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用于MEMS微镜激光跟瞄的扩角镜头研究: 1; 作者张鹏程汪洋 +7 位作者李安娜黄昊张程张家昌张永贵王栎皓刘艺晨武震宇《红外与激光工程》北大核心 2025年第1期120-130,共11页; MEMS微镜是小型化激光跟瞄系统的关键组件。系统通过控制MEMS微镜使激光偏转,并由光电探测器收集信号,可以实现对目标的稳定跟踪和瞄准。然而MEMS准静态微镜的扫描视场角较小,这限制了对目标的大视场跟踪能力。为了解决MEMS微镜扫描视... 展开更多; 关键词压电微镜微机电系统技术激光跟踪瞄准扩角镜头伽利略光路; 在线阅读下载PDF 职称材料

卫星激光通信MEMS快速反射镜可靠性研究进展被引量：6: 2; 作者朱伟鸿汪洋 +2 位作者王栎皓刘艺晨武震宇《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第9期222-234,共13页; 快速反射镜(Fast Steering Mirror,FSM)具有响应快、精度高、分辨率高等优势,被广泛应用于卫星激光通信、超分辨率成像、高精度激光瞄准等领域,是捕获、跟踪和瞄准(Acquisition Tracking and Pointing,ATP)系统中的核心部件。传统快反... 展开更多; 关键词卫星激光通信快速反射镜微机电系统技术环境适应性可靠性; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于金刚石量子色心的温度磁场同步测量技术被引量：2: 3; 作者王曹刘启慧 +2 位作者程建功陈浩武震宇《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第11期1226-1233,1241,共9页; 金刚石中的氮空位(NV)色心具有极佳的量子性质,并且对温度和磁场敏感,为温度与磁场的精密测量提供了新的解决方案。提出一种基于金刚石NV色心的温度和磁场同步测量方法。NV色心自旋塞曼劈裂能级随温度同向移动、随磁场反向移动。通过对... 展开更多; 关键词量子传感氮空位(NV)色心温度测量磁测量自旋双共振; 在线阅读下载PDF 职称材料

高均匀性1×4多模干涉耦合器的研究与设计被引量：3: 4; 作者李赵一范作文 +7 位作者丛庆宇周敬杰曾宪峰郑少南董渊胡挺钟其泽贾连希《光通信研究》 2023年第3期53-59,共7页; 针对多输出端口输出光功率的不均匀性问题,文章设计了一种基于绝缘体上硅(SOI)的1×4多模干涉(MMI)耦合器,提出了一种优化其均匀性的新方法。耦合器输入/输出端采用锥形波导,为提升MMI耦合器的均匀性,对输出端锥形波导采用不等宽设... 展开更多; 关键词硅光子学多模干涉耦合器均匀性损耗; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅基光混频器的研究进展被引量：1: 5; 作者王佳垚岳文成 +3 位作者刘雨菲李欣雨涂芝娟余明斌《光电子技术》 CAS 2021年第2期79-86,共8页; 硅基光电子集成回路在高速相干光传输系统中具有巨大的应用潜力。作为相干光通信领域重要的光学相干解调器件,硅基光混频器对实现良好的相干检测具有重要的意义。文中从光混频器的原理出发,介绍了基于不同结构的硅基90°光混频器的... 展开更多; 关键词硅基光电子集成光学光混频器多模干涉耦合器; 在线阅读下载PDF 职称材料

中红外波段高速硅基电光调制器设计与优化(特邀): 6; 作者刘雨菲李欣雨 +3 位作者王书晓岳文成蔡艳余明斌《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第3期71-78,共8页; 作为中红外波段中最接近O波段和C波段的波段,2μm波段区域逐渐引起人们的广泛关注。主要对2μm波段的马赫-增德尔型调制器进行优化设计和仿真,根据2μm波长下光模场分布的特点,选用具有340 nm厚度顶层硅的SOI衬底,结合实际工艺中240 nm... 展开更多; 关键词硅基光电子学中红外波段调制器; 在线阅读下载PDF 职称材料

具有亚波长模式局域性的全介质反槽波导及其与输入/输出光纤的高效耦合: 7; 作者岳文成王庆 +2 位作者李欣雨王书晓余明斌《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期709-714,共6页; 由于金属固有的欧姆损耗,表面等离子体波导通常具有较大的传输损耗。基于此,提出了一种全介质反槽波导结构,该波导可以同时实现亚波长模式局域性和理论上无损耗的传输,归一化模式面积可以达到3.4×10^(-2)。另外,为了实现该小尺寸... 展开更多; 关键词光子集成电路纳米光子学波导; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用于MEMS微镜激光跟瞄的扩角镜头研究: 1; 作者张鹏程汪洋李安娜黄昊张程张家昌张永贵王栎皓刘艺晨武震宇; 机构中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院大学上海麦锴科技有限公司上海微技术工业研究院; 出处《红外与激光工程》北大核心 2025年第1期120-130,共11页; 基金国家重点研发计划项目(2021YFB3202500) 上海市“科技创新行动计划”启明星项目(23YF1445100)。; 文摘 MEMS微镜是小型化激光跟瞄系统的关键组件。系统通过控制MEMS微镜使激光偏转,并由光电探测器收集信号,可以实现对目标的稳定跟踪和瞄准。然而MEMS准静态微镜的扫描视场角较小,这限制了对目标的大视场跟踪能力。为了解决MEMS微镜扫描视场较小的问题,基于伽利略扩角光路,针对小型化、后扫描光路、易加工等需求,设计了一款小型化跟瞄扩角镜头。首先,采用光束发散角和高斯拟合误差等指标,结合光束质量分析仪,对比了激光在扩角前后的光束质量,分析了扩角镜头对光束质量的影响;其次,基于搭建的扩角镜头表征装置,对比理论计算与仿真模型,分析了扩角结果;最后,结合MEMS准静态微镜和扩角镜头,对比了扩角前后的激光扫描图案。实验结果表明:设计的扩角镜头具有约2.88倍的扩角放大率,扩角线性度小于0.7%,且扩角前后激光光束质量无明显变化,扩角后发散全角控制在2 mrad以内。该项研究成果有助于推动小型化MEMS微镜激光跟踪瞄准系统的性能提升。; 关键词压电微镜微机电系统技术激光跟踪瞄准扩角镜头伽利略光路; Keywords piezoelectric micromirror micro electro mechanical system laser tracking and aiming wide-angle lens Galilean optical path; 分类号 O439 [机械工程—光学工程] E933.43 [军事—军事装备学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名卫星激光通信MEMS快速反射镜可靠性研究进展被引量：6: 2; 作者朱伟鸿汪洋王栎皓刘艺晨武震宇; 机构上海大学微电子学院中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海微技术工业研究院中国科学院大学; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第9期222-234,共13页; 基金中国科学院科学科研仪器装备研制项目(YJKYYQ20190026) 上海市产业协同创新项目(HCXBCY-2021-044)。; 文摘快速反射镜(Fast Steering Mirror,FSM)具有响应快、精度高、分辨率高等优势,被广泛应用于卫星激光通信、超分辨率成像、高精度激光瞄准等领域,是捕获、跟踪和瞄准(Acquisition Tracking and Pointing,ATP)系统中的核心部件。传统快反镜主要由压电陶瓷和音圈电机驱动,而基于微机电(Micro Electro Mechanical System,MEMS)技术制备的快反镜具有小型化及批量化等优势,是技术发展的趋势,但其应用于卫星激光通信领域的可靠性尚未进行全面论证。文中介绍了快反镜的工作原理、环境适应性要求以及国内外快反镜的可靠性水平,结合致动原理和结构分析了现有快反镜的失效机理、评估方法和可靠性加固技术,最后指出了高可靠性快反镜的结构和加固技术发展方向,并通过综合分析与仿真验证了MEMS快反镜应用于卫星激光通信的可行性。; 关键词卫星激光通信快速反射镜微机电系统技术环境适应性可靠性; Keywords satellite laser communication fast steering mirror micro electro mechanical system environmental adaptability reliability; 分类号 TH209 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于金刚石量子色心的温度磁场同步测量技术被引量：2: 3; 作者王曹刘启慧程建功陈浩武震宇; 机构中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中国科学院大学上海大学微电子学院上海微技术工业研究院; 出处《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第11期1226-1233,1241,共9页; 基金中国科学院战略性先导科技专项(XDC07030200) 中国科学院科研仪器装备研制项目(YJKYYQ20190026) 国家重点研发计划(2021YFB3202500)。; 文摘金刚石中的氮空位(NV)色心具有极佳的量子性质,并且对温度和磁场敏感,为温度与磁场的精密测量提供了新的解决方案。提出一种基于金刚石NV色心的温度和磁场同步测量方法。NV色心自旋塞曼劈裂能级随温度同向移动、随磁场反向移动。通过对劈裂能级同时进行光探测磁共振探测,并结合频率调制解调技术,实现了对温度和磁场的同步测量。自旋双共振系统的3 d B带宽为1 k Hz。在激光功率400 m W、自旋劈裂能级对的驱动微波功率分别为30 d Bm和35 d Bm时,温度灵敏度和磁灵敏度分别约为0.4mK/√Hz和1.1nT/√Hz。温度测量对磁场的隔离度约10 d B。该技术为大动态范围温度与磁场的同步测量提供了解决方案。; 关键词量子传感氮空位(NV)色心温度测量磁测量自旋双共振; Keywords quantum sensing nitrogen-vacancy(NV)color center temperature measurement magnetic measurement spin dual-resonance; 分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TM936 [电气工程—电力电子与电力传动]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高均匀性1×4多模干涉耦合器的研究与设计被引量：3: 4; 作者李赵一范作文丛庆宇周敬杰曾宪峰郑少南董渊胡挺钟其泽贾连希; 机构上海大学微电子学院中科院上海微系统与信息技术研究所上海微技术工业研究院; 出处《光通信研究》 2023年第3期53-59,共7页; 基金国家重点研发计划资助项目(2018YFB2200503)。; 文摘针对多输出端口输出光功率的不均匀性问题,文章设计了一种基于绝缘体上硅(SOI)的1×4多模干涉(MMI)耦合器,提出了一种优化其均匀性的新方法。耦合器输入/输出端采用锥形波导,为提升MMI耦合器的均匀性,对输出端锥形波导采用不等宽设计,通过优化,四路输出端口均匀性高达0.0074 dB,而总的插损仅有0.058 dB。依据该方法最终使得输出端波导的传输常数失配,避免了波导之间的串扰,实现了对MMI耦合器输出端口均匀性的提升。; 关键词硅光子学多模干涉耦合器均匀性损耗; Keywords silicon photonics multimode interferometric couplers uniformity loss; 分类号 TN252 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅基光混频器的研究进展被引量：1: 5; 作者王佳垚岳文成刘雨菲李欣雨涂芝娟余明斌; 机构中国科学院中国科学院大学上海微技术工业研究院; 出处《光电子技术》 CAS 2021年第2期79-86,共8页; 基金国家重点研发计划(2019YFB2203500) 国防科技战略先导研究项目(XDB43020500) +2 种基金国家青年基金项目(61904185) 上海市科技重大专项(2017SHZDZX03)。; 文摘硅基光电子集成回路在高速相干光传输系统中具有巨大的应用潜力。作为相干光通信领域重要的光学相干解调器件,硅基光混频器对实现良好的相干检测具有重要的意义。文中从光混频器的原理出发,介绍了基于不同结构的硅基90°光混频器的研究进展。其中,平面光波导型90°光混频器主要有两大类:基于3 dB耦合器及移相器的90°光混频器具有相位偏差小、性能稳定的特点;基于多模干涉耦合器的90°光混频器具有结构简单、尺寸小的特点。此外,研究还回顾了适用于多进制相位调制格式的不同相位解调的光混频器,并对硅基光混频器的未来发展趋势做出了预测。; 关键词硅基光电子集成光学光混频器多模干涉耦合器; Keywords silicon photonics integrated optics optical hybrid multimode interference coupler; 分类号 TN252 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名中红外波段高速硅基电光调制器设计与优化(特邀): 6; 作者刘雨菲李欣雨王书晓岳文成蔡艳余明斌; 机构中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室中国科学院大学材料与光电研究中心上海微技术工业研究院; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第3期71-78,共8页; 文摘作为中红外波段中最接近O波段和C波段的波段,2μm波段区域逐渐引起人们的广泛关注。主要对2μm波段的马赫-增德尔型调制器进行优化设计和仿真,根据2μm波长下光模场分布的特点,选用具有340 nm厚度顶层硅的SOI衬底,结合实际工艺中240 nm硅刻蚀深度,得到宽度为600 nm以及平板层厚度为100 nm的最优脊波导结构。通过优化掺杂浓度和掺杂区位置获得综合性能最优的调制器器件,在4 V反向偏压下器件光损耗为5.17 dB/cm,调制效率为2.86 V·cm,静态消光比为23.8 dB,3dB EO带宽为27.1 GHz。同时,与220 nm厚度顶层硅器件相比较,器件的综合性能更为优越。研究内容为后续器件实际制作提供了依据,也为后续2μm波段光收发集成模块所需调制器设计提供了新的方向。; 关键词硅基光电子学中红外波段调制器; Keywords silicon photonics mid-infrared band modulators; 分类号 TN214 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名具有亚波长模式局域性的全介质反槽波导及其与输入/输出光纤的高效耦合: 7; 作者岳文成王庆李欣雨王书晓余明斌; 机构中国科学院上海微系统与信息技术研究所中国科学院大学西安理工大学电子工程系上海微技术工业研究院; 出处《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期709-714,共6页; 基金 Supported by National Key Research and Development Program of China(2019YFB2203502) Shanghai Sailing Program(20YF1456900) +1 种基金 National Outstanding Youth Foundation of China(61904185)。; 文摘由于金属固有的欧姆损耗,表面等离子体波导通常具有较大的传输损耗。基于此,提出了一种全介质反槽波导结构,该波导可以同时实现亚波长模式局域性和理论上无损耗的传输,归一化模式面积可以达到3.4×10^(-2)。另外,为了实现该小尺寸反槽波导与输入/输出光纤的高效耦合,提出了一种高效的耦合方案,耦合效率可以达到92.7%,在y和z方向上1 dB损耗的耦合偏差均约为2μm。; 关键词光子集成电路纳米光子学波导; Keywords photonic integrated circuits nanophotonics waveguide; 分类号 O439 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	用于MEMS微镜激光跟瞄的扩角镜头研究	张鹏程汪洋李安娜黄昊张程张家昌张永贵王栎皓刘艺晨武震宇	《红外与激光工程》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	卫星激光通信MEMS快速反射镜可靠性研究进展	朱伟鸿汪洋王栎皓刘艺晨武震宇	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2023	6	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于金刚石量子色心的温度磁场同步测量技术	王曹刘启慧程建功陈浩武震宇	《微纳电子技术》 CAS 北大核心	2022	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	高均匀性1×4多模干涉耦合器的研究与设计	李赵一范作文丛庆宇周敬杰曾宪峰郑少南董渊胡挺钟其泽贾连希	《光通信研究》	2023	3	在线阅读下载PDF 职称材料
5	硅基光混频器的研究进展	王佳垚岳文成刘雨菲李欣雨涂芝娟余明斌	《光电子技术》 CAS	2021	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	中红外波段高速硅基电光调制器设计与优化(特邀)	刘雨菲李欣雨王书晓岳文成蔡艳余明斌	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2022	0	在线阅读下载PDF 职称材料
7	具有亚波长模式局域性的全介质反槽波导及其与输入/输出光纤的高效耦合	岳文成王庆李欣雨王书晓余明斌	《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2021	0	在线阅读下载PDF 职称材料