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离焦位置任意波长透射波前Zernike系数算法研究被引量：4: 1; 作者张齐元韩森 +2 位作者唐寿鸿王全召姜志华《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期101-108,共8页; 基于Zernike多项式波前拟合法,提出计算离焦位置任意波长透射波前Zernike系数的算法,在聚焦位置Zernike系数基础上补偿离焦距离内Zernike系数变化量.以典型的消色差望远物镜为例,根据设计波长及权重优化其工作位置,计算不同波长的聚焦... 展开更多; 关键词波前检测 Zernike系数离焦波长消色差; 在线阅读下载PDF 职称材料

激光跟踪仪多边测量的不确定度评定被引量：20: 2; 作者任瑜刘芳芳 +2 位作者张丰傅云霞邾继贵《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第10期2415-2422,共8页; 激光跟踪仪多边测量是大型高端装备制造现场溯源的重要手段,正确评定其不确定度是确保制造过程量值统一、结果可靠的关键。本文提出了一种准确、快速的激光跟踪仪多边测量的不确定度评定方法。从仪器误差、环境干扰及靶球制造误差等方... 展开更多; 关键词激光跟踪仪多边测量测量不确定度多维测量模型; 在线阅读下载PDF 职称材料

双测头复合型微纳米测量仪的研制被引量：6: 3; 作者吴俊杰刘俭 +2 位作者魏佳斯傅云霞李源《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期415-423,共9页; 针对当前微纳米测量中存在的大范围高精度测量及复杂微结构几何参数表征难题,基于多测头传感和精密定位平台复用技术,开发了一台具有多种测量尺度和测量模式的复合型微纳米测量仪。为使其具备大范围快速扫描测量和小范围精细测量功能,... 展开更多; 关键词微纳米测量白光干涉测头原子力显微镜多测头技术精密定位; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于纳米测量机的微结构三维坐标测量被引量：8: 4; 作者吴俊杰李源《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第10期2252-2259,共8页; 针对当前微纳米测量中存在的微结构跨尺度、高精度测量及高深宽比结构多参数表征问题,基于纳米测量机和微接触测头构建了纳米坐标测量系统。通过对测头与定位平台机械、电气及软件接口的设计,实现测头与平台的集成,并利用标准球对测量... 展开更多; 关键词微纳米测量纳米测量机三维微接触测头高深宽比侧壁倾角; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名离焦位置任意波长透射波前Zernike系数算法研究被引量：4: 1; 作者张齐元韩森唐寿鸿王全召姜志华; 机构长春理工大学光电工程学院上海理工大学光电信息与计算机工程学院苏州慧利仪器有限责任公司苏州维纳仪器有限责任公司上海市计量测试研究院机械与制造计量技术研究所; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期101-108,共8页; 基金国家重点研发计划(No.2016YFF0101903)资助~~; 文摘基于Zernike多项式波前拟合法,提出计算离焦位置任意波长透射波前Zernike系数的算法,在聚焦位置Zernike系数基础上补偿离焦距离内Zernike系数变化量.以典型的消色差望远物镜为例,根据设计波长及权重优化其工作位置,计算不同波长的聚焦位置与工作位置的离焦量,使用该算法验证消色差系统工作位置任意波长Zernike系数.与在工作位置直接使用Conrady-Zernike公式对比表明,该算法对于与位置有关的Zernike系数计算效果明显,Z1的绝对误差由6.78降低到了1.41,Z4的绝对误差由6.83降低到了1.45.; 关键词波前检测 Zernike系数离焦波长消色差; Keywords Wavefront testing Zernike coefficients Defocus Wavelength Achromatic; 分类号 O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光跟踪仪多边测量的不确定度评定被引量：20: 2; 作者任瑜刘芳芳张丰傅云霞邾继贵; 机构天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室上海市计量测试技术研究院机械与制造计量技术研究所; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第10期2415-2422,共8页; 基金国家质量监督检验检疫总局科技计划项目(No.2017QK091); 文摘激光跟踪仪多边测量是大型高端装备制造现场溯源的重要手段,正确评定其不确定度是确保制造过程量值统一、结果可靠的关键。本文提出了一种准确、快速的激光跟踪仪多边测量的不确定度评定方法。从仪器误差、环境干扰及靶球制造误差等方面分析激光跟踪仪多边测量的不确定度来源。针对多边测量的输出量为多维向量的特点,重点研究基于多维不确定度传播律(GUM法)的不确定度合成方法,同步评定目标点坐标和跟踪仪站位的不确定度。最后,介绍了点到点长度的不确定度计算方法。实验表明:GUM法评定的不确定度结果与蒙特卡洛法(MCM法)的结果相比,坐标不确定度偏差小于0.000 2 mm,相关系数偏差小于0.01,满足数值容差,且GUM法用时仅为MCM法的0.08%;点到点长度测试的En值均小于1。因此,基于GUM法评定激光跟踪仪多边测量的不确定度具有可行性及高效性,且评定结果正确、可靠。; 关键词激光跟踪仪多边测量测量不确定度多维测量模型; Keywords laser tracker multilateration uncertainty multivariate measurement models; 分类号 TN249 [电子电信—物理电子学] TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名双测头复合型微纳米测量仪的研制被引量：6: 3; 作者吴俊杰刘俭魏佳斯傅云霞李源; 机构上海市计量测试技术研究院机械与制造计量技术研究所哈尔滨工业大学仪器科学与工程学院; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期415-423,共9页; 基金上海市市场监督管理局科技项目资助(No.2019-02) 上海市青年科技英才扬帆计划资助项目(No.19YF1441700) +1 种基金国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.2014YQ090709)。; 文摘针对当前微纳米测量中存在的大范围高精度测量及复杂微结构几何参数表征难题,基于多测头传感和精密定位平台复用技术,开发了一台具有多种测量尺度和测量模式的复合型微纳米测量仪。为使其具备大范围快速扫描测量和小范围精细测量功能,仪器集成了白光干涉和原子力显微镜两种测头,通过设计适用于两种测头集成的桥架结构及宏/微两级驱动定位平台,实现整机的开发。为保证仪器测量结果的准确性和溯源性,利用标准样板对开发完成的仪器进行了校准。仪器搭载的白光干涉测头可以达到横向500 nm,纵向1 nm的分辨力;原子力显微镜测头横向和纵向分辨力均可达到1 nm。最后,利用目标仪器对微球样品进行了测量,通过大范围成像和小范围精细扫描,获得了微球的表面特征,验证了仪器对复杂微结构的测量能力。; 关键词微纳米测量白光干涉测头原子力显微镜多测头技术精密定位; Keywords micro and nano measurement white light interference microscope atomic force microscope Multi-probe technology precise positioning; 分类号 TH711 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于纳米测量机的微结构三维坐标测量被引量：8: 4; 作者吴俊杰李源; 机构上海市计量测试技术研究院机械与制造计量技术研究所; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第10期2252-2259,共8页; 基金上海市市场监督管理局科技项目资助(No.2019-02) 上海市青年科技英才扬帆计划资助项目(No.19YF1441700) 国家重点研发计划资助项目(No.2019YFB2004904)。; 文摘针对当前微纳米测量中存在的微结构跨尺度、高精度测量及高深宽比结构多参数表征问题,基于纳米测量机和微接触测头构建了纳米坐标测量系统。通过对测头与定位平台机械、电气及软件接口的设计,实现测头与平台的集成,并利用标准球对测量系统进行校准。为保证测量结果的可溯源性,对定位平台三轴激光干涉仪的激光器进行了拍频。最后,利用搭建的测量系统对高度10μm,2 mm的超高台阶及硅臂卡爪的侧壁倾角进行了测量,表明系统具备大尺寸结构的高精度测量和复杂MEMS器件特征尺寸的精确表征能力。; 关键词微纳米测量纳米测量机三维微接触测头高深宽比侧壁倾角; Keywords micro-and nano measurement nano measuring machine 3D micro tactile probe high aspect ratio sidewall angle; 分类号 TH711 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	离焦位置任意波长透射波前Zernike系数算法研究	张齐元韩森唐寿鸿王全召姜志华	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2018	4	在线阅读下载PDF 职称材料
2	激光跟踪仪多边测量的不确定度评定	任瑜刘芳芳张丰傅云霞邾继贵	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2018	20	在线阅读下载PDF 职称材料
3	双测头复合型微纳米测量仪的研制	吴俊杰刘俭魏佳斯傅云霞李源	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2020	6	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于纳米测量机的微结构三维坐标测量	吴俊杰李源	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2020	8	在线阅读下载PDF 职称材料