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多组分气体定量识别的电子鼻系统设计 被引量:6
1
作者 马宏莉 王涛 +3 位作者 李泊龙 曾敏 杨建华 杨志 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第5期84-86,90,共4页
为同时实现多种单一气体和混合气体的定量识别,设计了一种新型便携式电子鼻系统。系统选用4个商用气体传感器作为传感器阵列,在多组分气体识别过程中,针对训练样本不平衡的特点,提出了一种新的基于反向传播神经网络的层次分类器(BPNN-HC... 为同时实现多种单一气体和混合气体的定量识别,设计了一种新型便携式电子鼻系统。系统选用4个商用气体传感器作为传感器阵列,在多组分气体识别过程中,针对训练样本不平衡的特点,提出了一种新的基于反向传播神经网络的层次分类器(BPNN-HC)以提高模式识别的准确率。在每一种模式下,利用偏最小二乘回归(PLSR)分别建立多元回归模型以实现对应组分的体积分数估计。实验结果表明:该电子鼻系统可同时实现6种单一气体及3种二元混合气体的定量识别。 展开更多
关键词 电子鼻系统 气体识别 体积分数估计 反向传播神经网络 偏最小二乘回归
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微机电系统光开关的扭臂式静电驱动结构设计 被引量:1
2
作者 刘军 李海华 王庆康 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期1675-1679,共5页
基于扭臂式静电驱动微执行器的基本模型,运用力矩法推导出该结构的Pull-in电压和角度,并设计了用于微机电系统(Micro Electronic Mechanical System,MEMS)光开关的单晶硅扭臂式静电驱动结构参数.在所选结构参数下,运用力电耦合分析方法... 基于扭臂式静电驱动微执行器的基本模型,运用力矩法推导出该结构的Pull-in电压和角度,并设计了用于微机电系统(Micro Electronic Mechanical System,MEMS)光开关的单晶硅扭臂式静电驱动结构参数.在所选结构参数下,运用力电耦合分析方法,研究了空气阻尼作用对扭臂式静电驱动结构Pull-in电压的影响.对所设计的驱动结构,考虑空气阻尼作用时,Pull-in电压增大约7%.对单晶硅扭臂式静电驱动结构进行应力分析得到,当上下极板发生吸合时,结构应力均匀分布在上电极,且扭臂的最大内应力仅为72.848MPa,远小于单晶硅的屈服强度,整个驱动结构的设计是稳定可靠的;用力矩法推导出的该结构的Pull-in电压适用于该微静电驱动系统.研究结果为扭臂式微驱动器参数选择提供了依据. 展开更多
关键词 扭臂式静电驱动微执行器 力矩法 Pull-in电压 力电耦合分析方法
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微型折叠探测机器人控制系统的设计与实现 被引量:2
3
作者 王紫阳 张卫平 +1 位作者 葛伟 牟家旺 《压电与声光》 CAS 北大核心 2021年第3期331-335,共5页
为了探测月面静海熔岩管道区域,该文设计了一套微型折叠探测机器人控制系统。采用MPU6050姿态传感器、光照传感器、红外传感器等构建机器人感知系统,使用NRF24L01远距离通信电路和图像传输接收机构建机器人数据通信链路,使用基于Qt的C+... 为了探测月面静海熔岩管道区域,该文设计了一套微型折叠探测机器人控制系统。采用MPU6050姿态传感器、光照传感器、红外传感器等构建机器人感知系统,使用NRF24L01远距离通信电路和图像传输接收机构建机器人数据通信链路,使用基于Qt的C++编程设计微型探测机器人控制系统上位机实现微型折叠探测机器人的运行。测试结果表明,微型折叠探测机器人运行速度可达0.5 m/s,爬坡角度为20.0°,折叠角度为47.3°,通信距离为200.0 m,质量仅204.1 g。 展开更多
关键词 探测机器人 NRF24L01 STM32 上位机 比例、积分、微分(PID)
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仿昆扑翼微飞行器中压电驱动器的性能参数分析 被引量:8
4
作者 柴双双 张卫平 +7 位作者 柯希俊 邹阳 张伟 叶以楠 张正 胡楠 吴凡 陈文元 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期663-668,共6页
针对仿昆扑翼微飞行器中压电驱动器的使用要求,采用复合材料的层合板理论和将能量法与实验法相结合的方法,推导了压电驱动器的静态位移、阻力、等效质量、刚度和阻尼系数的计算公式,得到压电驱动器的二阶集总参数模型.驱动器位移测试结... 针对仿昆扑翼微飞行器中压电驱动器的使用要求,采用复合材料的层合板理论和将能量法与实验法相结合的方法,推导了压电驱动器的静态位移、阻力、等效质量、刚度和阻尼系数的计算公式,得到压电驱动器的二阶集总参数模型.驱动器位移测试结果表明,利用推导公式计算所得位移的理论值比实测值小.同时,利用传递函数绘制的伯德图所得压电驱动器共振频率为2.540kHz,与理论公式计算结果的误差仅为0.5%,从而验证了所建立计算模型的正确性. 展开更多
关键词 扑翼微飞行器 压电驱动器 集总参数模型
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压电式微固体模态谐振器电荷放大器负载效应的研究 被引量:2
5
作者 赵聪 吴校生 +4 位作者 李国斌 陈文元 刘武 崔峰 张卫平 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2016年第9期117-119,共3页
文中采用串联电阻的方法,解决了传统的阻抗分析仪很难满足共振激励需求的问题,研究一种具有特殊电压激励方式的压电式微固体模态谐振器等效电路。通过绘制压电谐振器的导纳圆图,分析并获得压电谐振器在共振频率附近的等效电路参数。通... 文中采用串联电阻的方法,解决了传统的阻抗分析仪很难满足共振激励需求的问题,研究一种具有特殊电压激励方式的压电式微固体模态谐振器等效电路。通过绘制压电谐振器的导纳圆图,分析并获得压电谐振器在共振频率附近的等效电路参数。通过比较有无电荷放大器作为负载接入压电谐振器的实验结果,发现带有电荷放大器的压电谐振器等效电路的谐振频率从346.119 k Hz降低至344.979 k Hz。得出结论:如果电荷放大器作用于压电谐振器负载端,应该关注它对谐振频率的影响。 展开更多
关键词 压电谐振器 电荷放大器 电学负载 谐振频率 串联电阻 导纳圆
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SiC微加工工艺及其在高温电容压力传感器中的应用研究进展 被引量:2
6
作者 余开庆 程萍 +3 位作者 丁桂甫 Roya MABOUDIAN 赵小林 姚景元 《传感器与微系统》 CSCD 2018年第12期1-4,12,共5页
综述了碳化硅(SiC)材料的薄膜沉积、刻蚀、减薄、键合、欧姆接触等微加工工艺,并以SiC高温电容压力传感器为典型应用,介绍了SiC高温压力传感器的研究现状。
关键词 碳化硅 微加工工艺 高温 电容压力传感器
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基于碳纳米薄膜/砷化镓范德华异质结的高性能自驱动光电探测器研究 被引量:4
7
作者 霍婷婷 张冬冬 +3 位作者 施祥蕾 潘宇 孙利杰 苏言杰 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第2期373-386,共14页
基于碳纳米材料/体半导体范德华(vdW)异质结的光电器件可以同时实现碳纳米材料的超高载流子迁移率以及体半导体的优异光电性能,且具有结构简单、工艺简便、易于调控界面等优点。尤其是通过调控单壁碳纳米管(SWCNT)的直径/手性、费米能... 基于碳纳米材料/体半导体范德华(vdW)异质结的光电器件可以同时实现碳纳米材料的超高载流子迁移率以及体半导体的优异光电性能,且具有结构简单、工艺简便、易于调控界面等优点。尤其是通过调控单壁碳纳米管(SWCNT)的直径/手性、费米能级等可以与体半导体形成能带匹配、具有原子级界面的新型混合维度vdW异质结。本文报道了一种基于(6,5)手性为主的SWCNT薄膜与n型GaAs所形成的pn结的宽光谱自驱动光电探测器,并利用石墨烯降低SWCNT薄膜内载流子的复合几率和促进载流子传输。实验结果表明,器件对405~1064 nm波段光子表现出高灵敏的光电响应,零偏压条件下最大光电响应度和比探测率分别可达1.214 A/W和2×10^(12) Jones。 展开更多
关键词 范德华异质结 单壁碳纳米管 砷化镓 自驱动光电探测器
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金刚石半球谐振微陀螺的结构设计与制备方法 被引量:1
8
作者 谷留涛 张卫平 +3 位作者 刘朝阳 张雷 龚成 向浩 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2021年第6期8-10,共3页
提出了一种新的金刚石半球微陀螺结构,应用Comsol有限元分析软件建立了该振动结构的有限元模型,分别进行了模态分析、谐响应分析仿真。模态分析仿真结果表明:该结构工作模态的频差为76 Hz,工作模态与寄生模态固有频率最小差值为37 045 ... 提出了一种新的金刚石半球微陀螺结构,应用Comsol有限元分析软件建立了该振动结构的有限元模型,分别进行了模态分析、谐响应分析仿真。模态分析仿真结果表明:该结构工作模态的频差为76 Hz,工作模态与寄生模态固有频率最小差值为37 045 Hz;谐响应分析表明,在0°方向上陀螺工作模态的振动频率为26 593 Hz,最大位移为0.021μm,在45°方向上陀螺工作模态的振动频率为26 669 Hz,最大位移为0.006 4μm。随后提出了一种自对准制造工艺,使用该工艺制造16个均匀分布在半球壳外部的集成金刚石电极的方法,可确保整个圆周的电容间隙均匀。 展开更多
关键词 半球微陀螺 微机电系统(MEMS) 有限元分析 工作模态 金刚石
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FPGA控制DDS与AGC的精密信号发生系统研究 被引量:12
9
作者 王振瑜 吴校生 叔晟竹 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2019年第1期55-58,63,共5页
信号频率分辨率和幅值分辨率是信号发生源性能好坏的重要指标。基于现场可编程门阵列(FPGA)的嵌入式系统,分别采用直接数字合成技术(DDS)和自动增益控制技术(AGC)实现了频率和幅值精密可调的信号发生系统。该信号发生源的频率由FPGA提... 信号频率分辨率和幅值分辨率是信号发生源性能好坏的重要指标。基于现场可编程门阵列(FPGA)的嵌入式系统,分别采用直接数字合成技术(DDS)和自动增益控制技术(AGC)实现了频率和幅值精密可调的信号发生系统。该信号发生源的频率由FPGA提供的频率控制字决定。信号发生源的信号幅值由AGC增益控制电压决定,FPGA通过控制DAC的输出模拟量改变增益控制电压。论文设计研究的信号发生系统频率分辨率可达0. 1 Hz,幅值分辨率达0. 1 V。 展开更多
关键词 信号发生 现场可编程门阵列 直接数字合成 自动增益控制 频率分辨率 幅值分辨率
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基于PID神经元网络的四旋翼飞行器姿态控制系统 被引量:9
10
作者 邹逸飞 刘武 +3 位作者 严中稳 张卫平 崔峰(微米/纳米加工技术国家级重点实验室 上海市北斗导航与位置服务重点实验室 《传感器与微系统》 CSCD 2020年第1期68-70,74,共4页
针对PID控制对于四旋翼飞行器这类强耦合系统参数整定困难和控制稳定性不足的问题,提出了基于PID神经元网络(PIDNN)的新型控制算法,并设计了基于STM32微处理器的微飞行器。MATLAB系统仿真和飞行测试结果表明,相比于传统PID控制,PID神经... 针对PID控制对于四旋翼飞行器这类强耦合系统参数整定困难和控制稳定性不足的问题,提出了基于PID神经元网络(PIDNN)的新型控制算法,并设计了基于STM32微处理器的微飞行器。MATLAB系统仿真和飞行测试结果表明,相比于传统PID控制,PID神经元网络控制具有较快的稳定时间和较小的超调量,提高了系统的稳定性和自适应能力,同时实现了广义解耦。 展开更多
关键词 四旋翼 PID神经元网络 STM32微处理器 姿态角 控制器
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MEMS微半球谐振陀螺的力反馈模态及其FPGA平台实现 被引量:8
11
作者 孙殿竣 张卫平 +3 位作者 唐健 邢亚亮 欧彬 刘朝阳 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2017年第6期141-144,149,共5页
MEMS(micro-electro-mechanical system)微型陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、成本低等优点,MEMS微半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,文中分析了微半球谐振陀螺的工作原理以及检测方法。针对MEMS微半球谐振陀螺高工作频率,高... MEMS(micro-electro-mechanical system)微型陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、成本低等优点,MEMS微半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,文中分析了微半球谐振陀螺的工作原理以及检测方法。针对MEMS微半球谐振陀螺高工作频率,高品质因数等特点,提供了一种数字式力反馈模式下的MEMS微半球谐振陀螺数字式闭环控制检测方案以及其FPGA平台硬件实现,完成目前MEMS微半球谐振陀螺的控制与检测工作。 展开更多
关键词 MEMS微半球谐振陀螺 力反馈 闭环控制 FPGA
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多环谐振微陀螺结构参数对性能的影响分析 被引量:6
12
作者 谷留涛 张卫平 冯军 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2021年第3期368-373,共6页
多环谐振微陀螺是一种全对称平面结构的MEMS陀螺仪,具有体积小、功耗低、可批量制造、抗冲击性强等优点,是目前最具发展前景的MEMS陀螺仪之一。围绕多环谐振微陀螺的结构及其优化设计展开研究,深入分析了多环谐振微陀螺的结构机理和关... 多环谐振微陀螺是一种全对称平面结构的MEMS陀螺仪,具有体积小、功耗低、可批量制造、抗冲击性强等优点,是目前最具发展前景的MEMS陀螺仪之一。围绕多环谐振微陀螺的结构及其优化设计展开研究,深入分析了多环谐振微陀螺的结构机理和关键性能参数,搭建了一套通用的有限元计算平台,仿真分析了结构参数对其关键性能的影响。仿真结果表明,谐振环宽度和谐振子半径是影响多环谐振微陀螺性能的主要参数,通过减小环宽度和增加谐振子半径可以有效地提高陀螺性能;多环谐振微陀螺热弹性阻尼可以用Zener热弹性阻尼理论近似;多环谐振微陀螺角度增益大小不受结构参数的约束,约为0.4。其仿真分析结果可以为设计高品质多环谐振微机械陀螺提供一定的参考。 展开更多
关键词 微机电系统 多环谐振微机械陀螺 有限元仿真 优化设计
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基于化学掺杂的碳纳米管二极管
13
作者 宋传娟 杨俊茹 +8 位作者 廖成浩 刘晓东 王英 贺蓉 董续盛 钟汉清 刘一剑 张丽英 陈长鑫 《新型炭材料》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期476-480,共5页
本文制备了一种基于局部化学掺杂的单壁碳纳米管(SWCNT) p-i-n结二极管。在此器件中,单根SWCNT沟道的两端分别被掺杂成p型和n型,沟道中段保留为本征状态,从而在SWCNT中形成具有较强内建电场的p-i-n结,表现出二极管特性。所制二极管器件... 本文制备了一种基于局部化学掺杂的单壁碳纳米管(SWCNT) p-i-n结二极管。在此器件中,单根SWCNT沟道的两端分别被掺杂成p型和n型,沟道中段保留为本征状态,从而在SWCNT中形成具有较强内建电场的p-i-n结,表现出二极管特性。所制二极管器件具有高的器件性能,其整流比可达10~3数量级、反向饱和电流仅为23 p A。此外,简要探讨了该结构二极管的工作原理。 展开更多
关键词 单壁碳纳米管 p-i-n结二极管 局部化学掺杂 整流特性
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基于纳米材料气体传感器的接口电路设计 被引量:4
14
作者 耿孝谨 王涛 +3 位作者 马宏莉 杨志 段力 张亚非 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第9期64-66,共3页
为了在测试的过程中测量纳米材料气体传感器变化的电阻信号,针对高灵敏度的纳米材料气体传感器,设计了一种宽动态范围的快速采样接口电路,基于积分电路的原理,将流经传感器的电流转换成一定脉宽的方波信号,单片机捕获脉冲时间并换算成... 为了在测试的过程中测量纳米材料气体传感器变化的电阻信号,针对高灵敏度的纳米材料气体传感器,设计了一种宽动态范围的快速采样接口电路,基于积分电路的原理,将流经传感器的电流转换成一定脉宽的方波信号,单片机捕获脉冲时间并换算成传感器电阻值。电路在1 kΩ~500 MΩ测量范围内的最大线性误差为5%,能够应用于气体传感器的测试和标定、手持气体检测设备以及电阻测量等领域。 展开更多
关键词 电阻型气体传感器 接口电路 积分电路 宽电阻测量范围 单片机
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金属多环振动盘MEMS微陀螺及其微加工工艺 被引量:2
15
作者 李栋 吴校生 《传感器与微系统》 CSCD 2017年第12期7-9,共3页
基于硅基振动盘微陀螺采用金属材料作为振子,提出了一种金属结构多环振动盘MEMS微陀螺,通过使用电镀工艺,实现了金属结构多环振动盘微陀螺的低成本低温加工方法。通过研究振动盘式微陀螺的工作原理及检测和驱动方法,设计了多环振动盘微... 基于硅基振动盘微陀螺采用金属材料作为振子,提出了一种金属结构多环振动盘MEMS微陀螺,通过使用电镀工艺,实现了金属结构多环振动盘微陀螺的低成本低温加工方法。通过研究振动盘式微陀螺的工作原理及检测和驱动方法,设计了多环振动盘微陀螺的结构。使用有限元方法对陀螺金属振子进行了动力学仿真,验证了金属结构多环振动盘陀螺的可行性,并对微陀螺的加工工艺流程进行了微加工制作,获得了微陀螺芯片。研究解决了实现金属结构多环振动盘微陀螺的关键技术。 展开更多
关键词 金属振子 多环结构 科式效应 微陀螺 动力学仿真 微加工工艺
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仿昆扑翼微飞行器电磁驱动电路设计与制造 被引量:2
16
作者 吴彬彬 张卫平 +3 位作者 邹阳 王晨阳 孙浩 陈畅 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第1期64-68,共5页
针对电磁驱动方式的仿昆扑翼微飞行器,设计了电磁线圈驱动电路,电路能够驱动微飞行器扑动双翼。驱动电路利用电池组和升压(BOOST)电路实现电路供电。研制了产生两路电压控制信号的最小系统板,能够在上位机在线实时控制输出信号的频率和... 针对电磁驱动方式的仿昆扑翼微飞行器,设计了电磁线圈驱动电路,电路能够驱动微飞行器扑动双翼。驱动电路利用电池组和升压(BOOST)电路实现电路供电。研制了产生两路电压控制信号的最小系统板,能够在上位机在线实时控制输出信号的频率和幅值。电压控制信号通过电路后,电路输出稳定驱动电流,实现对仿昆扑翼微飞行器翅膀的控制。 展开更多
关键词 扑翼微飞行器 电磁驱动 BOOST电路 劈裂信号
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一体双驱对称式压电悬臂梁微驱动器 被引量:1
17
作者 寻之宇 张卫平 +1 位作者 周岁 欧彬 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期657-660,共4页
设计了一种一体化加工的双驱对称式压电悬臂梁微驱动器。对压电驱动器工作原理、压电驱动器在准静态工况与共振工况下的输出特性进行了理论分析,确定压电驱动器几何尺寸。介绍了压电驱动器的多层复合结构与一体双驱的实现方式。制作了... 设计了一种一体化加工的双驱对称式压电悬臂梁微驱动器。对压电驱动器工作原理、压电驱动器在准静态工况与共振工况下的输出特性进行了理论分析,确定压电驱动器几何尺寸。介绍了压电驱动器的多层复合结构与一体双驱的实现方式。制作了压电驱动器样机,并通过有限元仿真分析与测试实验相结合的方式得到压电驱动器的阻抗特性与输出特性曲线。将压电驱动器运用在轮式机器人,验证了设计的可行性。 展开更多
关键词 压电驱动器 一体双驱 对称 微机电系统 悬臂梁式
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金属催化轴向解链法制备窄石墨烯纳米带 被引量:1
18
作者 王锴 周庆萍 +5 位作者 陈志刚 陈由馨 贺志岩 江圣昊 陈杰 陈长鑫 《新型炭材料》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期716-721,共6页
窄石墨烯纳米带(GNR)因具有较大带隙使其在电子和光电器件中有广阔的应用前景。然而目前仍缺乏良好的方法来制备高质量、窄GNR。本文研发了一种过渡金属轴向解链单壁碳纳米管(SWCNT)制备窄的高质量GNR和GNR/SWCNT分子内异质结的方法。... 窄石墨烯纳米带(GNR)因具有较大带隙使其在电子和光电器件中有广阔的应用前景。然而目前仍缺乏良好的方法来制备高质量、窄GNR。本文研发了一种过渡金属轴向解链单壁碳纳米管(SWCNT)制备窄的高质量GNR和GNR/SWCNT分子内异质结的方法。通过研究,获得了该方法解链SWCNT的最佳工艺,通过控制H 2流量能调节SWCNT的解链速率。窄GNR和GNR/SWCNT分子内异质结有望被用于下一代电子和光电器件。 展开更多
关键词 单壁碳纳米管 石墨烯纳米带 异质结
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0.5(Ba_(0.7)Ca_(0.3))TiO_3-0.5Ba(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3纳米线的定向排列及其压电性能
19
作者 刘徐迟 黄惠良 杨志 《传感器与微系统》 CSCD 2018年第11期11-13,共3页
通过静电纺丝制备了定向排列的0.5(Ba_(0.7)Ca_(0.3))TiO_3-0.5Ba(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3(BCZT)纳米线,并利用纳米线制备了纳米发电机。研究了定向排列纳米线对纳米发电机输出性能的影响。X射线粉末衍射谱和拉曼光谱显示:制备的纳米线具... 通过静电纺丝制备了定向排列的0.5(Ba_(0.7)Ca_(0.3))TiO_3-0.5Ba(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3(BCZT)纳米线,并利用纳米线制备了纳米发电机。研究了定向排列纳米线对纳米发电机输出性能的影响。X射线粉末衍射谱和拉曼光谱显示:制备的纳米线具有良好的四方相钙钛矿结构。扫描电子显微镜照片显示,利用平行电极收集器可以实现大部分纳米线的定向排列。测试了纳米发电机的压电性能,结果显示:基于定向排列纳米线的纳米发电机平均输出电流为89.69 n A,而基于无序排列纳米线的纳米发电机平均输出电流为52.36 n A。相比而言,发电机的电流输出性能提升了71.3%。利用发电机制备的自供电式可穿戴肢体动作传感器响应非常好,能在不需要外部电源的情况下很好地区分不同肢体部位的弯曲动作。 展开更多
关键词 0.5(Ba0.7Ca0.3)TiO3-0.5Ba(Zr0.2Ti0.8)O3纳米线 纳米发电机 静电纺丝 钙钛矿结构 压电性能
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MEMS薄膜热流传感器研制 被引量:11
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作者 李娟 张丛春 +3 位作者 杨申勇 丁桂甫 董威 段力 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第5期71-73,共3页
基于微加工技术设计制备了一种微机电系统(MEMS)薄膜热流传感器。采用COMSOL软件,对不同结构参数MEMS薄膜热流计进行仿真模拟,通过对仿真结果对比和分析,优化热流传感器的设计参数。根据优化的设计参数利用MEMS工艺制备薄膜热流计。搭... 基于微加工技术设计制备了一种微机电系统(MEMS)薄膜热流传感器。采用COMSOL软件,对不同结构参数MEMS薄膜热流计进行仿真模拟,通过对仿真结果对比和分析,优化热流传感器的设计参数。根据优化的设计参数利用MEMS工艺制备薄膜热流计。搭建了标定系统,对所制备的MEMS薄膜热流计进行性能测试和标定。实验结果表明:薄膜热流计的电压输出响应曲线的变化趋势和仿真结果一致,此外,薄膜热流计的输出电压和热流密度呈良好的线性关系。 展开更多
关键词 微机电系统技术 热流传感器 聚酰亚胺 COMSOL仿真
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