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基片与膜厚对硬质薄膜力学性能的影响 被引量:17
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作者 戴嘉维 张惠娟 李戈扬 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2003年第3期147-151,共5页
采用毫牛力学探针技术的两步压入试验法研究了高速钢和不锈钢基片上不同厚度TiN薄膜的硬度和弹性模量。结果表明 :采用同样工艺制备的TiN薄膜 ,其力学性能随基片类型和膜厚的不同有明显变化。薄膜的硬度和弹性模量随膜厚的增加而提高 ;... 采用毫牛力学探针技术的两步压入试验法研究了高速钢和不锈钢基片上不同厚度TiN薄膜的硬度和弹性模量。结果表明 :采用同样工艺制备的TiN薄膜 ,其力学性能随基片类型和膜厚的不同有明显变化。薄膜的硬度和弹性模量随膜厚的增加而提高 ;基体硬度的提高也使薄膜呈现较高的硬度和模量。分析认为薄膜内应力状态的改变是产生这些现象的主要原因。 展开更多
关键词 两步压入法 薄膜 基片 硬度 弹性模量
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反应溅射Nb-Si-N薄膜的微结构与力学性能 被引量:4
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作者 刘艳 董云杉 +1 位作者 戴嘉维 李戈扬 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1763-1766,共4页
在Ar、N2和SiH4混合气体中,通过反应磁控溅射方法制备了一系列不同Si含量的Nb-Si-N复合薄膜,采用EDS、XRD、TEM、AFM和微力学探针表征了复合薄膜的成分、相组成、微结构和力学性能.结果表明,采用反应磁控溅射技术通过控制混合气体中SiH... 在Ar、N2和SiH4混合气体中,通过反应磁控溅射方法制备了一系列不同Si含量的Nb-Si-N复合薄膜,采用EDS、XRD、TEM、AFM和微力学探针表征了复合薄膜的成分、相组成、微结构和力学性能.结果表明,采用反应磁控溅射技术通过控制混合气体中SiH4分压可以方便地获得不同Si含量的Nb-Si-N薄膜.少量Si的加入使薄膜得到强化,并在Si含量为3.4%时达到硬度和弹性模量的最高值,分别为53 GPa和521 GPa.进一步增加Si含量,薄膜的硬度和弹性模量逐步降低.Nb-Si-N薄膜力学性能的提高与其晶体缺陷的增加有关. 展开更多
关键词 Nb-Si-N薄膜 反应溅射 微结构 力学性能
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VN/(Ti,Al)N纳米多层膜的共格生长与超硬效应 被引量:2
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作者 孔明 董云杉 +2 位作者 戴嘉维 张慧娟 李戈扬 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1758-1762,共5页
采用反应磁控溅射技术制备了一系列具有不同调制周期的VN/(Ti,Al)N纳米多层膜.利用高分辨透射电子显微镜、X-射线衍射仪和微力学探针表征了纳米多层膜的微结构和力学性能,从而研究其微结构与力学性能之间的关系.结果表明,小调制周期时,V... 采用反应磁控溅射技术制备了一系列具有不同调制周期的VN/(Ti,Al)N纳米多层膜.利用高分辨透射电子显微镜、X-射线衍射仪和微力学探针表征了纳米多层膜的微结构和力学性能,从而研究其微结构与力学性能之间的关系.结果表明,小调制周期时,VN/(Ti,Al)N纳米多层膜沿薄膜生长方向呈现出具有面心立方(111)晶面择优取向的共格外延生长结构.由于存在晶格错配,在共格界面作用下,VN和(Ti,Al)N调制层分别受到拉、压应力,在多层膜中产生以调制周期为周期的交变应力场.这种应力场大大阻碍了薄膜中位错穿过界面的运动,从而导致薄膜产生硬度和弹性模量异常升高的超硬效应,并在调制周期为5.6 nm时,达到硬度和弹性模量的最高值38.4GPa和421 GPa.进一步增加调制周期,两调制层之间产生非共格界面,破坏了薄膜中的交变应力场,薄膜的硬度和弹性模量也随之降低. 展开更多
关键词 VN/(Ti Al)N纳米多层膜 晶体生长 共格界面 力学性能
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V-Ti钢热变形奥氏体的连续冷却转变行为 被引量:4
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作者 黄杰 徐洲 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期449-452,共4页
为研究V-Ti微合金钢热变形奥氏体的连续冷却转变行为,在对V-Ti微合金钢进行G leeb le3800热模拟后,建立了连续冷却转变曲线(CCT图),探讨了变形量和高温停留对CCT曲线和相变组织的影响.研究表明:变形量的增大,促进了先共析铁素体和珠光... 为研究V-Ti微合金钢热变形奥氏体的连续冷却转变行为,在对V-Ti微合金钢进行G leeb le3800热模拟后,建立了连续冷却转变曲线(CCT图),探讨了变形量和高温停留对CCT曲线和相变组织的影响.研究表明:变形量的增大,促进了先共析铁素体和珠光体转变,使其孕育期缩短,一定程度上也促进了高冷速下的贝氏体转变,但使低冷速下的贝氏体转变受阻;马氏体转变温度的降低说明变形量的增大在一定程度上使马氏体相变受阻;变形后若高温停留,组织发生静态回复,对扩散型相变的先共析铁素体和珠光体转变以及半扩散型相变的贝氏体转变均不利,使先共析铁素体转变量和珠光体转变量都有相对减少,而对马氏体转变影响不大. 展开更多
关键词 V—Ti微合金钢 热变形奥氏体 变形量 高温停留 连续冷却转变
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微合金钢热变形奥氏体再结晶图及Y参数的应用 被引量:1
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作者 黄杰 徐洲 邢新 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2003年第3期12-13,45,共3页
研究了含钒、钛的微合金钢高温轧制变形时奥氏体的动、静态再结晶行为 ,分别确定了不同热变形条件及等温停留对奥氏体组织状态的影响 ( ε- Z图及 τ- ε图 )。在此基础上 ,与动态再结晶图中的 Z参数相对应 ,引入
关键词 热变形奥氏体 动态再结晶 静态再结晶 Y参数
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