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题名基板材料对光学薄膜近红外激光损伤阈值的影响
被引量：2
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作者
吴周令
范正修
高扬
王之江
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机构
中国科学院上海光机所
上海应用机械研究所
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出处
《激光技术》
CAS
CSCD
1990年第3期8-12,共5页
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文摘
以电子束及电阻热蒸发镀制的TiO_2、ZrO_2、SiO_2、MgF_2、ZnS等单层膜及TiO_2/SiO_2多层膜为例,实验研究了熔石英(SiO_2)、蓝宝石(Al_2O_3)以及氟化钙(CaF_2)等不同基板材料对光学薄膜近红外激光损伤阈值的影响,结果发现,对单层膜及增透膜,基板材料对损伤阈值有较为显著的影响,其一般规律是阈值随基板热导率的提高而提高,而对高反膜,基板材料则无甚影响。文章结合体/面吸收研究以及损伤瞬态行为分析,用局部吸收导致热破坏这一机理,较好地解释了上述现象。
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关键词
基板材料
光学薄膜
红外激光
损伤
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分类号
O484.41
[理学—固体物理]
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