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基于磁感应QCM在早期肺癌检测上的研究 被引量:3
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作者 张艳丽 崔大祥 +2 位作者 惠春 徐爱兰 黄斌峰 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第9期50-52,55,共4页
利用压电石英晶体的振动频率对其电极表面负荷敏感的特点和现场可编程(逻辑)门阵列(FP-GA)与单片机的控制功能,同时,利用纳米免疫磁微珠具有增大负载响应和磁分离的能力,结合特异性生物化学反应,设计了一种用于早期肺癌诊断的纳米生物... 利用压电石英晶体的振动频率对其电极表面负荷敏感的特点和现场可编程(逻辑)门阵列(FP-GA)与单片机的控制功能,同时,利用纳米免疫磁微珠具有增大负载响应和磁分离的能力,结合特异性生物化学反应,设计了一种用于早期肺癌诊断的纳米生物电子微系统。通过该系统对蒸馏水和CPA—Y2肺癌细胞溶液的测量结果表明:该系统具有较好的线性变化规律,能准确反映被测生物物质的质量或含量,对实现肺癌的早期诊断和筛查具有重要的参考价值。 展开更多
关键词 磁感应 石英晶体微天平 谐振频率 现场可编程(逻辑)门阵列
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基于纳米晶PZT/石英的压电生物质量传感器研究 被引量:3
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作者 侯安州 惠春 +2 位作者 徐爱兰 张艳丽 倪鹤南 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第7期9-11,共3页
制作了一种新型的基于纳米晶PZT/石英的压电生物质量传感器。采用了溶胶-凝胶法在石英晶体表面制备了纳米晶PZT薄膜,形成PZrr/石英结构的敏感单元。研究了纳米晶PZT在石英基体上的微观结构、表面形貌;探讨了纳米晶PZT/石英作为敏... 制作了一种新型的基于纳米晶PZT/石英的压电生物质量传感器。采用了溶胶-凝胶法在石英晶体表面制备了纳米晶PZT薄膜,形成PZrr/石英结构的敏感单元。研究了纳米晶PZT在石英基体上的微观结构、表面形貌;探讨了纳米晶PZT/石英作为敏感单元在细胞检测中的作用。实验结果表明:PZT薄膜的晶粒大小为20-30nm,沿〈101)晶向择优生长,并且,薄膜表面平整,结构致密。纳米晶PZT/石英结构的敏感单元使生物细胞传感器的灵敏度得到了提高。 展开更多
关键词 纳米晶 压电陶瓷 生物传感器 灵敏度
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浮动电极型单向声表面波驱动器的设计与制造(英文) 被引量:1
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作者 张俊峰 李以贵 惠春 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1300-1305,共6页
考虑声表面波驱动器直接驱动工作物体,能量损失小,传动误差小,且尺寸小,噪声低,抗电磁干扰等特点,基于MEMS技术并采用在Li NbO3基底上加工微型电极的方式制作了一种声表面波微驱动器。为了更加有效地控制驱动方向,提出了一种新型叉指结... 考虑声表面波驱动器直接驱动工作物体,能量损失小,传动误差小,且尺寸小,噪声低,抗电磁干扰等特点,基于MEMS技术并采用在Li NbO3基底上加工微型电极的方式制作了一种声表面波微驱动器。为了更加有效地控制驱动方向,提出了一种新型叉指结构,即浮动电极型单向换能器,然后利用ANSYS软件,对声表面波换能器进行了优化设计和分析,制作出了孔径尺寸为5mm,电极厚度为0.8μm,指宽为6.7μm,周期为80μm的浮动电极型单向换能器。该声表面波驱动器比以往的驱动器具有更高的谐振频率(接近50MHz)和更有效的方向可控性,从而有助于微光学控制系统的进一步微型化和可控化。 展开更多
关键词 声表面波驱动器 微机电系统 浮动电极型单向换能器
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