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中国科学院上海光学精密机械研究所鬼成像理论研究的若干进展(特邀) 被引量：3
1
作者 刘震涛 胡晨昱 +2 位作者 童智申 褚春艳 韩申生 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2021年第12期33-50,共18页
相比利用光场的一阶关联实现物空间与像空间一一对应的传统成像,鬼成像基于光场的二阶关联实现物空间与像空间的一一对应,从而获取物体图像信息。通过引入光场涨落调制和计算重构,鬼成像不仅可以具有更高的信息获取效率,而且提升了图像... 相比利用光场的一阶关联实现物空间与像空间一一对应的传统成像,鬼成像基于光场的二阶关联实现物空间与像空间的一一对应,从而获取物体图像信息。通过引入光场涨落调制和计算重构,鬼成像不仅可以具有更高的信息获取效率,而且提升了图像信息获取方式的灵活性,能够具备传统成像所不具备的成像能力。随着鬼成像在系统优化及技术应用方面的进一步发展,对鬼成像理论也提出了新的要求和挑战。文中分别从鬼成像的物理本质、图像信息获取理论及理论分辨率研究三方面介绍了中国科学院上海光学精密机械研究所近期在鬼成像理论上的若干研究工作,并对今后鬼成像的理论研究工作进行了展望。 展开更多
关键词 成像系统 鬼成像 压缩感知 图像重建误差 Fisher信息 衍射极限
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上海超强超短激光实验装置研制进展——专访中国科学院上海光学精密机械研究所李儒新院士 被引量：2
2
作者 《强激光与粒子束》编辑部 李儒新 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第1期2-4,共3页
超强超短激光的发展与应用是国际激光科技的最新前沿与竞争重点领域。当前,超强超短激光正处于取得重大科技突破和开拓重大应用的关键阶段。而中国科学家可望在此领域取得重大突破并在世界上占有一席之地。这既是重大挑战,更是难得的机... 超强超短激光的发展与应用是国际激光科技的最新前沿与竞争重点领域。当前,超强超短激光正处于取得重大科技突破和开拓重大应用的关键阶段。而中国科学家可望在此领域取得重大突破并在世界上占有一席之地。这既是重大挑战,更是难得的机遇。上海超强超短激光实验装置(SULF)作为我国正在建设的大科学装置之一,是上海建设具有全球影响力的科创中心、打造世界级重大科技基础设施集群的首批重大项目之一。 展开更多
关键词 激光科技 大科学装置 中国科学院 重大科技基础设施 全球影响力 科创中心 研制进展 关键阶段
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利用CAXA电子图板辅助设计光学精密机械零件 被引量：2
3
作者 魏晨阳 刘瑞军 朱键强 《机械设计与制造》 北大核心 2005年第3期119-120,共2页
介绍了使用VC++6对CAXA电子图板进行二次开发,利用CAXA电子图板辅助设计光学精密机械零件的方法。
关键词 光学精密机械 辅助设计 CAXA电子图板 真空 二次开发
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溶胶-凝胶SiO_(2)减反膜的制备与光学性能研究 被引量：2
4
作者 沈斌 张旭 +2 位作者 熊怀 李海元 谢兴龙 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期525-530,共6页
碱催化溶胶-凝胶多孔SiO_(2)减反膜具有优异的光学性能及抗激光损伤性能,是高功率激光装置中的重要组成部分,但其与光学元件之间的结合强度低,使得膜层易发生接触破坏。本研究以“神光II”高功率激光装置溶胶-凝胶多孔SiO_(2)减反膜为基... 碱催化溶胶-凝胶多孔SiO_(2)减反膜具有优异的光学性能及抗激光损伤性能,是高功率激光装置中的重要组成部分,但其与光学元件之间的结合强度低,使得膜层易发生接触破坏。本研究以“神光II”高功率激光装置溶胶-凝胶多孔SiO_(2)减反膜为基础,通过提拉法在其表层涂覆致密的SiO_(2)薄层后得到机械强度提升的双层SiO_(2)减反膜(SiO_(2)-MTES),并与常用的单层氨固化SiO_(2)减反膜(SiO_(2)-HMDS)进行相关应用性能的综合比较。结果表明,涂覆SiO_(2)-MTES的熔石英在约800 nm处的峰值透过率大于99.6%,运用1-on-1激光损伤阈值测试方法测得该双层SiO_(2)减反膜的零几率激光损伤阈值为51.9 J/cm^(2)(1064 nm,9.1 ns),与涂覆SiO_(2)-HMDS的性能相当。同时,SiO_(2)-MTES膜层与水的接触角达到117.3°,且在相对湿度大于90%的高湿环境中膜层的透过率较稳定。多次擦拭实验结果表明SiO_(2)-MTES的耐摩擦机械强度明显优于SiO_(2)-HMDS,有效提升了膜层与光学元件之间的结合强度。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 减反膜 SiO_(2) 机械强度
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上海光机所高放废液铁磷酸盐玻璃固化研究进展
5
作者 薛天锋 凡思军 +8 位作者 邓路 张丽艳 钱敏 裴广庆 蒋芳玲 孙焰 王欣 陈树彬 胡丽丽 《硅酸盐通报》 CAS 北大核心 2024年第10期3886-3894,共9页
玻璃固化是目前国际上公认的处理高放废液(HLLW)的最佳方案。铁磷酸盐玻璃熔制温度低,化学稳定性优异,且对非金属和稀土等元素的溶解度较高,是固化快堆、熔盐堆等第四代堆放射性废物以及压水堆干法后处理放射性废物的最佳选择。本文主... 玻璃固化是目前国际上公认的处理高放废液(HLLW)的最佳方案。铁磷酸盐玻璃熔制温度低,化学稳定性优异,且对非金属和稀土等元素的溶解度较高,是固化快堆、熔盐堆等第四代堆放射性废物以及压水堆干法后处理放射性废物的最佳选择。本文主要介绍了近几年来中国科学院上海光学精密机械研究所铁磷酸盐玻璃固化的研究进展,包括铁磷酸盐基础玻璃配方研究、高放废液关键核素包容、模拟高放废液铁磷酸盐玻璃固化配方等研究。开发的铁磷酸盐玻璃固化配方在上海光学精密机械研究所自行研制的Ф550 mm冷坩埚实验平台实现了127 h中试规模的连续熔炼试验验证,该研究对实现我国高放废液冷坩埚玻璃固化的工程化应用有重要的参考意义。 展开更多
关键词 铁磷酸盐玻璃 高放废液 玻璃固化 冷坩埚 化学稳定性
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微重力环境下超冷原子物理研究
6
作者 李琳 汪斌 +3 位作者 周小计 陈徐宗 李唐 刘亮 《空间科学学报》 北大核心 2025年第1期29-55,共27页
中国空间站的发展和建成为微重力环境下超冷原子物理的研究及其应用提供了必要的实验条件.2022年10月31日,中国科学院上海光学精密机械研究所联合北京大学研制的中国空间站超冷原子物理实验柜(简称超冷柜)搭载梦天实验舱进入中国空间站... 中国空间站的发展和建成为微重力环境下超冷原子物理的研究及其应用提供了必要的实验条件.2022年10月31日,中国科学院上海光学精密机械研究所联合北京大学研制的中国空间站超冷原子物理实验柜(简称超冷柜)搭载梦天实验舱进入中国空间站.超冷柜的主要目标是在中国空间站建成以87Rb玻色–爱因斯坦凝聚(Bose-Einstein Condensate,BEC)为工作物质的超冷原子物理实验平台,基于微重力环境优势利用两级交叉光束冷却(Two-Stage Crossed Beams Cooling,TSCBC)的实验方案获得皮-开尔文(picoKelvin,pK)量级的超冷原子,在微重力环境下通过调控以及观察极低温超冷原子以发现新奇的物理现象.本文介绍了BEC的实现和深度冷却实验方案,以及微重力环境下超冷原子物理研究与应用领域所取得的一系列进展;详细介绍了超冷柜的设计方案以及地面验证实验.到目前为止,超冷柜按照预期持续开展微重力环境下的超冷原子物理研究,在轨连续运行时间超过2年,取得了初步的实验结果,实现了超冷柜作为微重力环境下超冷原子物理实验平台的主要目标. 展开更多
关键词 玻色-爱因斯坦凝聚 超冷原子 中国空间站 微重力环境
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上海光机所非线性光学频率转换技术研究获进展
7
《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期272-272,共1页
近期,中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室研究员朱健强、刘德安研究团队在非线性光学频率转换相关技术方面取得研究进展。提出并实验验证了新一类相位匹配方法——电压调谐相位匹配。相关研究成果发表在1月27日... 近期,中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室研究员朱健强、刘德安研究团队在非线性光学频率转换相关技术方面取得研究进展。提出并实验验证了新一类相位匹配方法——电压调谐相位匹配。相关研究成果发表在1月27日出版的《物理评论快报》[Phys.Rev.Lett.118,043901,（2017）]上。 展开更多
关键词 上海光学精密机械研究所 转换技术 光学频率 非线性 联合实验室 光机 激光物理 相位匹配
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MBE同质外延生长Sn掺杂β-Ga_(2)O_(3)(010)薄膜的电子输运性质研究 被引量：1
8
作者 张子琦 杨珍妮 +5 位作者 况思良 魏盛龙 徐文静 陈端阳 齐红基 张洪良 《人工晶体学报》 北大核心 2025年第2期244-254,共11页
本文研究了利用分子束外延技术生长的非故意掺杂(UID)和锡掺杂的β-Ga_(2)O_(3)同质外延薄膜的电子输运性质。薄膜载流子浓度范围为3.2×10^(16)至2.9×10^(19) cm^(-3),载流子浓度为3.2×10^(16) cm^(-3)的非故意掺杂薄膜... 本文研究了利用分子束外延技术生长的非故意掺杂(UID)和锡掺杂的β-Ga_(2)O_(3)同质外延薄膜的电子输运性质。薄膜载流子浓度范围为3.2×10^(16)至2.9×10^(19) cm^(-3),载流子浓度为3.2×10^(16) cm^(-3)的非故意掺杂薄膜显示出优异的室温迁移率,为125 cm^(2)·V^(-1)·s^(-1),在80 K时的峰值迁移率为875 cm^(2)·V^(-1)·s^(-1),达到了当前MBE生长的Ga_(2)O_(3)薄膜的先进水平。利用温度相关霍尔测试表征同质外延薄膜的电子输运性质,计算得到锡掺杂剂的激活能为76.2 meV。通过散射模型的拟合计算,分析了这一系列同质外延薄膜的电子散射性质,在低温到高温过程中,来自本征缺陷的电离杂质散射及晶体中阴阳离子库仑力的极性光学声子(POP)散射限制了迁移率的增长。 展开更多
关键词 β-Ga_(2)O_(3) 外延薄膜 掺杂 激活能 迁移率 输运性质
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氧化镓肖特基二极管硼离子注入终端技术研究
9
作者 沈睿 郁鑫鑫 +7 位作者 李忠辉 陈端阳 赛青林 谯兵 周立坤 董鑫 齐红基 陈堂胜 《人工晶体学报》 北大核心 2025年第3期524-529,共6页
β-Ga_(2)O_(3)具有禁带宽度大和击穿场强高等优异的物理特性,被认为是制作新一代大功率、高效率电力电子器件的理想半导体材料。然而,无终端的Ga_(2)O_(3)肖特基势垒二极管(SBD)容易在肖特基电极边缘产生高峰值电场,导致器件过早击穿,... β-Ga_(2)O_(3)具有禁带宽度大和击穿场强高等优异的物理特性,被认为是制作新一代大功率、高效率电力电子器件的理想半导体材料。然而,无终端的Ga_(2)O_(3)肖特基势垒二极管(SBD)容易在肖特基电极边缘产生高峰值电场,导致器件过早击穿,影响其耐压特性。因此,本文提出通过对器件肖特基金属边缘进行硼(B)离子选区注入来构建埋层高阻终端,从而调控电极边缘的电场分布,以达到提升击穿电压的效果。B离子注入的能量和剂量分别为60 keV和7×1014 cm^(-2),通过仿真估算注入深度约为200 nm。采用B离子注入终端后,Ga_(2)O_(3)SBD器件的导通特性未发生明显变化,比导通电阻仍为2.5 mΩ·cm^(2)左右,而击穿电压则从429 V大幅度提升至1402 V,增幅达226%,对应的功率优值从74 MW/cm^(2)提升至767 MW/cm^(2)。通过仿真研究了器件电场分布,发现采用B注入终端后,肖特金属电极边缘的电场峰值得到显著抑制,且随着注入深度的增大而逐步下降。本工作为高性能Ga_(2)O_(3)功率器件终端结构的设计提供了新的研究思路。 展开更多
关键词 β-Ga_(2)O_(3) 肖特基二极管 硼离子注入 边缘终端 击穿电压
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衬底晶面对MOCVD同质外延生长n-Ga_(2)O_(3)薄膜性质的影响研究
10
作者 韩宇 焦腾 +6 位作者 于含 赛青林 陈端阳 李震 李轶涵 张钊 董鑫 《人工晶体学报》 北大核心 2025年第3期438-444,I0003,共8页
本文采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺,在Fe掺杂的(001)、(010)和(201)晶面的氧化镓(Ga_(2)O_(3))衬底上实现了Si掺杂n型β-Ga_(2)O_(3)薄膜的同质外延生长,系统研究了衬底晶面对生长的薄膜晶体质量、生长速度及电学性能的影响。研... 本文采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺,在Fe掺杂的(001)、(010)和(201)晶面的氧化镓(Ga_(2)O_(3))衬底上实现了Si掺杂n型β-Ga_(2)O_(3)薄膜的同质外延生长,系统研究了衬底晶面对生长的薄膜晶体质量、生长速度及电学性能的影响。研究结果表明,同质外延生长的n型β-Ga_(2)O_(3)薄膜样品均表现出与衬底一致的晶面取向,且双晶摇摆曲线半峰全宽(FWHM)均很小,具有较高的晶体质量;各薄膜的表面粗糙度较低,基本呈现台阶流的生长特征;不同晶面衬底上薄膜同质生长速度存在较大差异,其中(001)晶面衬底上薄膜的生长速度较快,可达1μm/h以上。在(010)晶面衬底上生长的n型β-Ga_(2)O_(3)薄膜,其载流子浓度与迁移率最高,在器件的制备中更具潜力。该项研究将为Ga_(2)O_(3)基器件制备提供有力的数据支撑。 展开更多
关键词 氧化镓 金属有机化学气相沉积 同质外延 掺杂 迁移率 生长速率
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一批古代玻璃玦的化学成分和制作工艺科学研究
11
作者 黄珏玮 董俊卿 +2 位作者 刘松 袁仪梦 李青会 《光谱学与光谱分析》 北大核心 2025年第5期1403-1415,共13页
佩戴首饰是从古代社会流行至今的一种传统习俗。玦饰作为一种佩饰,是中国古代传统玉器器形之一,对东南亚影响颇深。玦饰材质和器型多样,具有显著的时代和区域特征,是技术和文化交流传播的重要载体之一。目前有关亚洲古代佩饰的研究主要... 佩戴首饰是从古代社会流行至今的一种传统习俗。玦饰作为一种佩饰,是中国古代传统玉器器形之一,对东南亚影响颇深。玦饰材质和器型多样,具有显著的时代和区域特征,是技术和文化交流传播的重要载体之一。目前有关亚洲古代佩饰的研究主要涉及宝石和玻璃珠饰等,而玻璃玦饰鲜有报道。通过玻璃玦饰的化学成分体系和微量元素特征,有望对东南亚发现的玻璃玦饰的制作年代和海上丝绸之路文化交流提供科学参考。采用能量色散型X射线荧光光谱(EDXRF)、激光剥蚀电感耦合等离子体质谱(LA-ICP-MS)、光学相干层析成像(OCT)、超景深光学显微(OM)和共聚焦激光拉曼显微光谱技术对东南亚地区发现的44件玻璃玦进行了科学分析,获取其化学成分、物相组成、内部物理结构和表面微观形貌等信息。根据主要助熔剂含量,这批玻璃玦可分为钾玻璃、钠铝玻璃和钾铅玻璃三种体系,其中钾玻璃42件,钠铝玻璃和钾铅玻璃各1件。钾玻璃中有38件低钙高铝型钾玻璃和4件中等钙铝型钾玻璃。玻璃加工工艺包括拉制法、模铸法和冷加工法。多数蓝绿色、绿色、黄绿色玻璃玦样品以铁离子着色为主,部分由铁离子和铜离子共同着色;深蓝色、蓝色样品主要以钴离子着色;黑色样品SEAG-005主要由锰离子着色;钾铅玻璃SEAG-031使用了锡酸铅作为着色剂和乳浊剂。结合玦饰的玻璃体系、微量元素特征、外形和分布等信息,初步讨论了所分析玻璃玦样品的可能原料来源和生产中心。这批东南亚发现的玻璃玦饰见证了公元前500年至公元500年间,中华传统文化通过海上丝绸之路向东南亚传播及其与当地技术与文化的融合。研究结果为中国与海上丝绸之路沿线其他国家的合作研究提供了前期基础。 展开更多
关键词 古代玻璃玦 东南亚 化学成分 玻璃加工工艺 海上丝绸之路
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氧化镓异质衬底集成技术研究进展
12
作者 瞿振宇 徐文慧 +9 位作者 江昊东 梁恒硕 赵天成 谢银飞 孙华锐 邹新波 游天桂 齐红基 韩根全 欧欣 《人工晶体学报》 北大核心 2025年第3期470-490,共21页
超宽禁带氧化镓在高功率和射频器件领域显示出巨大发展潜力。然而,氧化镓固有的极低热导率和p型掺杂困难问题限制了其器件性能和结构设计。异质集成是突破单一材料性能极限,变革提升器件性能的关键技术。本文综述了异质外延、机械剥离... 超宽禁带氧化镓在高功率和射频器件领域显示出巨大发展潜力。然而,氧化镓固有的极低热导率和p型掺杂困难问题限制了其器件性能和结构设计。异质集成是突破单一材料性能极限,变革提升器件性能的关键技术。本文综述了异质外延、机械剥离和离子束剥离转移三种氧化镓异质集成技术的最新研究进展,重点对比分析不同集成技术在材料质量、电学和热学特性及器件性能等方面的优缺点,并针对衬底种类、界面成键方式、过渡层厚度对纵向散热和电子输运的影响进行探讨。同时,本文对当前氧化镓异质集成技术所面临的挑战进行分析,并对氧化镓异质集成技术未来的发展趋势进行展望,旨在唤起国内氧化镓异质集成衬底相关研究,推动氧化镓异质集成器件开发,加快推进氧化镓材料和器件产业化应用。 展开更多
关键词 氧化镓 异质衬底集成 异质外延 机械剥离 离子束剥离转移 热管理
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锡基钙钛矿晶体与器件的研究进展
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作者 张淑艺 刘庚灵 +8 位作者 王浩 鲁跃 姜显园 李文焯 刘聪 吕英波 武中臣 刘董 陈耀 《人工晶体学报》 北大核心 2025年第7期1189-1207,共19页
随着全球对环境友好型光电材料需求的不断增长,锡基卤化物钙钛矿因环境友好及优异的光电性能,逐渐成为替代传统铅基钙钛矿的重要候选材料。尽管锡基钙钛矿在光吸收、载流子输运等方面展现出显著优势,但Sn^(2+)极易氧化,加上快速结晶过... 随着全球对环境友好型光电材料需求的不断增长,锡基卤化物钙钛矿因环境友好及优异的光电性能,逐渐成为替代传统铅基钙钛矿的重要候选材料。尽管锡基钙钛矿在光吸收、载流子输运等方面展现出显著优势,但Sn^(2+)极易氧化,加上快速结晶过程中容易形成晶格缺陷,使材料稳定性和器件性能受到较大影响。近年来,国内外研究者围绕锡基钙钛矿的晶体生长、缺陷调控及界面工程开展了大量系统性研究,提出了逆温结晶、降温结晶及高温熔融等多种合成技术,并借助多尺度表征手段,深入解析材料的微观结构、缺陷分布和界面特性。实验结果表明,通过合理优化生长参数和制备环境,可显著提高晶体质量、降低缺陷密度、改善载流子传输效率,从而推动锡基单晶在光电探测器、高灵敏度探测器、太阳能电池和场效应晶体管等器件中的应用。未来研究需聚焦单晶生长动力学、抗氧化策略及界面能级匹配的优化,以解决稳定性与可重复性问题,推动锡基钙钛矿的规模化应用。 展开更多
关键词 锡钙钛矿 光电特性 单晶生长方法 锡钙钛矿太阳能电池 锡钙钛矿探测器 锡钙钛矿场效应管
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氧化镓同质外延及二维“台阶流”生长研究
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作者 李悌涛 卢耀平 +2 位作者 陈端阳 齐红基 张海忠 《人工晶体学报》 北大核心 2025年第2期219-226,共8页
如何同质外延生长出具有原子级平整的氧化镓(Ga_(2)O_(3))单晶薄膜,是制备高性能Ga_(2)O_(3)基功率电子器件或紫外光电器件的基础。本文通过金属有机气相外延(MOVPE)技术综合调控外延生长的热力学条件与动力学参数,在Ga_(2)O_(3)衬底上... 如何同质外延生长出具有原子级平整的氧化镓(Ga_(2)O_(3))单晶薄膜,是制备高性能Ga_(2)O_(3)基功率电子器件或紫外光电器件的基础。本文通过金属有机气相外延(MOVPE)技术综合调控外延生长的热力学条件与动力学参数,在Ga_(2)O_(3)衬底上制备了厚度为1.0μm的器件级Ga_(2)O_(3)单晶薄膜(非故意掺杂),对薄膜样品进行了物相、表面形貌、晶体质量和电学性能的研究。该薄膜具有单一β相,呈现出与衬底相同的(100)面择优取向。对Ga_(2)O_(3)薄膜表面形貌进行AFM表征,呈现出典型的台阶流形貌,表面粗糙度0.166 nm,且台阶高度0.6 nm(a/2),表明薄膜具有原子级平整。进一步通过HRXRD双晶摇摆曲线评估Ga_(2)O_(3)薄膜结晶质量,外延膜的FWHM低于单晶衬底,表明外延在晶格匹配衬底上的Ga_(2)O_(3)薄膜质量优于衬底。霍尔效应测试结果表明,Ga_(2)O_(3)薄膜的电子迁移率为92.1 cm^(2)/(V·s),载流子浓度为2.65×10^(16) cm^(-3)。本文的研究结果表明只要通过精细化调控温度、压力、Ⅵ/Ⅲ比等关键热力学条件,使核心动力学参数中的横向扩散速率充分大于纵向沉积速率,就有可能在通用的非刻意斜切衬底上实现高长速二维“台阶流”生长。本研究所制备的具有优异晶体质量与电学特性的(100)面同质外延单晶薄膜,在制造高性能Ga_(2)O_(3)功率电子器件具有重要的应用潜力。 展开更多
关键词 氧化镓 同质外延 二维“台阶流”生长 MOVPE 单晶薄膜 原子级平整
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激光锡等离子体极紫外光源发射光谱诊断研究
15
作者 胡桢麟 王天泽 +3 位作者 何梁 林楠 冷雨欣 陈卫标 《光谱学与光谱分析》 北大核心 2025年第7期1834-1841,共8页
由于具有发光体积小、能量转换效率高、稳定性高和非相干等特点,激光等离子体极紫外(LPP-EUV)光源在先进半导体制造与量测、材料表面分析和EUV计量学等领域应用广泛。本文开展了1μm固体激光Sn等离子体EUV光源发射光谱诊断研究。首先,... 由于具有发光体积小、能量转换效率高、稳定性高和非相干等特点,激光等离子体极紫外(LPP-EUV)光源在先进半导体制造与量测、材料表面分析和EUV计量学等领域应用广泛。本文开展了1μm固体激光Sn等离子体EUV光源发射光谱诊断研究。首先,在真空中测量了不同激光峰值功率密度下1μm激光激发固体Sn靶等离子体的13.5 nm带内辐射能量、7~24 nm EUV波段和350~750 nm可见光(VIS)波段的发射光谱,计算了能量转换效率(CE)和光谱纯度(SP),分析了激光峰值功率密度对Sn等离子体EUV光谱、VIS光谱、CE和SP的影响规律。在本实验的参数范围内,CE随着激光峰值功率密度的提升先快速增大后缓慢减小,在激光峰值功率密度为5.2×10^(11)W·cm^(-2)时达到最大值2.47%。SP随激光峰值功率密度的提升而增大,在1.5×10^(12)W·cm^(-2)时达到最大值7.52%。然后,基于Sn等离子体VIS波段的时间分辨光谱,采用萨哈-玻尔兹曼图法和斯塔克展宽法计算了等离子体起爆后60~160 ns的电子温度(T_(e))和电子密度(n_(e)),研究了真空中Sn等离子体T_(e)和n_(e)随时间的演化规律,并进一步分析了T_(e)和n_(e)对EUV波段辐射和13.5 nm带内辐射的影响规律。结果表明,激光峰值功率密度的上升会导致等离子体T_(e)和n_(e)的上升,T_(e)和n_(e)的变化影响着不同电荷态离子的分布,进而导致EUV辐射谱分布的变化。在本实验的参数范围内,随着T_(e)和n_(e)增大,CE先增大后减小,而SP一直增大。过低的T_(e)会导致Sn等离子体UTA峰位未达到13.5 nm,过高的T_(e)会导致更多的驱动激光能量转化为13.5 nm以下的EUV辐射,造成CE未达到最优。以上研究结果为固体激光驱动LPP-EUV光源的工程化研发,以及我国自主开展EUV光刻、EUV计量与检测提供了研究基础与技术支持。 展开更多
关键词 极紫外光源 激光等离子体 发射光谱诊断 等离子体温度 电子密度
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单晶光纤的包层结构制备研究进展
16
作者 陈逸翀 程跃 +3 位作者 王亚飞 邵冲云 于春雷 胡丽丽 《材料导报》 北大核心 2025年第11期42-52,共11页
单晶光纤兼具光纤的结构优势与晶体的优良物理性能,在高功率激光和高温传感等领域具有广泛的应用前景。目前,导模法(EFG)、微下拉法(μ-PD)和激光加热基座法(LHPG)等技术可生产百微米级单晶光纤,其中LHPG法可生产直径小于100μm的单晶... 单晶光纤兼具光纤的结构优势与晶体的优良物理性能,在高功率激光和高温传感等领域具有广泛的应用前景。目前,导模法(EFG)、微下拉法(μ-PD)和激光加热基座法(LHPG)等技术可生产百微米级单晶光纤,其中LHPG法可生产直径小于100μm的单晶光纤。然而,晶体生长无法直接形成匹配的光学包层,限制了单晶光纤的发展。在过去40年里,单晶光纤包层制备技术已取得了许多进展,通过外包玻璃、晶体、多晶材料或飞秒激光改性大大提升了单晶光纤的应用潜力。本文系统地概述了各晶体生长技术的特点,并以蓝宝石(α-Al_(2)O_(3))和钇铝石榴石(YAG)单晶光纤为例,总结了各单晶光纤包层制备方法的优势和局限性,最后展望了单晶光纤包层结构制备的未来发展和应用。 展开更多
关键词 单晶光纤 激光加热基座法 光纤包层 钇铝石榴石 蓝宝石
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导模法生长β-Ga_(2)O_(3)晶体流场对称性研究
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作者 姜博文 纪为国 +4 位作者 张璐 范骐鸣 潘明艳 黄浩天 齐红基 《人工晶体学报》 北大核心 2025年第3期378-385,I0002,共9页
导模法生长高质量氧化镓单晶的关键在于放肩过程的稳定性控制,而对称的流场与热场是实现稳定放肩的关键因素之一。本文将数值模拟与实验相结合,通过在保温装置的不同位置分别增设进气管道,对保温腔内气体的对流行为进行调控,从而避免气... 导模法生长高质量氧化镓单晶的关键在于放肩过程的稳定性控制,而对称的流场与热场是实现稳定放肩的关键因素之一。本文将数值模拟与实验相结合,通过在保温装置的不同位置分别增设进气管道,对保温腔内气体的对流行为进行调控,从而避免气体涡流对模具上方温场分布的负面影响。研究表明,底部进气显著增强了固液界面附近温场与流场的对称性,并获得了合适的轴向温度梯度40 K/mm,成功实现了晶体生长过程中的对称放肩。本文研究为导模法生长β-Ga_(2)O_(3)单晶系统的设计与优化提供依据。 展开更多
关键词 β-Ga_(2)O_(3) 导模法 数值模拟 放肩 流场 热场
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人工微纳结构增强光致发光研究进展
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作者 赵文超 张璇 +3 位作者 徐倩倩 文政绩 邵宇川 戴宁 《发光学报》 北大核心 2025年第5期882-895,共14页
近年来,随着微纳加工技术取得突破性进展,人工微纳结构因其独特的电磁响应特性与灵活的调控能力,已然成为国内外的研究热点。这类新型功能材料在光场调控、光电探测、生物传感和能源转换等诸多领域展现出巨大的应用潜力,相关研究已取得... 近年来,随着微纳加工技术取得突破性进展,人工微纳结构因其独特的电磁响应特性与灵活的调控能力,已然成为国内外的研究热点。这类新型功能材料在光场调控、光电探测、生物传感和能源转换等诸多领域展现出巨大的应用潜力,相关研究已取得一系列重要进展。本文对人工微纳结构增强光致发光领域的最新研究进展进行了系统梳理。首先,简要概述了等离激元共振理论及其应用,着重阐释了光致发光的特征参数和调控机制;随后,详细介绍了基于人工微纳结构增强光致发光和提升光电功能器件性能的典型应用,涵盖了金属纳米粒子、等离子体薄膜、光子晶体/谐振腔、微纳光栅/阵列以及超构表面等多种微纳结构;最后,对目前人工微纳结构面临的问题及其未来发展方向进行了总结与展望。 展开更多
关键词 人工微纳结构 光致发光增强 光场调控 自发辐射速率 荧光寿命
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激光焦斑尺寸对极紫外辐射影响的理论研究
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作者 蓝翔 李学成 +3 位作者 杨顺熠 唐桧波 况龙钰 胡广月 《强激光与粒子束》 北大核心 2025年第5期52-66,共15页
为了解激光焦斑尺寸对极紫外转换效率影响及产生影响的物理机制,通过理论解析的方式提出了激光烧蚀平面靶产生冕区等离子体的二维瞬态膨胀模型来研究激光焦斑对极紫外光转换效率的影响。发现在激光光强7.45×10^(10) W/cm^(2)、半... 为了解激光焦斑尺寸对极紫外转换效率影响及产生影响的物理机制,通过理论解析的方式提出了激光烧蚀平面靶产生冕区等离子体的二维瞬态膨胀模型来研究激光焦斑对极紫外光转换效率的影响。发现在激光光强7.45×10^(10) W/cm^(2)、半高全宽5 ns、波长1 064 nm时,随着激光焦斑半径从60μm增大到300μm,相应地极紫外转换效率从1%增大到5.5%;而焦斑半径大于300μm后,相应地极紫外转换效率保持在5.5%。这是由于激光烧蚀平面靶产生的冕区等离子体从初始的一维膨胀到随后的二维膨胀过程决定了发射极紫外光的等离子体区的饱和尺寸,并最终决定了极紫外光的转换效率。转换效率随焦斑半径变化的趋势可以解释激光烧蚀锡靶实验观察到的物理现象。 展开更多
关键词 激光等离子体 极紫外辐射 激光焦斑尺寸 理论解析 二维膨胀
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光学元件损伤在线检测装置及实验研究 被引量：21
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作者 任冰强 黄惠杰 +5 位作者 张维新 赵永凯 韩广礼 杜龙龙 王树森 路敦武 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期465-468,共4页
　利用暗场成像原理,研制成功一套应用于大型激光装置的光学元件损伤在线检测装置,并在多程放大系统上进行了实验研究。与传统的检测手段相比,该检测装置可以实现对光学系统的在线检测,并可对损伤点的图像进行分析处理,最后提出通过减... 　利用暗场成像原理,研制成功一套应用于大型激光装置的光学元件损伤在线检测装置,并在多程放大系统上进行了实验研究。与传统的检测手段相比,该检测装置可以实现对光学系统的在线检测,并可对损伤点的图像进行分析处理,最后提出通过减小像差和扩大检测范围的方法来改进该装置的检测效果。 展开更多
关键词 光学元件 光学损伤检测 暗场成像技术
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