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应用X射线光刻的微针阵列及掩模板补偿
被引量：
5
1
作者
陈少军
李以贵
杉山进
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期420-425,共6页
提出了一种聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微针的微细加工工艺,该工艺基于PCT技术,结合X射线以及光刻掩模制作三维微结构。通过移动LIGA掩模板曝光来加工微立体PMMA结构,其加工形状取决于X光光刻掩模板吸收体的形状。实验显示,最终的结构形状...
提出了一种聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微针的微细加工工艺,该工艺基于PCT技术,结合X射线以及光刻掩模制作三维微结构。通过移动LIGA掩模板曝光来加工微立体PMMA结构,其加工形状取决于X光光刻掩模板吸收体的形状。实验显示,最终的结构形状并非完全与掩模板上吸收体的形状一致。如果不对X光光刻掩模板的吸收体形状进行补偿,即会使被加工的微结构侧面变形,从而影响微针的性能。分析了微针阵列侧面变形的原因,认为这种变形是由于显影时间与曝光量之间的非线性关系导致结构形状与曝光量分布不完全一致造成的。利用PCT方法制作的PMMA微针其长度为100～750μm,直径为30～150μm,针尖的直径最小可达100nm。通过对LIGA掩模板上的吸收体图形进行适当的补偿,使吸收体图形从中空的双直角三角形变为中空的半椭圆图形,增强了带沟道的微注射针阵列的强度。
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关键词
X射线光刻
聚甲基丙烯酸甲酯
三维微结构
掩模
吸收体
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职称材料
非接触压电马达驱动机理分析
被引量：
8
2
作者
刘景全
杨斌
+2 位作者
周广华
蔡炳初
杨志刚
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期562-565,共4页
主要研究行波型非接触压电马达的驱动机理,该文引入边界层概念,对振动体产生的边界层进行分析,探讨行波型超声波非接触驱动机理。给出在振子产生的边界层内超声波非接触驱动主要为声流驱动,而在边界层外是由壁面行波产生的斜向声辐射压...
主要研究行波型非接触压电马达的驱动机理,该文引入边界层概念,对振动体产生的边界层进行分析,探讨行波型超声波非接触驱动机理。给出在振子产生的边界层内超声波非接触驱动主要为声流驱动,而在边界层外是由壁面行波产生的斜向声辐射压力驱动。
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关键词
压电马达
非接触
驱动机理
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职称材料
基于准分子激光工艺制作X射线光掩膜
3
作者
陈少军
李以贵
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期349-351,共3页
LIGA工艺是一项能够应用于制造三维微机械结构的微细加工技术,但制作掩膜版工艺复杂、成本高。为了解决商用的微光学系统制造成本问题,在Au薄膜上用准分子激光直写的方法制作掩膜,这样既能够很快得到雏形,同时也能够降低制作的掩膜版的...
LIGA工艺是一项能够应用于制造三维微机械结构的微细加工技术,但制作掩膜版工艺复杂、成本高。为了解决商用的微光学系统制造成本问题,在Au薄膜上用准分子激光直写的方法制作掩膜,这样既能够很快得到雏形,同时也能够降低制作的掩膜版的成本。分析讨论了基于电子束制作掩膜版和基于准分子激光制作掩膜版两种方法,得出了准分子激光制作的掩膜在成本和时间上都有优势的结论。将通过准分子激光技术制作的掩膜置于X射线下,在PMMA基板上可以加工很好的三维微结构。通过依次直接激光烧蚀金薄膜可以加工具有一系列微球状结构的吸收体图形,再将此图形转写到PMMA基板上,可以得到的最低像素为25μm。
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关键词
准分子激光
掩膜版投影
LIGA掩膜版
PMMA基板
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职称材料
题名
应用X射线光刻的微针阵列及掩模板补偿
被引量：
5
1
作者
陈少军
李以贵
杉山进
机构
上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室
日本立命馆
大学
微
系统
研究
中心
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期420-425,共6页
基金
上海市浦江人才计划资助项目(No.09PJ1406200)
国家自然科学基金资助项目(No.60777016)
+1 种基金
科技部国际合作资助项目(No.2009DFB10330)
航空重点实验室基金资助项目(No.20080857002)
文摘
提出了一种聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微针的微细加工工艺,该工艺基于PCT技术,结合X射线以及光刻掩模制作三维微结构。通过移动LIGA掩模板曝光来加工微立体PMMA结构,其加工形状取决于X光光刻掩模板吸收体的形状。实验显示,最终的结构形状并非完全与掩模板上吸收体的形状一致。如果不对X光光刻掩模板的吸收体形状进行补偿,即会使被加工的微结构侧面变形,从而影响微针的性能。分析了微针阵列侧面变形的原因,认为这种变形是由于显影时间与曝光量之间的非线性关系导致结构形状与曝光量分布不完全一致造成的。利用PCT方法制作的PMMA微针其长度为100～750μm,直径为30～150μm,针尖的直径最小可达100nm。通过对LIGA掩模板上的吸收体图形进行适当的补偿,使吸收体图形从中空的双直角三角形变为中空的半椭圆图形,增强了带沟道的微注射针阵列的强度。
关键词
X射线光刻
聚甲基丙烯酸甲酯
三维微结构
掩模
吸收体
Keywords
X-ray lithography
PMMA
three-dimensional microstructure
mask
absorber
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
非接触压电马达驱动机理分析
被引量：
8
2
作者
刘景全
杨斌
周广华
蔡炳初
杨志刚
机构
上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室
吉林
大学
机械
科学
与工程学院
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期562-565,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50205017)
文摘
主要研究行波型非接触压电马达的驱动机理,该文引入边界层概念,对振动体产生的边界层进行分析,探讨行波型超声波非接触驱动机理。给出在振子产生的边界层内超声波非接触驱动主要为声流驱动,而在边界层外是由壁面行波产生的斜向声辐射压力驱动。
关键词
压电马达
非接触
驱动机理
Keywords
piezoelectric motor
non-contact
driving mechanism
分类号
TM350 [电气工程—电机]
在线阅读
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职称材料
题名
基于准分子激光工艺制作X射线光掩膜
3
作者
陈少军
李以贵
机构
上海交通大学
微
纳米
科学技术
研究院
薄膜与
微细
技术
教育部
重点
实验室
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期349-351,共3页
基金
国家自然科学基金(60777016)
科技部国际合作项目(2009DFB10330)
+1 种基金
航空重点实验室基金(20080857002)
上海市浦江人才计划(09PJ1406200)
文摘
LIGA工艺是一项能够应用于制造三维微机械结构的微细加工技术,但制作掩膜版工艺复杂、成本高。为了解决商用的微光学系统制造成本问题,在Au薄膜上用准分子激光直写的方法制作掩膜,这样既能够很快得到雏形,同时也能够降低制作的掩膜版的成本。分析讨论了基于电子束制作掩膜版和基于准分子激光制作掩膜版两种方法,得出了准分子激光制作的掩膜在成本和时间上都有优势的结论。将通过准分子激光技术制作的掩膜置于X射线下,在PMMA基板上可以加工很好的三维微结构。通过依次直接激光烧蚀金薄膜可以加工具有一系列微球状结构的吸收体图形,再将此图形转写到PMMA基板上,可以得到的最低像素为25μm。
关键词
准分子激光
掩膜版投影
LIGA掩膜版
PMMA基板
Keywords
excimer laser
mask projection
LIGA mask
PMMA substrate
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
应用X射线光刻的微针阵列及掩模板补偿
陈少军
李以贵
杉山进
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
非接触压电马达驱动机理分析
刘景全
杨斌
周广华
蔡炳初
杨志刚
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2005
8
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
基于准分子激光工艺制作X射线光掩膜
陈少军
李以贵
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010
0
在线阅读
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职称材料
已选择
0
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