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MEMS微型线圈及其在磁敏传感器中的应用: 1; 作者杨真陈靖元 +4 位作者张朕泽祝梦娇黄家宝孙学成雷冲《微纳电子技术》 2025年第3期99-120,共22页; 微电子机械系统(MEMS)微型线圈是磁敏传感器的重要元件,在磁传感技术领域发挥着重要作用。MEMS微型线圈在磁传感器中具有微小化、高集成度、高灵敏度、低功耗和低成本等优点,有助于提升磁传感器的性能。综述了MEMS微型线圈的优势、结构... 展开更多; 关键词微电子机械系统(MEMS) 微型线圈磁敏传感器巨磁阻抗传感器磁通门传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

仿昆扑翼微飞行器中压电驱动器的性能参数分析被引量：8: 2; 作者柴双双张卫平 +7 位作者柯希俊邹阳张伟叶以楠张正胡楠吴凡陈文元《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期663-668,共6页; 针对仿昆扑翼微飞行器中压电驱动器的使用要求,采用复合材料的层合板理论和将能量法与实验法相结合的方法,推导了压电驱动器的静态位移、阻力、等效质量、刚度和阻尼系数的计算公式,得到压电驱动器的二阶集总参数模型.驱动器位移测试结... 展开更多; 关键词扑翼微飞行器压电驱动器集总参数模型; 在线阅读下载PDF 职称材料

微电极阵列检测细胞电生理仿真与设计: 3; 作者张佳骏王庆康胡克想《电子器件》 CAS 北大核心 2015年第5期1031-1036,共6页; 测量细胞电生理信号的方法-微电极阵列检测技术,是指在微电极表面首先培养可兴奋性细胞,然后进行电信号的实时监测,该方法具有检测通道数多、无损伤性、响应速度快、制备工艺简单、可长期检测等优点。借助Stern双电层模型阐述了微电极-... 展开更多; 关键词微电极阵列电生理测试微电极参数设计检测电路; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于3D打印和丝网印刷制作的电化学微流控反应器及其在DNA四面体上的应用: 4; 作者张武凯谢瑶 +6 位作者靳聪刘沛川高月姜丁瑞张栩源李茜陈翔《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第7期1139-1148,共10页; 为了能够实现快速、低成本的制作电化学微流控反应器,并将其用于电化学合成DNA四面体,利用纳米材料结合丝网印刷技术构建低成本的pH敏感电极,利用3D打印技术制作牺牲层管道以及框架结构用于快速构建带有盐桥的微反应池,并开发了微型恒... 展开更多; 关键词 3D打印丝网印刷电化学微流控反应器 DNA四面体纳米材料 pH敏感电极; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS微型线圈及其在磁敏传感器中的应用: 1; 作者杨真陈靖元张朕泽祝梦娇黄家宝孙学成雷冲; 机构广西师范大学电子与信息工程学院广西师范大学广西类脑计算与智能芯片重点实验室广西师范大学广西高校集成电路与微系统重点实验室上海大学机电工程与自动化学院微电子研究与开发中心上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子系微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 出处《微纳电子技术》 2025年第3期99-120,共22页; 基金广西自然科学基金面上项目(2023JJA170157) 广西类脑计算与智能芯片重点实验室开放基金(BCIC-23-K8) +1 种基金广西高校集成电路与微系统重点实验室开放基金(ICM-24-03)。; 文摘微电子机械系统(MEMS)微型线圈是磁敏传感器的重要元件,在磁传感技术领域发挥着重要作用。MEMS微型线圈在磁传感器中具有微小化、高集成度、高灵敏度、低功耗和低成本等优点,有助于提升磁传感器的性能。综述了MEMS微型线圈的优势、结构类型、传统制备工艺、新兴制备技术以及在磁敏传感器中的应用。重点介绍了MEMS微型线圈在巨磁阻抗效应传感器和磁通门传感器中的应用研究进展,并简述了其在其他磁传感领域的作用。最后对MEMS线圈的发展和应用前景进行了展望,为其设计和具体应用提供思路。; 关键词微电子机械系统(MEMS) 微型线圈磁敏传感器巨磁阻抗传感器磁通门传感器; Keywords micro-electromechanical system(MEMS) micro-coil magnetic sensitive sensor giant magnetoimpedance sensor fluxgate sensor; 分类号 TP211.5 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TP703 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名仿昆扑翼微飞行器中压电驱动器的性能参数分析被引量：8: 2; 作者柴双双张卫平柯希俊邹阳张伟叶以楠张正胡楠吴凡陈文元; 机构上海交通大学电子信息与电气工程学院; 出处《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期663-668,共6页; 基金教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET10-0583) 教育部支撑项目(62501040303) +1 种基金国防项目(9140A26020313JW03371) 国防项目(9140A26020414JW03412)资助; 文摘针对仿昆扑翼微飞行器中压电驱动器的使用要求,采用复合材料的层合板理论和将能量法与实验法相结合的方法,推导了压电驱动器的静态位移、阻力、等效质量、刚度和阻尼系数的计算公式,得到压电驱动器的二阶集总参数模型.驱动器位移测试结果表明,利用推导公式计算所得位移的理论值比实测值小.同时,利用传递函数绘制的伯德图所得压电驱动器共振频率为2.540kHz,与理论公式计算结果的误差仅为0.5%,从而验证了所建立计算模型的正确性.; 关键词扑翼微飞行器压电驱动器集总参数模型; Keywords flapping-wing micro aerial vehicle piezoelectric actuator lumped parameter model; 分类号 TJ760.12 [兵器科学与技术—武器系统与运用工程] TM282 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微电极阵列检测细胞电生理仿真与设计: 3; 作者张佳骏王庆康胡克想; 机构上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室; 出处《电子器件》 CAS 北大核心 2015年第5期1031-1036,共6页; 基金科技部国际科技合作项目(2012DFA11070); 文摘测量细胞电生理信号的方法-微电极阵列检测技术,是指在微电极表面首先培养可兴奋性细胞,然后进行电信号的实时监测,该方法具有检测通道数多、无损伤性、响应速度快、制备工艺简单、可长期检测等优点。借助Stern双电层模型阐述了微电极-电解液界面的电化学过程,采用电路仿真软件Multisim构建了完整的细胞-微电极等效电路来定量分析电化学过程;对于等效电路中的物理量取不同的数值进行仿真,研究它们对信号大小的影响程度并基于此给出了具体的微电极参数设计方案;设计检测电路并进行仿真,验证该电路满足检测需求。构建出完整的电生理等效电路,给出微电极阵列参数设计方案,设计出检测电路,为进一步电生理测试中的MEMS加工制造和电路研制提供了参考。; 关键词微电极阵列电生理测试微电极参数设计检测电路; Keywords microelectrode array extracellular recordings design of microelectrode parameters detecting circuit; 分类号 TP212.6 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于3D打印和丝网印刷制作的电化学微流控反应器及其在DNA四面体上的应用: 4; 作者张武凯谢瑶靳聪刘沛川高月姜丁瑞张栩源李茜陈翔; 机构上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学化学化工学院变革性分子前沿科学中心; 出处《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第7期1139-1148,共10页; 基金上海交通大学医工交叉基金(ZH2018ZDA22)。; 文摘为了能够实现快速、低成本的制作电化学微流控反应器,并将其用于电化学合成DNA四面体,利用纳米材料结合丝网印刷技术构建低成本的pH敏感电极,利用3D打印技术制作牺牲层管道以及框架结构用于快速构建带有盐桥的微反应池,并开发了微型恒电位控制电路。实验结果表明,基于TiO2与Co3O4的丝网印刷pH敏感电极可以对2~12的pH值进行敏感测量,并且可以通过在其与Ag/AgCl电极之间施加恒电位逆向调控溶液的pH值。将基于3D打印结合丝网印刷制作的电化学微流控反应器搭配微型恒电位控制电路用于电化学合成DNA四面体。实验结果表明,该系统可合成不同碱基长度20 bp、26 bp、37 bp的DNA四面体,时间为6 min,相比于传统热法合成DNA四面体需要30 min,时间大为缩短。该种制作工艺可应用于电化学合成DNA四面体,并具有微型化、集成化、低成本制作电化学微流控反应器的发展潜力。; 关键词 3D打印丝网印刷电化学微流控反应器 DNA四面体纳米材料 pH敏感电极; Keywords 3D printing screen printing eelectrochemicaml icrofluidic reactor DNA tetrahedron nanomaterial pH-sensitive electrode; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	MEMS微型线圈及其在磁敏传感器中的应用	杨真陈靖元张朕泽祝梦娇黄家宝孙学成雷冲	《微纳电子技术》	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	仿昆扑翼微飞行器中压电驱动器的性能参数分析	柴双双张卫平柯希俊邹阳张伟叶以楠张正胡楠吴凡陈文元	《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2015	8	在线阅读下载PDF 职称材料
3	微电极阵列检测细胞电生理仿真与设计	张佳骏王庆康胡克想	《电子器件》 CAS 北大核心	2015	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于3D打印和丝网印刷制作的电化学微流控反应器及其在DNA四面体上的应用	张武凯谢瑶靳聪刘沛川高月姜丁瑞张栩源李茜陈翔	《微纳电子技术》 CAS 北大核心	2023	0	在线阅读下载PDF 职称材料