分束光路由厚波片和1/2波片组成,反射式平行分束光路由分束镜、厚波片、1/4波片和反射镜组成.通过旋转厚波片可实现...
基于厚波片平行分束特性,提出了一种分束量可调的等光程平行分束技术,给出透射式和反射式两种平行分束光路.透射式平行分束光路由厚波片和1/2波片组成,反射式平行分束光路由分束镜、厚波片、1/4波片和反射镜组成.通过旋转厚波片可实现分束量的调节.实验结果和理论值相吻合,验证了该技术的有效性.
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关键词
平行分束
厚波片
分束量
等光程
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职称材料
题名
Yb∶LuScO_3晶体的超精密光学加工及其激光性能
被引量：
3
1
作者
沈冯峰
徐学科
高文兰
于浩海
张龙
邵建达
机构
中国科学院
上海
光学
精密机械
研究所强激光材料重点实验室
中国科学院大学
上海恒益光学精密机械有限公司
山东大学晶体材料国家重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第10期2407-2414,共8页
基金
科技部增材制造与激光制造重点专项(No.2016YFB1102300)
文摘
Yb∶LuScO_3晶体作为固体激光器的新型增益介质,其面形和表面质量严重影响激光器的光束质量,因此探索Yb∶LuScO_3晶体的超精度光学加工工艺参数具有重要意义。本文系统开展了Yb∶LuScO_3晶体超精密光学加工的工艺参数研究,针对Yb∶LuScO_3晶体在加工过程中容易破裂和表面质量较差的问题,提出了拼接上盘和树脂铜盘抛光垫的关键技术。首先,使用COMSOL Multiphysics有限元软件对拼接工艺中选取的不同保护垫料的应力进行仿真。接着,研磨阶段逐步减小B_4C磨料的粒径。然后,粗糙阶段使用树脂铜盘作为抛光垫,并对树脂铜盘抛光垫的作用进行了分析。最后,使用激光二极管泵浦加工好的样品进行激光输出实验。实验结果表明:基于该技术加工后的晶体表面粗糙度RMS=0.296 nm,面形精度PV=53 nm。在1 086 nm处获得了8.3 W的连续激光输出,斜效率为58%。该加工方法可以广泛应用于Yb∶LuScO_3晶体的高精度加工。
关键词
光学加工
Yb∶LuScO3
表面面形
表面粗糙度
树脂铜盘
Keywords
optical manufacture
Yb∶LuScO 3
surface profile
surface roughness
copper resin pad
分类号
O614.346 [理学—无机化学]
TG580.692 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
大型环抛机蜡盘平面度的测量
被引量：
8
2
作者
王哲
徐学科
邵建达
顿爱欢
杨明红
范永涛
方媛媛
高文兰
刘方
机构
中国科学院
上海
光学
精密机械
研究所
上海恒益光学精密机械有限公司
华中科技大学
光学
与电子信息学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第12期3048-3053,共6页
基金
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(No.61605228)
文摘
针对大口径平面光学元件全频谱面形技术指标的高效率、高精度收敛,研究了环形抛光技术。考虑环抛机沥青蜡盘的平面度直接影响工件面形的收敛效率,本文利用准直激光束作为参考,设计研制了测量精度高,重复性精度达到±1μm的大型环抛机抛光蜡盘平面度测量专用装置。分析了环抛过程中蜡盘表面平面度和工件面型PV值之间的变化规律和相关性,根据测量数据得出了蜡盘平面度数据和工件面形的对应关系。实验显示:当平面度和面形曲线相差较大时,工件面形可快速收敛至1λ左右,并由粗抛向精抛工序快速过渡。提出的大型环抛机抛光蜡盘平面度监测装置实现了对湿滑胶体平面的高精度、快速测量,为环抛的确定性抛光工艺提供了重要的技术支持。
关键词
环形抛光
大型环抛机
抛光蜡盘
平面度测量
Keywords
continuous polishing
large continuous polisher
pitch lap
flatness measurement
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
分束量可调的等光程平行分束技术
3
作者
郭小娴
曾爱军
黄惠杰
机构
中国科学院
上海
光学
精密机械
研究所
中国科学院研究生院
上海恒益光学精密机械有限公司
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第10期2673-2676,共4页
基金
上海市青年科技启明星计划(06QB14047)资助
文摘
基于厚波片平行分束特性,提出了一种分束量可调的等光程平行分束技术,给出透射式和反射式两种平行分束光路.透射式平行分束光路由厚波片和1/2波片组成,反射式平行分束光路由分束镜、厚波片、1/4波片和反射镜组成.通过旋转厚波片可实现分束量的调节.实验结果和理论值相吻合,验证了该技术的有效性.
关键词
平行分束
厚波片
分束量
等光程
Keywords
Parallel beam splitter
Thick wave plate
Displacement difference
Equal optical path
分类号
O436.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Yb∶LuScO_3晶体的超精密光学加工及其激光性能
沈冯峰
徐学科
高文兰
于浩海
张龙
邵建达
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
3
在线阅读
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职称材料
2
大型环抛机蜡盘平面度的测量
王哲
徐学科
邵建达
顿爱欢
杨明红
范永涛
方媛媛
高文兰
刘方
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
8
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
分束量可调的等光程平行分束技术
郭小娴
曾爱军
黄惠杰
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
0
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职称材料
已选择
0
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