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Janus结构的聚酰亚胺/氮化硼复合薄膜制备及性能
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作者 许文炜 王钦 +1 位作者 刘璇 胡南滔 《塑料工业》 北大核心 2025年第8期20-29,共10页
为实现聚酰亚胺薄膜热学、力学以及介电等综合性能的提高,首先利用球磨法制备了羟基官能化氮化硼(f-BN)纳米片,再以N,N′二甲基乙酰胺(DMAc)为溶剂,f-BN为填料,4,4′-二氨基二苯醚(ODA)和3,3′,4,4′-联苯四羧酸二酐(BPDA)为单体,制备... 为实现聚酰亚胺薄膜热学、力学以及介电等综合性能的提高,首先利用球磨法制备了羟基官能化氮化硼(f-BN)纳米片,再以N,N′二甲基乙酰胺(DMAc)为溶剂,f-BN为填料,4,4′-二氨基二苯醚(ODA)和3,3′,4,4′-联苯四羧酸二酐(BPDA)为单体,制备聚酰胺酸(PAA/f-BN)复合溶液,最后采用分层溶液涂布法,经过热亚胺化制备了具有Janus结构的聚酰亚胺/氮化硼(PI/f-BN)复合薄膜。以傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)测试薄膜的化学结构,证实PI/f-BN复合薄膜已亚胺化完全。以热机械分析仪(TMA)测定PI/f-BN复合薄膜的热膨胀系数(CTE),发现PI/f-BN 20%复合薄膜的CTE低至20.2610^(-6)/K。以激光闪烁分析仪(LFA)和多功能密度仪测定其热导率,结果显示复合薄膜具有1.48 W/(m·K)的高热导率。以万能材料试验机测定其拉伸强度和杨氏模量,发现上层添加质量分数20%f-BN使复合薄膜拉升强度提升至165 MPa,杨氏模量提升至2.36 GPa,并保持了良好的柔韧性。以紫外可见光谱仪(UV-Vis)测试其透光率,证实其在可见光区仍保持63%的透过率。以常温介电测试仪测定其介电性能,发现PI/f-BN 20%复合薄膜具有较低的介电常数和介电损耗,分别为2.06和0.011。结果表明,PI/f-BN复合薄膜综合性能的提升得益于f-BN填料形成的导热网络以及Janus结构的复合功能优势。 展开更多
关键词 聚酰亚胺 氮化硼 Janus结构 复合薄膜 热学性能 机械性能
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基片温度对Cr薄膜微结构和力学性能的影响 被引量:1
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作者 劳技军 韩增虎 +2 位作者 胡晓萍 李戈扬 杨春生 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期639-640,共2页
关键词 基片温度 Cr薄膜 微结构 力学性能 铬薄膜 生长速率 磁控溅射 电子显微分析
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RF磁控溅射制备钛酸锶钡BST纳米薄膜 被引量:1
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作者 马骏 冯洁 +1 位作者 杨春生 丁桂甫 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2006年第2期205-208,共4页
钛酸锶钡(BST)薄膜作为一种高K介质材料在微电子和微机电系统等领域具有广阔的应用前景,人们已对BST薄膜的制备工艺技术和介电性能进行了大量的研究。BST纳米薄膜的制备工艺直接影响和决定着薄膜的介电性能(介电常数、漏电流密度、介电... 钛酸锶钡(BST)薄膜作为一种高K介质材料在微电子和微机电系统等领域具有广阔的应用前景,人们已对BST薄膜的制备工艺技术和介电性能进行了大量的研究。BST纳米薄膜的制备工艺直接影响和决定着薄膜的介电性能(介电常数、漏电流密度、介电强度等)。对RF磁控反应溅射制备BST纳米薄膜的工艺技术进行了综述。从溅射靶的制备、溅射工艺参数的优化、热处理、薄膜组分的控制,及制备工艺对介电性能的影响等方面,对现有研究成果进行了较全面的总结。 展开更多
关键词 钛酸锶钡 RF磁控溅射 介电性能 化学计量比 微结构 退火
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铜基碳纳米管复合薄膜载流性能分析 被引量:1
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作者 刘璇 李必奎 +1 位作者 李明 王鹏波 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第12期4782-4790,共9页
碳纳米管和铜纳米线的纳米复合膜兼具铜纳米线的电学性能与碳纳米管的力学性能,合适配比的复合膜具有优良的电学性能,对于金属基复合材料的研究具有重要意义。理论上复合材料的电学性能主要受复合成分和成分配比的影响最大。本文利用单... 碳纳米管和铜纳米线的纳米复合膜兼具铜纳米线的电学性能与碳纳米管的力学性能,合适配比的复合膜具有优良的电学性能,对于金属基复合材料的研究具有重要意义。理论上复合材料的电学性能主要受复合成分和成分配比的影响最大。本文利用单一变量法,在铜纳米线的导电性能提升上,分析了反应时间、NaOH纯度、乙二胺含量以及水浴反应温度等对生成铜纳米线长径比的影响;在碳纳米管的导电性能增加上,分析了烧结温度、匀质、退火还原及机械压制对碳纳米管电学性能的影响。利用优化后碳纳米管与铜纳米线制备了一系列不同配比的CuNWs/CNTs复合薄膜,对复合薄膜的电学性能进行实验论证。结果表明:当反应时间为1h、NaOH为分析纯、乙二胺含量为1mL及水浴温度为70℃时,铜纳米线的导电性最佳;当烧结温度为常温、匀质压力500MPa、连续匀质3次、退火温度500℃、保温时间1h、压制力6N、压制时间10min时,碳纳米管的导电性最佳;当CuNWs体积分数为49.04%时,复合薄膜导电性能最佳,载流性能最好,分别达到9.58×10–5Ω·m和159.09A/cm2。 展开更多
关键词 铜纳米线 碳纳米管 复合膜 导电性 载流性能
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用超声喷雾热分解法制备SnO_2:F薄膜 被引量:2
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作者 陈全 崔容强 +2 位作者 徐东 Wolden COLIN 奚建平 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期97-100,共4页
采用超声喷雾热分解法沉积高性能掺氟二氧化锡(SnO2:F)透明导电膜(TCO),其最小方块电阻为9 Ω(400 nm厚),可见光透过率大于80%。X射线衍射(XRD)分析表明,SnO2:F薄膜为多晶结构;原子力显微镜(AFM)观察表明,SnO2:F薄膜平均粒径约为100 nm... 采用超声喷雾热分解法沉积高性能掺氟二氧化锡(SnO2:F)透明导电膜(TCO),其最小方块电阻为9 Ω(400 nm厚),可见光透过率大于80%。X射线衍射(XRD)分析表明,SnO2:F薄膜为多晶结构;原子力显微镜(AFM)观察表明,SnO2:F薄膜平均粒径约为100 nm。此外对石墨导热体和置于其上的玻璃基片两者之间的温度差别做了初步研究。 展开更多
关键词 超声喷雾热分解法 制备 SnO2:F薄膜 金属氧化物薄膜 半导体材料
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电磁型双稳态射频开关的微机械结构设计 被引量:7
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作者 张永华 丁桂甫 +2 位作者 赵小林 马骏 蔡炳初 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期725-728,共4页
提出了利用电磁驱动机理优点的双稳态射频微电子机械系统(RFMEMS)开关结构形式.开关的微驱动部分由导磁的悬梁、扭梁和线圈、永磁体组成.由于采用了永磁铁单元,可以实现对开关的双稳态电磁控制,从而降低了开关的功耗.对开关的微机械结... 提出了利用电磁驱动机理优点的双稳态射频微电子机械系统(RFMEMS)开关结构形式.开关的微驱动部分由导磁的悬梁、扭梁和线圈、永磁体组成.由于采用了永磁铁单元,可以实现对开关的双稳态电磁控制,从而降低了开关的功耗.对开关的微机械结构进行力学分析的结果表明,含有加强筋结构的开关模型,在12μN力的作用下,可以使悬梁两端产生20μm的位移,此时系统的固有振动频率约为5.7kHz. 展开更多
关键词 射频 微电子机械系统 开关 双稳态电磁驱动 模型分析
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基于红外传感器的移动微机器人定位研究 被引量:11
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作者 毛玲 李振波 +1 位作者 张大伟 陈佳品 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第12期38-41,共4页
综合概率论的思想,采用基于红外传感器的微机器人粒子滤波定位方法在已知环境中实现微机器人的自定位。因微机器人受尺寸效应影响无法安装位置传感器,故采用计步的方法存储机器人的运动信息。观测模型采用适合小尺寸微型机器人的红外测... 综合概率论的思想,采用基于红外传感器的微机器人粒子滤波定位方法在已知环境中实现微机器人的自定位。因微机器人受尺寸效应影响无法安装位置传感器,故采用计步的方法存储机器人的运动信息。观测模型采用适合小尺寸微型机器人的红外测距地图匹配方式。因微机器人的存储能力有限,故采用分块存储地图的方法,便于微机器人快速加载地图而完成地图匹配,从而加速其定位过程。实验验证了微机器人的定位性能。 展开更多
关键词 红外传感器 定位 微机器人
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毫米级微机器人精密定位及其微步进运动研究 被引量:1
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作者 李江昊 李振波 陈佳品 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期529-532,共4页
分析了一种由直径3mm的电磁微马达驱动的微装配机器人的精密定位方法和原理,提出了转矩自平衡的概念。在动力学分析的基础上,应用MATLAB建立了微机器人步进运动模型,利用该模型对精密定位时的微步进运动进行了仿真研究。仿真及实验结果... 分析了一种由直径3mm的电磁微马达驱动的微装配机器人的精密定位方法和原理,提出了转矩自平衡的概念。在动力学分析的基础上,应用MATLAB建立了微机器人步进运动模型,利用该模型对精密定位时的微步进运动进行了仿真研究。仿真及实验结果说明了转矩自平衡在精密定位中发挥了作用,也表明了控制通电电流可实现较为稳定的定位。 展开更多
关键词 移动微机器人 电磁微马达 精密定位 转矩自平衡
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MoS_(2)/RGO复合分离膜的制备及其水处理性能 被引量:1
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作者 刘璇 李明阳 +1 位作者 余翔 黄朝 《膜科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2023年第4期145-153,158,共10页
为了解决氧化石墨烯(GO)膜不稳定性和低水通量的问题,利用水热法制备了二硫化钼(MoS_(2))纳米片与还原氧化石墨烯(RGO),并通过真空抽滤法在聚醚砜支撑膜上制备出MoS_(2)/RGO复合膜.结果表明,当MoS_(2)与RGO的质量比为9∶10时,所制备的... 为了解决氧化石墨烯(GO)膜不稳定性和低水通量的问题,利用水热法制备了二硫化钼(MoS_(2))纳米片与还原氧化石墨烯(RGO),并通过真空抽滤法在聚醚砜支撑膜上制备出MoS_(2)/RGO复合膜.结果表明,当MoS_(2)与RGO的质量比为9∶10时,所制备的复合膜表现出高达35 L/(m^(2)·h·MPa)的水渗透率,为纯氧化石墨烯膜的10.6倍,对硫酸钠的截留率达到86.7%,并且对甲基蓝以及刚果红的截留率分别为97.8%、98.6%,同时,对不同pH和不同浓度刚果红溶液的截留率均达到95%以上.此外,经测试该膜具有较好的稳定性,在水处理分离复合膜中具有巨大的应用潜力. 展开更多
关键词 还原氧化石墨烯 二硫化钼 复合膜 水处理
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还原氧化石墨烯/4A分子筛复合材料对刚果红的吸附性能研究 被引量:1
10
作者 刘璇 马匡 代恒章 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2022年第5期185-189,194,共6页
采用水热法合成了一种还原氧化石墨烯/4A分子筛(RGO/4A)复合材料,通过扫描电子显微镜、X射线粉末衍射仪和傅里叶变换红外光谱仪对RGO/4A复合材料进行了表征。为了分析复合材料对水中有机污染物的吸附性能,以阴离子染料刚果红为目标污染... 采用水热法合成了一种还原氧化石墨烯/4A分子筛(RGO/4A)复合材料,通过扫描电子显微镜、X射线粉末衍射仪和傅里叶变换红外光谱仪对RGO/4A复合材料进行了表征。为了分析复合材料对水中有机污染物的吸附性能,以阴离子染料刚果红为目标污染物进行了吸附实验,考察了吸附时间和刚果红溶液初始质量浓度对吸附性能的影响。结果表明:刚果红在RGO/4A复合材料上的吸附行为符合Langmuir等温吸附模型和准二级动力学模型;在中性条件下RGO/4A复合材料对水中有机污染物刚果红的最大吸附容量为90.09mg/g。 展开更多
关键词 还原氧化石墨烯 4A分子筛 复合材料 吸附 刚果红
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静电纺聚丙烯腈/聚酰亚胺纳米纤维复合膜的制备及性能研究 被引量:1
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作者 刘璇 代恒章 马匡 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2022年第4期72-76,共5页
为了减轻空气颗粒物(PM)污染对人类健康造成的影响,以聚丙烯腈(PAN)和聚酰亚胺(PI)为原料,采用静电纺丝工艺制备聚丙烯腈/聚酰亚胺复合空气滤膜,并利用扫描电子显微镜、红外光谱仪、热重分析仪和动态力学分析仪等手段对所制备的复合膜... 为了减轻空气颗粒物(PM)污染对人类健康造成的影响,以聚丙烯腈(PAN)和聚酰亚胺(PI)为原料,采用静电纺丝工艺制备聚丙烯腈/聚酰亚胺复合空气滤膜,并利用扫描电子显微镜、红外光谱仪、热重分析仪和动态力学分析仪等手段对所制备的复合膜进行结构和性能表征。结果表明:PAN/PI复合膜具有较高的PM_(2.5)过滤效率(99.2%),出色的热稳定性(300℃),较低的压降和优异的机械性能。PAN/PI复合膜具有良好的综合性能,在工业领域去除高温PM_(2.5)颗粒具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 聚丙烯腈 聚酰亚胺 静电纺丝 空气过滤
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用于射频标签的低功耗上电复位电路 被引量:2
12
作者 张旭琛 彭敏 +1 位作者 戴庆元 杜涛 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期45-48,共4页
介绍了一种用于射频标签芯片中数字逻辑部分的上电复位电路。该上电复位电路适应于低电源电压的芯片,改变MOS晶体管的参数以及延迟时间可以调节脉冲的宽度和数字门电路加宽脉冲的宽度,通过反馈管,电路能够抵抗比较大的电源电压噪声影响... 介绍了一种用于射频标签芯片中数字逻辑部分的上电复位电路。该上电复位电路适应于低电源电压的芯片,改变MOS晶体管的参数以及延迟时间可以调节脉冲的宽度和数字门电路加宽脉冲的宽度,通过反馈管,电路能够抵抗比较大的电源电压噪声影响。电路产生上电复位信号脉冲后,通过反馈控制使能端信号关断整个电路,实现低功耗。电路采用华虹NEC公司0.13μm标准CMOS工艺流片,测试结果表明,此电路能够输出有效的脉冲信号;脉冲过后的导通电流基本为0。FPGA平台的验证表明,芯片输出的POR信号能够正确启动标签中的数字基带芯片,输出信号有效。 展开更多
关键词 上电复位 低功耗 射频识别 0.13μm 互补金属氧化物半导体
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QLED研究及显示应用进展 被引量:6
13
作者 宋志成 刘代明 +1 位作者 刘卫东 王庆康 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第19期122-128,共7页
胶体量子点由于具有高的量子效率、窄的激发光谱、独特的尺寸依赖激发光谱和良好的溶液加工兼容性等优异特性,在高色彩质量显示方面有着巨大的应用潜力。随着量子效率提升及电致发光原理、激子衰减机制、器件结构优化和电荷有效输运等... 胶体量子点由于具有高的量子效率、窄的激发光谱、独特的尺寸依赖激发光谱和良好的溶液加工兼容性等优异特性,在高色彩质量显示方面有着巨大的应用潜力。随着量子效率提升及电致发光原理、激子衰减机制、器件结构优化和电荷有效输运等研究的持续深入,QLED的发光效率从小于0.01%提升到20.5%,已接近商业化OLED的效率。从显示技术的长远发展来看,量子点电致发光显示将超越光致发光的量子点增亮膜和量子点彩色滤光片,有望成为下一代主流显示技术。根据"材料—器件—显示"的主线,依次对量子点材料发光特性和材料类别,以及发光器件的结构类型、发光机制和效率提升等方面展开概述,最后简要介绍了量子点电致发光显示的相关技术挑战和发展前景。 展开更多
关键词 量子点 电致发光 外量子效率 显示
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CdSe/ZnSe/ZnS量子点在单晶太阳能电池中的应用 被引量:4
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作者 严兴茂 王庆康 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期1358-1361,共4页
将CdSe/ZnSe/ZnS量子点掺入到聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)中,研究了量子点的发光下转移特性。将420 nm长波滤光片盖在单晶电池上,使电池对300~420 nm波段光谱响应几乎为零,同时排除下转移层抗反射效应的影响,再在滤光片表面制备下转移层,观... 将CdSe/ZnSe/ZnS量子点掺入到聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)中,研究了量子点的发光下转移特性。将420 nm长波滤光片盖在单晶电池上,使电池对300~420 nm波段光谱响应几乎为零,同时排除下转移层抗反射效应的影响,再在滤光片表面制备下转移层,观察到了外量子效率(EQE)值的提升,说明所用量子点可以应用于对300~420 nm波段光谱响应几乎为零的电池上实现频率的下转移,提高EQE。对量子点在太阳能电池中应用的可能性进行了分析,并根据本实验中测得电池的EQE数据,计算了该电池获得提升所需量子点最低的整体荧光量子效率值为87.8%。 展开更多
关键词 太阳能电池 光谱下转移层 CdSe/ZnSe/ZnS量子点 外量子效率 荧光量子效率
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纳米压印过程中的聚合物流变机理 被引量:1
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作者 刘瑞宏 李海华 王庆康 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期887-891,899,共6页
针对紫外纳米压印工艺,采用有限元软件对光刻胶的流变填充过程进行了模拟.根据紫外压印中光刻胶黏度系数小的特点,建立了基于黏性流体的模型,采用流固耦合的ALE(ArbitraryLagrange Euler)方法,系统分析了模板的周期性、占空比、深宽比... 针对紫外纳米压印工艺,采用有限元软件对光刻胶的流变填充过程进行了模拟.根据紫外压印中光刻胶黏度系数小的特点,建立了基于黏性流体的模型,采用流固耦合的ALE(ArbitraryLagrange Euler)方法,系统分析了模板的周期性、占空比、深宽比及非周期结构对光刻胶填充效果的影响.结果表明,相对于非周期模板,周期结构的模板所能引起的图形转移缺陷小;占空比及深宽比对小周期模板比大周期模板的影响大.进行了纳米压印实验,实验结果与仿真结果吻合,说明了仿真的可信,可以作为模板结构设计及表面处理工艺的依据. 展开更多
关键词 紫外纳米压印 有限元仿真 占空比 周期结构 任意的拉格朗日-欧拉
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基于相对定位的多移动微机器人协作定位方法 被引量:3
16
作者 毛玲 李振波 陈佳品 《传感器与微系统》 CSCD 2018年第8期46-48,共3页
为了提高微机器人定位的精确性,研究了基于相对定位的多移动微机器人协作定位方法。结合微机器人尺寸小的特点,定位系统中采用低功耗的红外传感器作为微机器人的测距传感器,利用粒子滤波实现微机器人的自定位。在自定位及相对定位的基础... 为了提高微机器人定位的精确性,研究了基于相对定位的多移动微机器人协作定位方法。结合微机器人尺寸小的特点,定位系统中采用低功耗的红外传感器作为微机器人的测距传感器,利用粒子滤波实现微机器人的自定位。在自定位及相对定位的基础上,提出了多微机器人的协作定位算法,通过保留一定数目的粒子在自身粒子集合中,而非交换全部的粒子的策略,保证了一定的定位精度。仿真与实验结果验证了协作定位算法的有效性。 展开更多
关键词 多微机器人 红外测距 协作定位
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Buck DC-DC效率分析 被引量:2
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作者 张实 戴庆元 罗超 《科学技术与工程》 2011年第33期8348-8352,共5页
针对一款高功率的Buck DC-DC的效率进行分析,把总的损耗分为上管和下管的导通及开关损耗,通过仿真及测试,分析影响效率的主要因素,并比较仿真与测试的主要差别。分析结果表明:影响效率的最主要因素依然是上下管的导通电阻,以及所使用的... 针对一款高功率的Buck DC-DC的效率进行分析,把总的损耗分为上管和下管的导通及开关损耗,通过仿真及测试,分析影响效率的主要因素,并比较仿真与测试的主要差别。分析结果表明:影响效率的最主要因素依然是上下管的导通电阻,以及所使用的功率管的模型需要修正。 展开更多
关键词 降压 开关电源 效率
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微型碳纳米管NH_3气体检测系统 被引量:1
18
作者 梁艳涛 段力 +1 位作者 杨志 张亚非 《传感器与微系统》 CSCD 2015年第8期91-93,共3页
基于制备得到的微型碳纳米管NH3传感器,研制了一种便携式气体浓度检测系统。此系统由恒流源驱动,通过微控制单元实现自动检测。为了便于安装、维修与调试,该系统所有电路均采用模块化设计,检测系统可以比较精确地测量25 kΩ以内电阻的变... 基于制备得到的微型碳纳米管NH3传感器,研制了一种便携式气体浓度检测系统。此系统由恒流源驱动,通过微控制单元实现自动检测。为了便于安装、维修与调试,该系统所有电路均采用模块化设计,检测系统可以比较精确地测量25 kΩ以内电阻的变化,可以精确检测5×10-6~50×10-6范围内NH3气体浓度。 展开更多
关键词 NH3浓度检测 精密恒流源 微控制单元
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一种新型纳米器件逻辑纠错专用集成电路架构 被引量:1
19
作者 窦怀阳 薛晓勇 冯洁 《半导体技术》 CAS 北大核心 2020年第2期116-121,共6页
新型纳米器件被视为摩尔定律极限临近情况下CMOS技术的有力补充。为克服新型纳米器件缺陷率高的问题,提出了一种基于现场可编程纳米线互连(FPNI)架构的具有自修正能力的纠错(FT)专用集成电路(ASIC)架构FT-FPNI,这种架构适用于易出错的... 新型纳米器件被视为摩尔定律极限临近情况下CMOS技术的有力补充。为克服新型纳米器件缺陷率高的问题,提出了一种基于现场可编程纳米线互连(FPNI)架构的具有自修正能力的纠错(FT)专用集成电路(ASIC)架构FT-FPNI,这种架构适用于易出错的纳米器件逻辑门电路。使用基于硬件描述语言的缺陷注入技术来仿真架构,仿真结果表明,这种架构可以100%检测缺陷和错误。为取得最小的纠错代价,需要保持尽可能小的单元阵列尺寸。Hspice软件仿真结果表明,碳纳米管或非(NOR)门输出延迟为2.89 ps,平均功耗为6.748 pW,与现有CMOS技术相比功耗降低2个数量级。 展开更多
关键词 内嵌自修复(BISR) 现场可编程纳米线互连(FPNI) 纳米器件逻辑 碳纳米管场效应管(CNTFET) 电路纠错
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基于粒子群优化算法的透射滤光片设计 被引量:2
20
作者 高健 王庆康 王丹燕 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期617-621,共5页
为了优化器件的结构参量,把光栅结构的周期、高度、占空比作为优化的粒子,采用粒子群优化算法和严格耦合波分析算法,对粒子群中粒子的适应值进行了比较,对金属-介质光栅滤光片结构进行了理论分析和仿真优化,在一定范围内找到最优参量。... 为了优化器件的结构参量,把光栅结构的周期、高度、占空比作为优化的粒子,采用粒子群优化算法和严格耦合波分析算法,对粒子群中粒子的适应值进行了比较,对金属-介质光栅滤光片结构进行了理论分析和仿真优化,在一定范围内找到最优参量。结果表明,根据MATLAB仿真结果进行优化,得到周期为0.300μm,金属光栅厚度为0.035μm,介质光栅厚度为0.400μm,光栅占空比为0.77;在TM光垂直入射时,该结构对波长为0.65μm的红光透射率达到80.27%,旁带透射效率不超过15%;该结构实现了特定波长光的高效透射,从而实现了滤光。该结构为亚波长光栅的设计、制备研究和实际应用提供了参考。 展开更多
关键词 光栅 滤光片 粒子群优化算法 透射效率
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