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MEMS电容式三维微触觉测头设计及校准
被引量：
8
1
作者
吴俊杰
李源
+2 位作者
李东升
卢歆
何明轩
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第12期3087-3094,共8页
由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件,本文基于非硅MEMS工艺,开发了一种可用于微纳米尺度三维尺寸测量的电容式微触觉测头。利用电容频率测量法实现了微弱电容信号的采集。采用宏微结合驱动方式,设计了运动...
由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件,本文基于非硅MEMS工艺,开发了一种可用于微纳米尺度三维尺寸测量的电容式微触觉测头。利用电容频率测量法实现了微弱电容信号的采集。采用宏微结合驱动方式,设计了运动范围为25mm×25mm×10mm,单轴12μm范围内定位精度达1nm的三维微位移平台。最后,对测头的测量范围、线性、迟滞及分辨力进行了测试。结果表明,测头的轴向测量范围为4.5μm,横向测量范围大于5μm,轴向分辨力优于10nm,横向分辨力优于25nm,线性较好。开发的测头结构简单、分辨力高、体积小、成本低,可集成到纳米测量定位平台(NMM),完成具有大范围、亚微米或纳米级精度要求的测量任务。
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关键词
微触觉测头
微电容传感器
微机电系统
校准装置
纳米测量机
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职称材料
题名
MEMS电容式三维微触觉测头设计及校准
被引量：
8
1
作者
吴俊杰
李源
李东升
卢歆
何明轩
机构
中国
计量
学院
计量
测试
工程学院
上海市计量测试技术研究院微米纳米计量实验室
上海
交通大学微纳科学
技术
研究院
微米
/
纳米
加工
技术
国家重点
实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第12期3087-3094,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51075378)
上海市科委纳米专项基金资助项目(No.11nm0560800)
文摘
由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件,本文基于非硅MEMS工艺,开发了一种可用于微纳米尺度三维尺寸测量的电容式微触觉测头。利用电容频率测量法实现了微弱电容信号的采集。采用宏微结合驱动方式,设计了运动范围为25mm×25mm×10mm,单轴12μm范围内定位精度达1nm的三维微位移平台。最后,对测头的测量范围、线性、迟滞及分辨力进行了测试。结果表明,测头的轴向测量范围为4.5μm,横向测量范围大于5μm,轴向分辨力优于10nm,横向分辨力优于25nm,线性较好。开发的测头结构简单、分辨力高、体积小、成本低,可集成到纳米测量定位平台(NMM),完成具有大范围、亚微米或纳米级精度要求的测量任务。
关键词
微触觉测头
微电容传感器
微机电系统
校准装置
纳米测量机
Keywords
micro tactile probe
micro capacitance sensor
Micro-electronic-mechanic system （MEMS）
calibration device
nano measuring machine
分类号
TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
TP212.9 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MEMS电容式三维微触觉测头设计及校准
吴俊杰
李源
李东升
卢歆
何明轩
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
8
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