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简易低成本柔性神经微电极制作方法
被引量：
12
1
作者
周洪波
李刚
+5 位作者
张华
孙晓娜
姚源
金庆辉
赵建龙
任秋实
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第7期1056-1063,共8页
提出了一种简单、低成本的植入式柔性薄膜神经微电极的制作工艺和方法。该方法采用光敏型聚酰亚胺(Durim-ide 7510)代替传统方法中的非光敏型聚酰亚胺或聚对二甲苯作为微电极基质材料,同时设计了一种基于应力集中的凹槽结构以保证所得...
提出了一种简单、低成本的植入式柔性薄膜神经微电极的制作工艺和方法。该方法采用光敏型聚酰亚胺(Durim-ide 7510)代替传统方法中的非光敏型聚酰亚胺或聚对二甲苯作为微电极基质材料,同时设计了一种基于应力集中的凹槽结构以保证所得微电极形状的规整性,且采用了一种基于硅导电性通过电化学腐蚀牺牲层的方法来实现微电极从支撑基片表面的完整自动释放。整个制作工艺简单,仅需两次光刻和两次金属沉积。测试和评价了所制作微电极的表面形貌、电学性能以及生物相容性,结果表明,这种方法大大降低了制作成本并缩短了周期。
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关键词
柔性微电极
神经假体
聚酰亚胺
凹槽结构
牺牲层
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职称材料
丘形柔性神经微刺激电极阵列
被引量：
8
2
作者
孙晓娜
李刚
+3 位作者
朱壮晖
周洪波
赵建龙
任秋实
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第9期2176-2183,共8页
为了实现电极位点与靶细胞的良好接触,改善刺激效果,同时保证刺激电极的自身安全,提出了一种具有圆滑外形的丘形柔性神经刺激微电极阵列。以光敏性聚酰亚胺(Durimide 7510)为基质材料,利用光刻和金属层图形化结合电镀工艺,制作了6×...
为了实现电极位点与靶细胞的良好接触,改善刺激效果,同时保证刺激电极的自身安全,提出了一种具有圆滑外形的丘形柔性神经刺激微电极阵列。以光敏性聚酰亚胺(Durimide 7510)为基质材料,利用光刻和金属层图形化结合电镀工艺,制作了6×6丘形柔性神经刺激微电极阵列,每个电极位点底面直径为150μm,高度约为50μm。通过数值模拟、形貌观测和电学性能测试对制备的微电极进行了评价。实验结果表明:相对于传统的平面微电极阵列(具有相同底面积),三维丘形电极位点的阻抗(@1kHz)降低了约4倍,可实现更有效的刺激;而相对于塔形电极,丘形电极则具有更均匀的表面电流密度分布,保证了电极长期工作的安全性。
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关键词
刺激电极
丘形柔性电极
微电极阵列
电流密度
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职称材料
三维柔性神经微电极阵列的制作
被引量：
7
3
作者
孙晓娜
周洪波
+4 位作者
李刚
朱壮晖
姚源
赵建龙
任秋实
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第8期1396-1402,共7页
提出了一种三维凸起柔性神经微电极阵列的制作方法。该方法以光敏性聚酰亚胺(Durimide 7510)为基质材料,以各向异性刻蚀的硅为模具,结合微注模、金属微图形化和牺牲层电化学释放技术制作三维凸起柔性微电极,并通过数值模拟、形貌观测和...
提出了一种三维凸起柔性神经微电极阵列的制作方法。该方法以光敏性聚酰亚胺(Durimide 7510)为基质材料,以各向异性刻蚀的硅为模具,结合微注模、金属微图形化和牺牲层电化学释放技术制作三维凸起柔性微电极,并通过数值模拟、形貌观测和电学性能测试对制备的微电极进行了评价。利用上述方法制备了具有4×4电极位点阵列的三维柔性神经微电极,每个电极位点大小为60μm×60μm,高度约37μm。阻抗测试显示,1 kHz时三维凸起电极位点的阻抗比传统的相同大小的平面微电极阵列约降低63%。结果表明,该电极的凸起特点可以保证电极刺激位点与神经细胞的良好接触,同时凸起结构也增加了电极刺激位点的表面积,改善了电极刺激位点的电荷注入能力,可有效提高刺激效果。
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关键词
人工视觉
三维柔性电极
微电极阵列
电极表面积
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职称材料
题名
简易低成本柔性神经微电极制作方法
被引量：
12
1
作者
周洪波
李刚
张华
孙晓娜
姚源
金庆辉
赵建龙
任秋实
机构
中国科学院
上海
微系统与信息技术
研究所
上海交通大学激光与生物医学研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第7期1056-1063,共8页
基金
国家973计划资助项目(No.2005CB724305)
上海市科委资助项目(No.06XD14037No.0652nm016)
上海-应用材料研究与发展基金资助项目(No.06SA01)
文摘
提出了一种简单、低成本的植入式柔性薄膜神经微电极的制作工艺和方法。该方法采用光敏型聚酰亚胺(Durim-ide 7510)代替传统方法中的非光敏型聚酰亚胺或聚对二甲苯作为微电极基质材料,同时设计了一种基于应力集中的凹槽结构以保证所得微电极形状的规整性,且采用了一种基于硅导电性通过电化学腐蚀牺牲层的方法来实现微电极从支撑基片表面的完整自动释放。整个制作工艺简单,仅需两次光刻和两次金属沉积。测试和评价了所制作微电极的表面形貌、电学性能以及生物相容性,结果表明,这种方法大大降低了制作成本并缩短了周期。
关键词
柔性微电极
神经假体
聚酰亚胺
凹槽结构
牺牲层
Keywords
flexible microelectrode
neural prostheses
polyimide
groove
sacrificial layer
分类号
TP212.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
R338 [医药卫生—人体生理学]
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职称材料
题名
丘形柔性神经微刺激电极阵列
被引量：
8
2
作者
孙晓娜
李刚
朱壮晖
周洪波
赵建龙
任秋实
机构
中国科学院
上海
微系统与信息技术
研究所
中国科学院
研究
生院
上海交通大学激光与生物医学研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第9期2176-2183,共8页
基金
国家973重点基础研究发展规划资助项目(No.2005CB724305)
上海市自然科学基金资助项目(No.07ZR14134)
+2 种基金
上海市优秀学科带头人资助项目(No.06XD14037)
上海市科委纳米专项基金资助项目(No.0652nm016)
中科院上海微系统与信息技术研究所青年创新基金资助项目(No.2008QNCX02)
文摘
为了实现电极位点与靶细胞的良好接触,改善刺激效果,同时保证刺激电极的自身安全,提出了一种具有圆滑外形的丘形柔性神经刺激微电极阵列。以光敏性聚酰亚胺(Durimide 7510)为基质材料,利用光刻和金属层图形化结合电镀工艺,制作了6×6丘形柔性神经刺激微电极阵列,每个电极位点底面直径为150μm,高度约为50μm。通过数值模拟、形貌观测和电学性能测试对制备的微电极进行了评价。实验结果表明:相对于传统的平面微电极阵列(具有相同底面积),三维丘形电极位点的阻抗(@1kHz)降低了约4倍,可实现更有效的刺激;而相对于塔形电极,丘形电极则具有更均匀的表面电流密度分布,保证了电极长期工作的安全性。
关键词
刺激电极
丘形柔性电极
微电极阵列
电流密度
Keywords
stimulation electrode
dome-shaped flexible electrode
microeletrode array
current density
分类号
TP212.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
R338 [医药卫生—人体生理学]
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职称材料
题名
三维柔性神经微电极阵列的制作
被引量：
7
3
作者
孙晓娜
周洪波
李刚
朱壮晖
姚源
赵建龙
任秋实
机构
中国科学院
上海
微系统与信息技术
研究所
上海交通大学激光与生物医学研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第8期1396-1402,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.60677043)
文摘
提出了一种三维凸起柔性神经微电极阵列的制作方法。该方法以光敏性聚酰亚胺(Durimide 7510)为基质材料,以各向异性刻蚀的硅为模具,结合微注模、金属微图形化和牺牲层电化学释放技术制作三维凸起柔性微电极,并通过数值模拟、形貌观测和电学性能测试对制备的微电极进行了评价。利用上述方法制备了具有4×4电极位点阵列的三维柔性神经微电极,每个电极位点大小为60μm×60μm,高度约37μm。阻抗测试显示,1 kHz时三维凸起电极位点的阻抗比传统的相同大小的平面微电极阵列约降低63%。结果表明,该电极的凸起特点可以保证电极刺激位点与神经细胞的良好接触,同时凸起结构也增加了电极刺激位点的表面积,改善了电极刺激位点的电荷注入能力,可有效提高刺激效果。
关键词
人工视觉
三维柔性电极
微电极阵列
电极表面积
Keywords
artificial vision
three-dimensional flexible electrode
Microelctrode Array（MEA）
surfacearea of electrode
分类号
TP212.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
R338 [医药卫生—人体生理学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
简易低成本柔性神经微电极制作方法
周洪波
李刚
张华
孙晓娜
姚源
金庆辉
赵建龙
任秋实
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
12
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
丘形柔性神经微刺激电极阵列
孙晓娜
李刚
朱壮晖
周洪波
赵建龙
任秋实
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
8
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
三维柔性神经微电极阵列的制作
孙晓娜
周洪波
李刚
朱壮晖
姚源
赵建龙
任秋实
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
7
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