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PIA-EB-Hf法制备的单层HfO_2激光薄膜残余应力及化学计量比的调控 被引量:1
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作者 付朝丽 杨勇 +2 位作者 马云峰 黄政仁 焦正 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期515-523,共9页
Hf O_2作为最有前景的抗激光薄膜材料之一,最佳的制备方法是利用等离子体辅助电子束蒸发金属Hf并充氧进行反应沉积即PIA-EB-Hf法,而化学计量比失配导致的强吸收和高残余应力造成的力损伤成为其主要的激光损伤机制。采用正交优化手段,探... Hf O_2作为最有前景的抗激光薄膜材料之一,最佳的制备方法是利用等离子体辅助电子束蒸发金属Hf并充氧进行反应沉积即PIA-EB-Hf法,而化学计量比失配导致的强吸收和高残余应力造成的力损伤成为其主要的激光损伤机制。采用正交优化手段,探究了沉积速率、APS离子源偏压和放电电流、沉积温度、以及充氧量和充氧位置对薄膜残余应力和O/Hf配比的影响,并针对优化薄膜进行了激光损伤性能研究。研究表明速率太大导致膜成分不均匀;过高的离子源偏压使O/Hf配比反升,但薄膜向m(-1 1 1)面取向显著,残余应力很大,且容易引入杂质原子Ar,造成强吸收;沉积温度对薄膜性能的影响主要体现在促进粒子反应、改变结晶状态和改善薄膜均匀性等,不同范围内发挥的作用不同。解决离子源的污染问题,以及获得结构疏松均匀和平整的非晶膜层是进一步提高激光损伤阈值的关键。 展开更多
关键词 氧化铪 等离子体辅助电子束蒸发 激光损伤 残余应力 化学计量比
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在线检测挥发性有机物的质子转移反应飞行时间质谱仪的研制 被引量:14
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作者 伍小梅 彭真 +4 位作者 董俊国 高伟 黄正旭 程平 周振 《质谱学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期1-7,共7页
基于质子转移离子源和飞行时间质谱分析器技术,自主设计和开发了质子转移反应飞行时间质谱仪(PTR-TOF MS)。该仪器主要由空心阴极放电区、质子转移反应管、离子传输区及飞行时间质量分析检测器4部分组成。为了增加离子的传输效率,提高... 基于质子转移离子源和飞行时间质谱分析器技术,自主设计和开发了质子转移反应飞行时间质谱仪(PTR-TOF MS)。该仪器主要由空心阴极放电区、质子转移反应管、离子传输区及飞行时间质量分析检测器4部分组成。为了增加离子的传输效率,提高仪器的性能,整个仪器的真空系统采用三级真空设计,分别对应于质子转移反应管、离子传输区和飞行时间质量分析器。离子在离子传输区的运动轨迹通过Simion程序进行了模拟和优化。采用不同浓度的甲苯标准气体对仪器的整体性能进行测试,该仪器的线性动态范围可达3个数量级,检测限可达5×10-10(甲苯)(S/N=6),分辨率优于4 500。 展开更多
关键词 质子转移反应 空心阴极放电 挥发性有机物 飞行时间质量分析仪
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室内灰尘中邻苯二甲酸酯和双酚A的污染暴露 被引量:5
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作者 刘文龙 王玉洁 +3 位作者 刘烨 孙妍 吴明红 马静 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2019年第2期282-292,共11页
室内灰尘含有大量的污染物,是人体接触多种有毒物质的重要来源.对上海市区的普通居民住宅、超市、大学生宿舍和办公室中采集的97种地面灰尘样品进行研究,结果显示样品中均检出了7种邻苯二甲酸酯(phthalic acid esters, PAEs)及双酚A(bis... 室内灰尘含有大量的污染物,是人体接触多种有毒物质的重要来源.对上海市区的普通居民住宅、超市、大学生宿舍和办公室中采集的97种地面灰尘样品进行研究,结果显示样品中均检出了7种邻苯二甲酸酯(phthalic acid esters, PAEs)及双酚A(bisphenol A, BPA).ΣPAEs含量为127.00~3 130.00μg/g,中值为542.00μg/g.领苯二甲酸(2-乙基己基)酯(diethylhexyl phthalate, DEHP)含量为85.40~3 040.00μg/g,远高于其他6种PAEs,中值为399.00μg/g; BPA含量为0.20~4.70μg/g,中值为0.65μg/g. 4类室内环境中ΣPAEs的中值含量依次为cp4(办公室)>cp1普通居民住宅>cp3(大学生宿舍)>cp2(超市), BPA的中值含量依次为cb4(办公室)≈cb2(超市)>cb3(大学生宿舍)>cb1(普通居民住宅).根据灰尘中BPA和PAEs的含量估算基于灰尘摄入的日摄入量.结果表明, 1~5岁幼儿的PAEs日摄入量为2 250.00 ng/kg-bw/day, BPA日摄入量为2.27 ng/kg-bw/day,均远高于成人的日摄入量.基于室内灰尘与室内大气中DEHP浓度平衡关系,利用终生致癌风险(incremental lifetime cancer risk, ILCR)模型,分别对不同性别、年龄段人群的呼吸暴露DEHP造成的潜在健康风险进行了评估,结果表明:ILCR大小按年龄段排序为I3(成人)>I2(青少年)>I1(儿童),且女性略高于男性. 展开更多
关键词 邻苯二甲酸酯 双酚A 室内灰尘 人体暴露 终生致癌风险
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离子源偏压对PIA-EB-Hf法制备的HfO2激光薄膜性能的影响 被引量:2
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作者 付朝丽 杨勇 +3 位作者 马云峰 魏玉全 焦正 黄政仁 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期69-74,共6页
探究HfO_2薄膜的激光损伤特性以进一步提高激光损伤阈值(Laser Induced Damage Threshold,简称LIDT),对其在高功率激光系统中的广泛应用具有重要的意义。在不同的离子源偏压下,采用等离子体辅助电子束蒸发金属铪(Hf)并充氧(O_2)进行反... 探究HfO_2薄膜的激光损伤特性以进一步提高激光损伤阈值(Laser Induced Damage Threshold,简称LIDT),对其在高功率激光系统中的广泛应用具有重要的意义。在不同的离子源偏压下,采用等离子体辅助电子束蒸发金属铪(Hf)并充氧(O_2)进行反应沉积法制备了中心波长为1064 nm,光学厚度为4H的HfO_2薄膜样品。测试了薄膜组分和残余应力;根据透射谱拟合了薄膜的折射率;通过XRD谱图和SEM表面形貌图分析了薄膜的微观结构;对激光损伤阈值、损伤特性和机理进行了论述。结果表明:偏压100 V时制备的薄膜具有最佳O/Hf配比;薄膜压应力和折射率均随偏压降低而减小。薄膜内存在结晶,激光能量在晶界缺陷处被强烈聚集和吸收,加速了膜层的破坏,形成由几百纳米的烧灼坑聚集而成的海绵状损伤结构。随着偏压降低,膜结晶取向由(111)晶面向(002)晶面转变,界面能降低;晶粒减小,结构更均匀,缓解了激光能量在晶界处的局部聚集与吸收,表现出较大的激光损伤阈值。 展开更多
关键词 HFO2薄膜 等离子体辅助电子束蒸发 离子源偏压 微观结构 激光损伤
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饮用水处理厂锰砂滤料对苯酚的吸附性能及影响因素 被引量:1
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作者 孙晓玲 杨昱 +3 位作者 马志飞 姜永海 董子萱 廉新颖 《环境工程技术学报》 CAS 2018年第5期510-518,共9页
为了解锰砂滤料对苯酚的吸附性能和影响因素,以生物锰砂滤池运行结束后产生的废料为吸附剂,研究了不同初始p H、温度和溶解氧条件下锰砂滤料对苯酚的吸附性能,通过吸附动力学模型和吸附等温线模型研究其吸附规律。结果表明:锰砂滤料对... 为了解锰砂滤料对苯酚的吸附性能和影响因素,以生物锰砂滤池运行结束后产生的废料为吸附剂,研究了不同初始p H、温度和溶解氧条件下锰砂滤料对苯酚的吸附性能,通过吸附动力学模型和吸附等温线模型研究其吸附规律。结果表明:锰砂滤料对苯酚的吸附过程符合内扩散动力学模型和Temkin吸附等温线模型,每单分子层吸附,吸附效果主要受苯酚扩散速率影响。通过对吸附等温线n值的计算发现,锰砂滤料容易吸附苯酚。p H对锰砂滤料去除苯酚的影响最大,初始p H为3.0时,苯酚可完全去除,随着初始p H的升高,苯酚的去除率逐渐减小。中性条件下,溶解氧浓度对苯酚的吸附作用影响不大,低温时可通过增加锰砂滤料投加量提高苯酚去除率,每增加1.5倍锰砂滤料,苯酚去除率约增加20个百分点。锰砂滤料可应用于地下水中的苯酚去除,达到废料再利用,不产生二次污染。 展开更多
关键词 锰砂滤料 吸附 苯酚 动力学
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