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多通道柔性神经微电极加工工艺
被引量：
3
1
作者
邢玉梅
惠春
+3 位作者
徐爱兰
李刚
赵建龙
任秋实
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第10期2465-2472,共8页
针对多通道柔性神经微电极的设计及制作,研究了微电极的加工工艺。采用一种新型的柔性聚合物材料——聚对二甲苯(parylene C)作为微电极的基底和绝缘材料,借助微细加工技术,制作了36通道(按6×6矩阵排列)的柔性神经微电极,微电极的...
针对多通道柔性神经微电极的设计及制作,研究了微电极的加工工艺。采用一种新型的柔性聚合物材料——聚对二甲苯(parylene C)作为微电极的基底和绝缘材料,借助微细加工技术,制作了36通道(按6×6矩阵排列)的柔性神经微电极,微电极的尺寸分别为Φ150μm(圆形)和150μm×150μm(方形),电极引线线宽为30μm。无论微电极为圆形或方形,表面均平整光滑、轮廓清晰。电学性能测试结果表明,1 kHz时微电极的阻抗仅为7 kΩ左右,且随着频率的增加,阻抗逐渐降低,呈明显高通特性。微电极加工质量较好,电学性能优良,实现了微电极和柔性基底的集成,有利于高效率批量制作,为视觉假体中柔性神经接口的研制奠定了基础。
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关键词
神经微电极
柔性基底
聚对二甲苯
微细加工
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职称材料
题名
多通道柔性神经微电极加工工艺
被引量：
3
1
作者
邢玉梅
惠春
徐爱兰
李刚
赵建龙
任秋实
机构
上海
交通
大学
生命科学技术
学院
上海大学理学院纳微能源研究所
上海
交通
大学
微
纳
科学技术
研究
院
中国科
学院
上海
微
系统与信息技术
研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第10期2465-2472,共8页
基金
国家973重点基础研究发展规划资助项目(No.2005CB724305
2005CB724302)
+2 种基金
中国博士后科学基金资助项目(No.20070410724)
上海市科委国际合作专项资助项目(No.8160706000)
上海市科委纳米专项资助项目(No.0852nm017000)
文摘
针对多通道柔性神经微电极的设计及制作,研究了微电极的加工工艺。采用一种新型的柔性聚合物材料——聚对二甲苯(parylene C)作为微电极的基底和绝缘材料,借助微细加工技术,制作了36通道(按6×6矩阵排列)的柔性神经微电极,微电极的尺寸分别为Φ150μm(圆形)和150μm×150μm(方形),电极引线线宽为30μm。无论微电极为圆形或方形,表面均平整光滑、轮廓清晰。电学性能测试结果表明,1 kHz时微电极的阻抗仅为7 kΩ左右,且随着频率的增加,阻抗逐渐降低,呈明显高通特性。微电极加工质量较好,电学性能优良,实现了微电极和柔性基底的集成,有利于高效率批量制作,为视觉假体中柔性神经接口的研制奠定了基础。
关键词
神经微电极
柔性基底
聚对二甲苯
微细加工
Keywords
neural microelectrode
flexible substrate
parylene
microfabrication
分类号
TP212.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
R338 [医药卫生—人体生理学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多通道柔性神经微电极加工工艺
邢玉梅
惠春
徐爱兰
李刚
赵建龙
任秋实
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
3
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