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声光晶体TeO_2的生长及缺陷研究
被引量:
5
1
作者
季小红
桑文斌
+4 位作者
刘冬华
李冬梅
钱永彪
史伟民
闵嘉华
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期93-98,共6页
本文研究了直拉TeO2 晶体中的主要晶体缺陷形成机理 ,讨论分析了TeO2 单晶生长的工艺参数对晶体缺陷的影响。结果表明 :晶体裂缝主要与温度梯度有关 ,温度梯度大于 2 0~ 2 5℃ /cm及出现界面翻转时 ,易造成晶体的开裂 ,位错密度增加 ;...
本文研究了直拉TeO2 晶体中的主要晶体缺陷形成机理 ,讨论分析了TeO2 单晶生长的工艺参数对晶体缺陷的影响。结果表明 :晶体裂缝主要与温度梯度有关 ,温度梯度大于 2 0~ 2 5℃ /cm及出现界面翻转时 ,易造成晶体的开裂 ,位错密度增加 ;晶体中的包裹体主要为气态包裹体 ,它的形成主要与籽晶的转速和晶体的提拉速度有关 ,转速 15~ 18r/min ,拉速 0 .55mm/h ,固液界面微凹 ,可以减少晶体中的气态包裹体 ;晶体台阶由晶体生长过程中温度和生长速度的起伏引起 ,当台阶间距较宽时 ,易形成包裹体。
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关键词
声光晶体
氧化碲晶体
晶体缺陷
工艺参数
单晶生长
直拉法
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职称材料
CdZnTe核辐射探测器表面物理和化学钝化研究
被引量:
1
2
作者
金玮
桑文斌
+3 位作者
李万万
葛艳辉
闵嘉华
张明龙
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期467-469,共3页
表面漏电流引起的噪声会限制CdZnTe(CZT)探测器的性能,尤其对于共面栅探测器,漏电噪声的大小与器件的电极设计和表面处理工艺密切相关。本文比较了探测器表面的物理和化学钝化工艺:采用H2O2溶液和KOH KCl溶液对CZT样品进行湿化学钝化...
表面漏电流引起的噪声会限制CdZnTe(CZT)探测器的性能,尤其对于共面栅探测器,漏电噪声的大小与器件的电极设计和表面处理工艺密切相关。本文比较了探测器表面的物理和化学钝化工艺:采用H2O2溶液和KOH KCl溶液对CZT样品进行湿化学钝化处理,采用RFPCVD法在CZT样品表面沉积类金刚石薄膜(DLC)进行物理干法钝化。借助俄歇电子能谱(AES)和显微拉曼光谱以及ZC36微电流测试仪等手段研究了CZT表面组成与器件电学性能之间的关系。AES结果表明KOH KCl溶液钝化可以改善CZT样品表面的化学组分比,H2O2溶液钝化可以将表面富Te层转化为高阻氧化层,钝化前后的I V特性曲线表明两种化学钝化方法均可以有效地减小器件表面漏电流,达到满意的钝化效果。CZT样品表面物理钝化通过在样品表面沉积DLC薄膜加以实现,显微拉曼光谱表明CZT表面钝化层是高sp3含量的DLC薄膜,AES深度剖析表明DLC薄膜可以有效阻止CZT内部元素的外扩散,并且DLC薄膜内部C元素向CZT内部的扩散也是比较低的。DLC薄膜钝化后的CZT共面栅探测器表面栅距25μm的栅间电阻可以达到12GΩ,有效地降低了器件的表面漏电流。
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关键词
CDZNTE
核辐射探测器
钝化
类金刚石薄膜
漏电流
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职称材料
题名
声光晶体TeO_2的生长及缺陷研究
被引量:
5
1
作者
季小红
桑文斌
刘冬华
李冬梅
钱永彪
史伟民
闵嘉华
机构
上海大学嘉定校区电子信息材料系
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期93-98,共6页
文摘
本文研究了直拉TeO2 晶体中的主要晶体缺陷形成机理 ,讨论分析了TeO2 单晶生长的工艺参数对晶体缺陷的影响。结果表明 :晶体裂缝主要与温度梯度有关 ,温度梯度大于 2 0~ 2 5℃ /cm及出现界面翻转时 ,易造成晶体的开裂 ,位错密度增加 ;晶体中的包裹体主要为气态包裹体 ,它的形成主要与籽晶的转速和晶体的提拉速度有关 ,转速 15~ 18r/min ,拉速 0 .55mm/h ,固液界面微凹 ,可以减少晶体中的气态包裹体 ;晶体台阶由晶体生长过程中温度和生长速度的起伏引起 ,当台阶间距较宽时 ,易形成包裹体。
关键词
声光晶体
氧化碲晶体
晶体缺陷
工艺参数
单晶生长
直拉法
Keywords
acousto optical crystal
TeO 2 single crystal
crystal defect
growth parameter
分类号
O782 [理学—晶体学]
O77 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
CdZnTe核辐射探测器表面物理和化学钝化研究
被引量:
1
2
作者
金玮
桑文斌
李万万
葛艳辉
闵嘉华
张明龙
机构
上海大学嘉定校区电子信息材料系
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期467-469,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(10175040)
文摘
表面漏电流引起的噪声会限制CdZnTe(CZT)探测器的性能,尤其对于共面栅探测器,漏电噪声的大小与器件的电极设计和表面处理工艺密切相关。本文比较了探测器表面的物理和化学钝化工艺:采用H2O2溶液和KOH KCl溶液对CZT样品进行湿化学钝化处理,采用RFPCVD法在CZT样品表面沉积类金刚石薄膜(DLC)进行物理干法钝化。借助俄歇电子能谱(AES)和显微拉曼光谱以及ZC36微电流测试仪等手段研究了CZT表面组成与器件电学性能之间的关系。AES结果表明KOH KCl溶液钝化可以改善CZT样品表面的化学组分比,H2O2溶液钝化可以将表面富Te层转化为高阻氧化层,钝化前后的I V特性曲线表明两种化学钝化方法均可以有效地减小器件表面漏电流,达到满意的钝化效果。CZT样品表面物理钝化通过在样品表面沉积DLC薄膜加以实现,显微拉曼光谱表明CZT表面钝化层是高sp3含量的DLC薄膜,AES深度剖析表明DLC薄膜可以有效阻止CZT内部元素的外扩散,并且DLC薄膜内部C元素向CZT内部的扩散也是比较低的。DLC薄膜钝化后的CZT共面栅探测器表面栅距25μm的栅间电阻可以达到12GΩ,有效地降低了器件的表面漏电流。
关键词
CDZNTE
核辐射探测器
钝化
类金刚石薄膜
漏电流
Keywords
Diamond like carbon films
Electric resistance
Interdiffusion (solids)
Leakage currents
Metallographic microstructure
Passivation
Plasma enhanced chemical vapor deposition
Signal noise measurement
分类号
TL814 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
声光晶体TeO_2的生长及缺陷研究
季小红
桑文斌
刘冬华
李冬梅
钱永彪
史伟民
闵嘉华
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
5
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职称材料
2
CdZnTe核辐射探测器表面物理和化学钝化研究
金玮
桑文斌
李万万
葛艳辉
闵嘉华
张明龙
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
1
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职称材料
已选择
0
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参考文献
引证文献
统计分析
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