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纳米粒子单层膜作掩模的纳米刻蚀技术研究 被引量:1
1
作者 王英 杨明来 +3 位作者 张效岩 蔡炳初 徐东 张亚非 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期391-393,共3页
采用LB(langmuir-blodgett)排布技术制备了大面积高密度的FePt纳米粒子单层膜,利用纳米粒子单层膜作为掩模,通过反应离子刻蚀技术进行了纳米刻蚀研究.实验结果表明,采用纳米粒子单层膜作为掩模,通过控制反应离子刻蚀条件可以实现纳米级... 采用LB(langmuir-blodgett)排布技术制备了大面积高密度的FePt纳米粒子单层膜,利用纳米粒子单层膜作为掩模,通过反应离子刻蚀技术进行了纳米刻蚀研究.实验结果表明,采用纳米粒子单层膜作为掩模,通过控制反应离子刻蚀条件可以实现纳米级(小于50nm)的纳米点阵和纳米柱的刻蚀. 展开更多
关键词 LB膜 纳米粒子 掩模 纳米刻蚀
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肿瘤纳米诊断和治疗技术的研究现状与发展前景 被引量:10
2
作者 崔大祥 《中国肿瘤生物治疗杂志》 CAS CSCD 2008年第5期401-405,共5页
具有独特性能的纳米材料为肿瘤早期诊断和治疗带来了新机遇,展示出诱人的前景。近年来,基于纳米粒子的早期肿瘤标志物体外检测技术、活体动态多模式分子影像技术、基于纳米粒子光热转换效应的纳米显像治疗一体化技术、纳米缓释药物、纳... 具有独特性能的纳米材料为肿瘤早期诊断和治疗带来了新机遇,展示出诱人的前景。近年来,基于纳米粒子的早期肿瘤标志物体外检测技术、活体动态多模式分子影像技术、基于纳米粒子光热转换效应的纳米显像治疗一体化技术、纳米缓释药物、纳米药物递送器件等的研究都已取得重大进展。但是,由于纳米材料对人体长期作用的影响尚不清楚,纳米治疗技术在临床的应用还面临着挑战。本文回顾肿瘤纳米诊断和治疗领域的主要研究进展,并展望该领域的发展前景,旨在推动我国肿瘤纳米诊断和治疗技术的快速发展。 展开更多
关键词 肿瘤 纳米材料 纳米技术 纳米诊断 纳米治疗
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MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展 被引量:5
3
作者 陶凯 丁桂甫 +4 位作者 杨卓青 王佩红 吴义伯 汪红 王艳 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第5期1-4,7,共5页
概述了永磁材料在微机电系统(MEMS)中集成制造方法的研究进展,总结了当前用于制造永磁薄膜的电沉积、溅射、脉冲激光沉积(PLD)和粘结磁体微图形化等4种主要加工技术的优缺点和研究现状,并对未来的发展方向提出了一些观点。
关键词 微机电系统 永磁材料 永磁薄膜 微细加工
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利用LB技术采用循环压缩方法在不同基底表面制备FePt纳米粒子单层膜 被引量:3
4
作者 徐斌 王英 张亚非 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1317-1320,共4页
利用LB(Langmuir-Blodgett)技术,采用循环压缩的方法在不同基底表面上制备FePt纳米粒子单层膜,采用TEM和AFM等技术手段对其表面形貌进行表征.研究结果表明,采用循环压缩的方法可以大大提高单层膜的均匀性和致密性,并且在不同的基底表面... 利用LB(Langmuir-Blodgett)技术,采用循环压缩的方法在不同基底表面上制备FePt纳米粒子单层膜,采用TEM和AFM等技术手段对其表面形貌进行表征.研究结果表明,采用循环压缩的方法可以大大提高单层膜的均匀性和致密性,并且在不同的基底表面其成膜性能具有较大的差异. 展开更多
关键词 LB技术 FePt纳米粒子 基底
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一种非硅微加工技术制作的电热微驱动器 被引量:6
5
作者 张小波 吴义伯 +2 位作者 王亚攀 张丛春 丁桂甫 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第8期118-120,共3页
介绍了一种由非硅微加工技术制作的电热微驱动器。基于双金属效应,采用聚合物SU—8胶和金属镍作为功能材料和结构材料,铜为牺牲层材料制作电热微驱动器。利用ANSYS有限元分析软件进行仿真,模拟驱动位移随加热时间的变化关系,并由此得出... 介绍了一种由非硅微加工技术制作的电热微驱动器。基于双金属效应,采用聚合物SU—8胶和金属镍作为功能材料和结构材料,铜为牺牲层材料制作电热微驱动器。利用ANSYS有限元分析软件进行仿真,模拟驱动位移随加热时间的变化关系,并由此得出驱动力的大小,比较结果后确定结构参数。再通过光刻、掩模电镀和牺牲层刻蚀等工艺,加工制作出了电热微驱动器样品,并对样品进行了观测和分析。 展开更多
关键词 电热微驱动器 聚合物 ANSYS仿真 非硅微加工
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基于微机电系统加工技术的微小型矩形离子阱的研制 被引量:1
6
作者 陈婷 姚锦元 +4 位作者 蒋公羽 肖育 陈新 杨雨 郑恒 《质谱学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第1期65-72,I0003,共9页
矩形离子阱(RIT)不仅具有线性离子阱(LIT)捕获效率高和存储容量大等特点,还兼具圆柱形离子阱(CIT)易加工和装配的优点,具有小型化的优势。为了使RIT进一步微小型化,本研究采用微机电系统(MEMS)和激光切割技术加工微小型RIT,并通过模拟... 矩形离子阱(RIT)不仅具有线性离子阱(LIT)捕获效率高和存储容量大等特点,还兼具圆柱形离子阱(CIT)易加工和装配的优点,具有小型化的优势。为了使RIT进一步微小型化,本研究采用微机电系统(MEMS)和激光切割技术加工微小型RIT,并通过模拟仿真分析RIT的各项参数与其内部电场成分的关系。结果表明:固定离子阱非出射方向的场半径为1.4 mm,拉伸离子出射方向的场半径为1.60 mm,在电极厚度为50μm时,分析m/z 119离子的质量分辨率可达到452。使用MEMS工艺可制备高精度、微米级的微小型RIT。质谱分析表明,制备的微小型RIT对m/z 391的邻苯二甲酸二辛酯具有高于500的质量分辨能力,该结果验证了其结构设计的正确性以及MEMS工艺制备的可行性,为矩形离子阱的进一步微小型化奠定了良好基础。 展开更多
关键词 矩形离子阱 微机电系统(MEMS) 理论仿真 质谱 质量分辨
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碳纳米管气体传感器研究进展 被引量:16
7
作者 程应武 杨志 +3 位作者 魏浩 王艳艳 魏良明 张亚非 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2010年第12期3127-3142,共16页
碳纳米管具有一维纳米结构、高表面吸附能力、良好的导电性和电子弹道传输特性等优异的力学、电学、物理和化学性能,成为制作纳米气体传感器的理想材料之一.近年来,各国研究者广泛开展了碳纳米管气体传感器的研究工作,并取得了许多显著... 碳纳米管具有一维纳米结构、高表面吸附能力、良好的导电性和电子弹道传输特性等优异的力学、电学、物理和化学性能,成为制作纳米气体传感器的理想材料之一.近年来,各国研究者广泛开展了碳纳米管气体传感器的研究工作,并取得了许多显著成果.研究结果表明,碳纳米管气体传感器具有灵敏度高、响应速度快、尺寸小、能耗低和室温下工作等诸多特点.本文结合本研究小组近年来在碳纳米管气体传感器领域所做的大量研究工作,从环境监测、医学检测和国防军事等方面,对碳纳米管气体传感器取得的研究进展进行了综述,同时也阐述和分析了碳纳米管气体传感器的工作原理和制作过程.尽管面临诸多挑战,随着研究的不断深入,碳纳米管气体传感器仍有可能凭借其独特的性能优势成为当前商业应用气体传感器的有力竞争者. 展开更多
关键词 碳纳米管 气体传感器 环境监测 医学检测 国防军事
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基于Parylene的柔性微电极阵列微加工工艺研究 被引量:7
8
作者 吴义伯 侯安州 +3 位作者 倪鹤南 徐爱兰 惠春 任秋实 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1018-1020,1036,共4页
基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设计了一... 基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设计了一种基于parylene柔性神经微电极阵列的加工工艺方法,并讨论了在流片过程中的关键问题,如掩膜层的选择、电极的剥离及焊接与封装等。该柔性微电极阵列在用于视觉假体的神经接口方面具有独特的应用优势。 展开更多
关键词 柔性微电极阵列 聚对二甲苯 微加工工艺 神经接口
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柔性衬底MEMS技术制备脑电图干电极阵列研究 被引量:4
9
作者 吴澄 陈迪 +4 位作者 胡锐军 陈景东 陈翔 王晓韡 吕宝粮 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1035-1040,共6页
设计了一种新型的脑电图干电极,主要用于采集脑电信号以进行基于脑电图的警觉度分析,替代传统的湿电极.采用柔性衬底微电子机械系统(MEMS)加工技术,在柔性衬底上制备出具有化学稳定性与生物相容性的微针状干电极阵列.通过铜牺牲层实现... 设计了一种新型的脑电图干电极,主要用于采集脑电信号以进行基于脑电图的警觉度分析,替代传统的湿电极.采用柔性衬底微电子机械系统(MEMS)加工技术,在柔性衬底上制备出具有化学稳定性与生物相容性的微针状干电极阵列.通过铜牺牲层实现干电极微针的悬臂梁结构,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)剥离层实现器件从玻璃基底的完全释放,并经平面电极的多层组装实现了立体电极阵列.实验中干电极以聚酰亚胺作为柔性衬底,其针端及导线部分材料为镍,针端部分表面镀金.采用Neuroscan的脑电信号采集放大器对干电极性能进行了测试,测得阻抗约为10kΩ,其时域和频域信号与传统湿电极基本一致.所制备的干电极成品率高、尺寸小、屏蔽佳、装配简单、可靠性好、机械强度大,符合快速、无痛的脑电信号采集要求. 展开更多
关键词 干电极阵列 柔性衬底 微电子机械系统技术 多层组装 脑电图
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基于MEMS技术的异平面空心金属微针 被引量:4
10
作者 沈修成 刘景全 +2 位作者 王亚军 郭忠元 芮岳峰 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期151-154,共4页
MEMS微针的一个重要应用是透皮给药。文中提出了一种基于MEMS技术的异平面空心金属微针。该微针首先利用硅(100)面刻蚀技术在硅片上刻蚀出深度为330μm的倒四棱锥,然后采用电镀技术电镀出壁厚为50μm的空心金属倒四棱锥。从背面开出微... MEMS微针的一个重要应用是透皮给药。文中提出了一种基于MEMS技术的异平面空心金属微针。该微针首先利用硅(100)面刻蚀技术在硅片上刻蚀出深度为330μm的倒四棱锥,然后采用电镀技术电镀出壁厚为50μm的空心金属倒四棱锥。从背面开出微流道并去除残余硅,就得到了倾斜角度为70.6°的异平面金属空心微针。最后采用ANSYS有限元仿真软件建立微针模型,验证了微针具有足够的强度。 展开更多
关键词 MEMS 微针 电镀 异平面 药物投送
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基于纳米晶PZT/石英的压电生物质量传感器研究 被引量:3
11
作者 侯安州 惠春 +2 位作者 徐爱兰 张艳丽 倪鹤南 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第7期9-11,共3页
制作了一种新型的基于纳米晶PZT/石英的压电生物质量传感器。采用了溶胶-凝胶法在石英晶体表面制备了纳米晶PZT薄膜,形成PZrr/石英结构的敏感单元。研究了纳米晶PZT在石英基体上的微观结构、表面形貌;探讨了纳米晶PZT/石英作为敏... 制作了一种新型的基于纳米晶PZT/石英的压电生物质量传感器。采用了溶胶-凝胶法在石英晶体表面制备了纳米晶PZT薄膜,形成PZrr/石英结构的敏感单元。研究了纳米晶PZT在石英基体上的微观结构、表面形貌;探讨了纳米晶PZT/石英作为敏感单元在细胞检测中的作用。实验结果表明:PZT薄膜的晶粒大小为20-30nm,沿〈101)晶向择优生长,并且,薄膜表面平整,结构致密。纳米晶PZT/石英结构的敏感单元使生物细胞传感器的灵敏度得到了提高。 展开更多
关键词 纳米晶 压电陶瓷 生物传感器 灵敏度
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纳米晶PZT薄膜体声波谐振器的研究 被引量:3
12
作者 倪鹤南 侯安州 +2 位作者 李敏 徐爱兰 惠春 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2009年第2期149-151,共3页
采用改进的溶胶-凝胶(Sol—Gel)法,在Si基Pt电极上沉积了PZT压电薄膜,并研制了以SiO2为声反射层的体声波谐振器。用Ⅺ射线衍射、电镜扫描及原子力显微镜测试表明,PZT薄膜具有(110)择优取向,良好的短柱状自行晶结构及平滑的表面... 采用改进的溶胶-凝胶(Sol—Gel)法,在Si基Pt电极上沉积了PZT压电薄膜,并研制了以SiO2为声反射层的体声波谐振器。用Ⅺ射线衍射、电镜扫描及原子力显微镜测试表明,PZT薄膜具有(110)择优取向,良好的短柱状自行晶结构及平滑的表面,晶粒平均尺寸为50~60nm。介电性能测试结果表明,介电常数保持约800,损耗角为0.02。用网络分析仪测试体声波谐振器得到较好的频率特性,即串、并联谐振频率分别为2.91GHz和3.01GHz,机电耦合系数为8.18%。在敏感元电极上加载1μL浓度为0.2μg/pL的磁性微球溶液,谐振频率降低了0.09GHz。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶(Sol—Gel) 薄膜体声波谐振器 纳米晶PZT薄膜
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基于CVD技术的异步多通路电针灸针的研究 被引量:2
13
作者 邱可可 刘景全 +3 位作者 芮岳峰 杨春生 王宇娟 李克勇 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第5期788-790,共3页
针灸治疗是中医治疗疾病的一种有效方法,随着现代针灸的新科技与经络穴位的结合,传统的毫针逐渐发展到了脉冲电针、电热针等。该文提出一种异步多通路刺激的电针灸针。基于传统的毫针,通过微加工工艺在一根毫针针体上加工出若干个刺激电... 针灸治疗是中医治疗疾病的一种有效方法,随着现代针灸的新科技与经络穴位的结合,传统的毫针逐渐发展到了脉冲电针、电热针等。该文提出一种异步多通路刺激的电针灸针。基于传统的毫针,通过微加工工艺在一根毫针针体上加工出若干个刺激电极,微加工工艺包括溅射金属层及化学气相沉积(CVD)绝缘层聚对二甲苯。聚对二甲苯作为电极间的绝缘材料,具有无针孔涂覆、更低的液气渗透率、良好的生物相容性、透明性和柔韧性、以及较好的机械强度。通过连接电针灸仪,在一根针上即可实现异步多条电流通路的刺激。 展开更多
关键词 电针灸 异步 多通路 电针 化学气相沉积(CVD) 聚对二甲苯
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碳纳米管修饰电极的制备及其电化学敏感性研究 被引量:3
14
作者 陆闻静 丁桂甫 +2 位作者 王艳 邓敏 周镇威 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第5期75-78,共4页
介绍了一种碳纳米管修饰电极的制备工艺,并对其电化学敏感性进行测试和分析。该工艺辅助聚合物聚酰亚胺,利用机械球磨、可控刻蚀等工艺,实现了碳纳米管的均一分布,露出碳纳米管的断口和缺陷。在玻碳电极上涂覆碳纳米管/聚酰亚胺复合膜,... 介绍了一种碳纳米管修饰电极的制备工艺,并对其电化学敏感性进行测试和分析。该工艺辅助聚合物聚酰亚胺,利用机械球磨、可控刻蚀等工艺,实现了碳纳米管的均一分布,露出碳纳米管的断口和缺陷。在玻碳电极上涂覆碳纳米管/聚酰亚胺复合膜,结合扫描电子显微镜观察,得到了可控、均一、稳定的电极界面。利用循环伏安法对电极进行性能测试,讨论了工艺对性能的影响,结果表明:该电极对溶液中的微量物质敏感,并且对电化学反应有催化和促进作用。 展开更多
关键词 碳纳米管 修饰电极 循环伏安法
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碳纳米管修饰电极对焦化废水的降解性能研究 被引量:5
15
作者 孙舒婧 王艳 +1 位作者 丁桂甫 汪红 《环境科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期159-162,195,共5页
文章制备了多壁碳纳米管修饰电极(MWCNT-ME)并考察了其对焦化废水中难降解有机物的电催化性能。对MWCNT-ME的表面形貌、有机污染物吸附性能及苯胺和苯酚单项污染物电化学特性进行初步表征分析,在此基础上结合气质联用(GC/MS)检测和COD... 文章制备了多壁碳纳米管修饰电极(MWCNT-ME)并考察了其对焦化废水中难降解有机物的电催化性能。对MWCNT-ME的表面形貌、有机污染物吸附性能及苯胺和苯酚单项污染物电化学特性进行初步表征分析,在此基础上结合气质联用(GC/MS)检测和COD检测分析对比了MWCNT-ME与IrSnSb金属电极对焦化废水中难降解有机污染物的电化学降解能力。MWCNT-ME对于苯胺和苯酚单项污染物有高的电化学反应活性;MWCNT-ME与粉体吸附介质比较表现出较低的吸附活性,电化学降解是MWCNT-ME处理废水时有机污染物浓度降低的主要因素;在相同工作条件下,MWCNT-ME降解焦化废水中难降解有机物的COD降解效率的高于IrSnSb电极,具有降解焦化废水中难降解有机物的应用潜力。 展开更多
关键词 焦化废水 有机污染物 多壁碳纳米管 修饰电极
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基于UV-LIGA技术的微孔异形喷丝头制备 被引量:3
16
作者 程吉凤 丁桂甫 +2 位作者 姚锦元 汪红 刘瑞 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第3期58-60,共3页
为了实现微孔喷丝头的多元化截面形状,采用紫外(UV)-LIGA技术和激光焊接的方法,初步探索了UV-LIGA技术在制备异形微喷嘴上的应用。应用UV-LIGA技术电铸出不同孔形的喷丝头底板,并采用激光焊接技术实现底板和冲压外框的整体成型。实验结... 为了实现微孔喷丝头的多元化截面形状,采用紫外(UV)-LIGA技术和激光焊接的方法,初步探索了UV-LIGA技术在制备异形微喷嘴上的应用。应用UV-LIGA技术电铸出不同孔形的喷丝头底板,并采用激光焊接技术实现底板和冲压外框的整体成型。实验结果表明:以UV-LIGA技术替代LIGA技术加工的喷丝头微孔侧壁光洁,截面形状多样,孔形均一性好,加工成本低廉。 展开更多
关键词 UV-LIGA 喷丝头 电铸 激光焊接技术
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植布法制备镍基碳纳米管场发射阴极及其性能研究 被引量:1
17
作者 崔雪梅 王艳 +1 位作者 邓敏 丁桂甫 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期1972-1976,共5页
提出了一种新型的制备碳纳米管场发射阴极的方法———植布法,详细描述了植布法工艺,并用扫描电镜观察植布法得到的样品的表面形态,讨论了球磨工艺、碳管和聚合物分散剂不同质量配比,及聚合物介质刻蚀时间的长短对最终场发射阴极性能的... 提出了一种新型的制备碳纳米管场发射阴极的方法———植布法,详细描述了植布法工艺,并用扫描电镜观察植布法得到的样品的表面形态,讨论了球磨工艺、碳管和聚合物分散剂不同质量配比,及聚合物介质刻蚀时间的长短对最终场发射阴极性能的影响。实验表明植布法制备的场发射阴极具有良好的场发射性能,如低的开启电压(约为1.7V/μm),高的电流密度(在3.6V/μm下,电流密度可以达到26mA/cm2)。该方法结合了传统直接生长和丝网印刷法制备碳纳米管阴极的优点,实现了碳纳米管与金属基底可靠结合的结构,广泛适用于以该结构作为核心功能单元的器件。 展开更多
关键词 碳纳米管 聚酰亚胺 场发射阴极 场发射性能 植布法
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一种植入玻璃表面的碳纳米管电极及其场发射性能研究 被引量:1
18
作者 孙斌 陈冉 +1 位作者 王艳 丁桂甫 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期3068-3071,共4页
实现了一种通过水玻璃粘结剂将碳纳米管植入玻璃基底表面并呈现均匀"植布"效果的场发射电极。通过低温工艺固化碳纳米管形态,并保证高选择比的湿法刻蚀工艺,实现碳纳米管端部刻蚀露出作为场发射源,而根部植入水玻璃粘结介质... 实现了一种通过水玻璃粘结剂将碳纳米管植入玻璃基底表面并呈现均匀"植布"效果的场发射电极。通过低温工艺固化碳纳米管形态,并保证高选择比的湿法刻蚀工艺,实现碳纳米管端部刻蚀露出作为场发射源,而根部植入水玻璃粘结介质中的分散植布效果。通过高温强化工艺,在碳纳米管与粘结剂结合界面形成1层稳定的-Si-O-薄膜,增加碳纳米管与阴极薄膜的结合力,提高其场发射性能。高温强化后电极开启电压由1.52V/μm降至0.74V/μm明显降低。同时,在外加场强2.3V/μm时,可以得到大于233μA的稳定场发射电流持续发射40h。 展开更多
关键词 场发射 复合薄膜 碳纳米管 水玻璃
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BST溶胶及其纳米晶铁电薄膜特性研究 被引量:1
19
作者 余慧春 惠春 徐爱兰 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2006年第3期321-324,共4页
考察了在溶胶-凝胶(Sol-Gel)工艺中化学添加剂对钛酸锶钡(BST)溶胶的粒度分布的影响。通过对化学添加剂的优选,制备出具有优异电性能的BST薄膜。X-射线衍射(XRD)表明在Pt/Cr/SiO2/Si衬底上制备的BST薄膜具有完整的钙钛矿结构... 考察了在溶胶-凝胶(Sol-Gel)工艺中化学添加剂对钛酸锶钡(BST)溶胶的粒度分布的影响。通过对化学添加剂的优选,制备出具有优异电性能的BST薄膜。X-射线衍射(XRD)表明在Pt/Cr/SiO2/Si衬底上制备的BST薄膜具有完整的钙钛矿结构,AFM表面形貌显示BST薄膜表面致密、平整、无裂纹,平均晶粒尺寸约50nm。漏电流测试表明BST薄膜在0~9V的外加偏压下始终保持着较低的漏电流,在外加偏压为8.8V时,漏电流密度为2.9×10^-6A/cm^2。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶(Sol-Gel)工艺 钛酸锶钡(BST)薄膜 粒度分布 漏电流 铁电体
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阳极氧化法制备氧化铝纳米线薄膜及其生成机理研究 被引量:2
20
作者 杨卉 王庆康 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2006年第z2期294-296,300,共4页
研究了一种简单新颖的制备氧化铝纳米线薄膜的电化学方法。以阳极氧化法在高纯铝片表面制备多孔阳极氧化铝(AAO)的工艺为基础,在草酸电解液中将AAO孔壁溶解形成氧化铝纳米线,均匀覆盖在AAO有序孔道的上方,得到一种特殊结构的纳米线薄膜... 研究了一种简单新颖的制备氧化铝纳米线薄膜的电化学方法。以阳极氧化法在高纯铝片表面制备多孔阳极氧化铝(AAO)的工艺为基础,在草酸电解液中将AAO孔壁溶解形成氧化铝纳米线,均匀覆盖在AAO有序孔道的上方,得到一种特殊结构的纳米线薄膜。对实验产物纳米线的形貌、结构及成分进行了表征分析,并探讨了氧化铝纳米线薄膜的生成机理。 展开更多
关键词 阳极氧化铝 纳米线 薄膜
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