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超精密光栅尺位移测量系统
被引量：
15
1
作者
党宝生
熊显名
+1 位作者
王献英
张文涛
《激光杂志》
北大核心
2018年第9期42-46,共5页
针对光刻机运动台位移测量需求,研究了利用二次衍射光干涉的对称式光栅尺位移测量系统。基于多普勒效应分析了光栅尺的位移测量原理,推导了光栅尺位移测量模型。设计了基于商用双频激光干涉仪的测量对比实验平台,开展了光栅尺位移测量...
针对光刻机运动台位移测量需求,研究了利用二次衍射光干涉的对称式光栅尺位移测量系统。基于多普勒效应分析了光栅尺的位移测量原理,推导了光栅尺位移测量模型。设计了基于商用双频激光干涉仪的测量对比实验平台,开展了光栅尺位移测量系统原理验证实验、测量一致性实验和测量稳定性实验。实验结果分别表明：光栅尺位移测量系统原理正确;光栅尺和激光干涉仪位移测量系统间测量结果的差值小于16.67nm的置信度为0.95,具有良好测量一致性;光栅尺位移测量系统具有较好的抗干扰能力,鲁棒性强,能够满足光刻机运动台位移测量需求。
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关键词
光刻机
位移测量
光栅尺
测量一致性
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职称材料
题名
超精密光栅尺位移测量系统
被引量：
15
1
作者
党宝生
熊显名
王献英
张文涛
机构
桂林电予科技大学
电子
工程与自动化学院
上海微电子装备集团股份有限公司
出处
《激光杂志》
北大核心
2018年第9期42-46,共5页
基金
国家科技重大专项(02专项)子课题(No.2017ZX02101007-003)
文摘
针对光刻机运动台位移测量需求,研究了利用二次衍射光干涉的对称式光栅尺位移测量系统。基于多普勒效应分析了光栅尺的位移测量原理,推导了光栅尺位移测量模型。设计了基于商用双频激光干涉仪的测量对比实验平台,开展了光栅尺位移测量系统原理验证实验、测量一致性实验和测量稳定性实验。实验结果分别表明：光栅尺位移测量系统原理正确;光栅尺和激光干涉仪位移测量系统间测量结果的差值小于16.67nm的置信度为0.95,具有良好测量一致性;光栅尺位移测量系统具有较好的抗干扰能力,鲁棒性强,能够满足光刻机运动台位移测量需求。
关键词
光刻机
位移测量
光栅尺
测量一致性
Keywords
lithography
displacement measurement
encoder
measurement consistency
分类号
O436.13 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超精密光栅尺位移测量系统
党宝生
熊显名
王献英
张文涛
《激光杂志》
北大核心
2018
15
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