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BaZrO_3耐火材料在富钛熔体中的侵蚀机理 被引量:4
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作者 陈光耀 李宝同 +4 位作者 张浩 高鹏越 秦子威 鲁雄刚 李重河 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期947-952,共6页
使用BaZrO_3坩锅结合真空感应加热技术熔炼钛含量66%(摩尔分数)的富钛合金,通过宏观显微镜、X射线衍射仪、扫描电子显微镜及电子耦合仪分析BaZrO_3坩锅与熔体接触后的显微组织及其组成元素(Ba,Zr和O)在合金中的熔解量;研究BaZrO_3坩锅... 使用BaZrO_3坩锅结合真空感应加热技术熔炼钛含量66%(摩尔分数)的富钛合金,通过宏观显微镜、X射线衍射仪、扫描电子显微镜及电子耦合仪分析BaZrO_3坩锅与熔体接触后的显微组织及其组成元素(Ba,Zr和O)在合金中的熔解量;研究BaZrO_3坩锅剥落损毁及与钛熔体界面反应机理。结果显示:BaZrO_3坩锅受熔体侵蚀层厚度约2000μm,合金中锆和氧含量随着熔体与坩埚接触时间增加而增加。界面反应产物BaO与空气中水分和CO_2反应生成BaCO_3,晶体体积变化破坏晶粒间结合力,导致坩埚剥落损毁。富钛熔体对BaZrO_3耐火材料的溶解侵蚀是坩埚受损的主要原因。 展开更多
关键词 BaZrO3耐火材料 富钛合金 侵蚀 界面反应
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籽晶台形状对PVT法同质外延生长氮化铝单晶初始生长的影响
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作者 张刚 付丹扬 +4 位作者 李哲 黄嘉丽 王琦琨 任忠鸣 吴亮 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2022年第1期27-34,共8页
借助专业晶体生长模拟软件FEMAG和自主开发的对流、传质、过饱和度及生长速率预测等有限元模块研究了物理气相传输法(PVT)同质外延生长氮化铝(AlN)单晶工艺时的初始传热及传质过程,并分析了不同形状籽晶台对生长室内的温度场、流场、过... 借助专业晶体生长模拟软件FEMAG和自主开发的对流、传质、过饱和度及生长速率预测等有限元模块研究了物理气相传输法(PVT)同质外延生长氮化铝(AlN)单晶工艺时的初始传热及传质过程,并分析了不同形状籽晶台对生长室内的温度场、流场、过饱和度及生长速率的影响。温度场模拟结果表明籽晶台侧部角度改变可影响籽晶表面轴向及径向温度梯度,流场及传质模拟表明籽晶台侧部角度变化对籽晶台周边的传质有巨大影响。传质及过饱和度模拟结果表明,当籽晶台侧部角度为130°时,籽晶表面温度梯度较小且可以完全抑制籽晶台侧部多晶沉积,有利于通过同质外延工艺生长出无寄生、无裂纹的高质量氮化铝单晶锭。 展开更多
关键词 氮化铝 物理气相传输法 同质外延生长 籽晶台 数值模拟 过饱和度 温度梯度
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PVT法同质外延制备大尺寸Al极性氮化铝晶体生长工艺及其表征分析研究
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作者 李哲 张刚 +4 位作者 付丹扬 王琦琨 雷丹 任忠鸣 吴亮 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2022年第2期208-215,共8页
本文基于自主设计的氮化铝生长炉,开展了四组不同工艺条件下Al极性面氮化铝籽晶同质外延生长氮化铝单晶的生长特征及其结晶质量表征研究。研究发现:不同工艺条件下生长的晶体的拉曼图谱E 2(high)特征峰峰位表明,晶体内部均存在较小的拉... 本文基于自主设计的氮化铝生长炉,开展了四组不同工艺条件下Al极性面氮化铝籽晶同质外延生长氮化铝单晶的生长特征及其结晶质量表征研究。研究发现:不同工艺条件下生长的晶体的拉曼图谱E 2(high)特征峰峰位表明,晶体内部均存在较小的拉应力;在坩埚顶部在相对较高温度2210℃、坩埚底部与顶部温差42℃的低过饱和度生长条件下,晶体表面光滑,呈现阶梯流生长形貌,并具有典型的氮化铝单晶生长习性面,晶体初始扩张角大于40°,高分辨率X射线衍射(HRXRD)测得0002、1012反射摇摆曲线及拉曼光谱检测结果表明,该条件下生长的氮化铝晶体结晶质量优异,并可实现快速扩径。基于该生长条件,通过外延生长后成功获得尺寸∅45~47 mm的氮化铝单晶锭,相关表征结果表明生长的氮化铝晶体具有优越的结晶性能。 展开更多
关键词 氮化铝 物理气相传输法 同质外延 生长条件 结晶质量
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