利用微机电系统(MEMS)工艺在Al_(2)O_(3)基片上制备了Pt—PtRh薄膜热电偶,其工作温度最高可达到1300℃,最大输出电势达14.8 m V。薄膜热电偶的电势—温度曲线与标准热电偶的曲线基本重合,同时研究了不同粘结层对薄膜微结构、器件寿命的...利用微机电系统(MEMS)工艺在Al_(2)O_(3)基片上制备了Pt—PtRh薄膜热电偶,其工作温度最高可达到1300℃,最大输出电势达14.8 m V。薄膜热电偶的电势—温度曲线与标准热电偶的曲线基本重合,同时研究了不同粘结层对薄膜微结构、器件寿命的影响。实验结果表明:以Ta为粘结层时薄膜传感器的寿命最长,在1300℃下可达到14 h。展开更多
文摘利用微机电系统(MEMS)工艺在Al_(2)O_(3)基片上制备了Pt—PtRh薄膜热电偶,其工作温度最高可达到1300℃,最大输出电势达14.8 m V。薄膜热电偶的电势—温度曲线与标准热电偶的曲线基本重合,同时研究了不同粘结层对薄膜微结构、器件寿命的影响。实验结果表明:以Ta为粘结层时薄膜传感器的寿命最长,在1300℃下可达到14 h。
