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题名压电线性马达与纳米马达
被引量：4
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作者
费继承
王庆康
万永中
段智勇
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机构
上海交通大学微纳米院微电子所
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2003年第4期295-298,共4页
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文摘
国外对压电线性马达的研究已经进行了有些年了,并已有较为成熟的应用。它利用压电陶瓷基片或薄膜、电致伸缩材料等功能部件实现驱动,主要特征是能够提供较大的横向输出力,同时,又可能实现超高精度和小位移——毫米级的位移行程和原子级的精度。一般用空载速度、最大推进力、效率及其他一些参数来表征压电线性马达。该文首先介绍几种类型的压电线性马达,包括它们的结构、运行原理和特性等,然后再介绍纳米马达。应该指出,纳米马达是压电线性马达的发展,其特点是能够实现纳米级精度的位移,国外已经在精密仪器、航天航空、自动控制、办公自动化、微型机械系统、微装配、纳米定位等领域得到了实际应用。
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关键词
压电线性马达
纳米马达
驱动器
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Keywords
piezoelectric linear motor
nanomotor
actuator
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分类号
TM253
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名新型MOS氧化层TiO_2薄膜
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作者
张良
陆鸣
王民
许效红
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机构
上海交通大学微纳米院微电子所
山东大学晶体所
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2003年第6期494-496,共3页
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文摘
采用低压MOCVD法在(111)取向硅基上制备了TiO2薄膜代替通常MOS结构的SiO2,并测量了TiO2薄膜的介电常数、表面固定电荷密度和电阻率,与SiO2作比较,结果表明:TiO2的MOS结构比SiO2具有更优良的性质,更适应于超大规模集成电路制造。
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关键词
TIO2薄膜
MOS结构
介电常数
电阻率
表面固定电荷密度
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Keywords
TiO_2 thin film
MOS structure
dielectric constant
resistivity
surface fixed electronic charge density
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分类号
TN305.5
[电子电信—物理电子学]
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