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CVD金刚石薄膜的微机械加工技术研究进展 被引量:12
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作者 丁桂甫 曹莹 +1 位作者 李新永 蒋振新 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2003年第1期6-11,共6页
金刚石薄膜是一种蕴涵巨大应用潜力的新型电子功能材料,但是它极高的硬度和化学稳定性使其难以被加工成型,因此,金刚石薄膜的微机械加工技术是其MEMS应用的关键技术问题之一。本文介绍了近年来国内外在选择性生长、模型复制、激光刻蚀... 金刚石薄膜是一种蕴涵巨大应用潜力的新型电子功能材料,但是它极高的硬度和化学稳定性使其难以被加工成型,因此,金刚石薄膜的微机械加工技术是其MEMS应用的关键技术问题之一。本文介绍了近年来国内外在选择性生长、模型复制、激光刻蚀和等离子体刻蚀等金刚石微机械加工技术方面的研究进展,着重探讨了可以直接对金刚石薄膜进行微细加工的反应离子刻蚀技术.提出了改善微机械加工效果的金属掩膜侧壁钝化概念,为MEMS器件的金刚石微结构集成制造开辟了更为精确有效的技术途径。 展开更多
关键词 CVD 研究进展 金刚石薄膜 微机械加工技术 反应离子刻蚀
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微型飞行器的研究现状与关键技术 被引量:32
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作者 肖永利 张琛 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期26-32,共7页
微型飞行器目前在国际上是一个研究热点 ,它突破了传统常规飞行器的设计和制作概念 ,是随着微米纳米科技和微电子机械系统 ( MEMS)的蓬勃兴起而发展起来的一个新的研究领域。本文介绍了国内外各种微型飞行器当前的研究发展状况 ,分析了... 微型飞行器目前在国际上是一个研究热点 ,它突破了传统常规飞行器的设计和制作概念 ,是随着微米纳米科技和微电子机械系统 ( MEMS)的蓬勃兴起而发展起来的一个新的研究领域。本文介绍了国内外各种微型飞行器当前的研究发展状况 ,分析了微型飞行器研制中的一些关键技术 ,并对其未来发展前景作了展望。 展开更多
关键词 微型飞行器 微飞行机器人 微电子机械系统 扑翼 MEMS
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超微马达实用化技术及在医用内窥镜中的应用研究 被引量:2
3
作者 肖永利 李振波 +1 位作者 曹长江 张琛 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2000年第4期70-73,共4页
介绍和总结了超微马达 (直径 12mm)的实用化关键技术 ,并应用超微马达研制了一种新型医用内窥镜系统。通过在目前临床应用的内窥镜前端装上一个超微马达 ,驱动一可用形状记忆合金调整角度的光学反射镜作低速 36 0°旋转 ,扩大了传... 介绍和总结了超微马达 (直径 12mm)的实用化关键技术 ,并应用超微马达研制了一种新型医用内窥镜系统。通过在目前临床应用的内窥镜前端装上一个超微马达 ,驱动一可用形状记忆合金调整角度的光学反射镜作低速 36 0°旋转 ,扩大了传统内窥镜的侧向观察视野 ,并减少了内窥镜对人体组织造成的意外损伤和给病人带来的痛苦 ,实现了内窥镜前端操作的自动化。 展开更多
关键词 内窥镜 超微马达 形状记忆合金 微电子机械系统
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三维微加工新技术——DEM技术研究 被引量:4
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作者 赵旭 陈迪 张大成 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2000年第5期107-109,共3页
DEM技术 (Deepetching ,ElectroformingandMicroreplication )是继硅微加工技术和LIGA技术发展起来的一种全新的非硅三维微加工技术。该技术吸收了体硅微加工技术和LIGA技术的部分工艺 ,可对非硅材料进行三维微加工。目前利用该技术已... DEM技术 (Deepetching ,ElectroformingandMicroreplication )是继硅微加工技术和LIGA技术发展起来的一种全新的非硅三维微加工技术。该技术吸收了体硅微加工技术和LIGA技术的部分工艺 ,可对非硅材料进行三维微加工。目前利用该技术已获得了微复制模具 ,并已模压出多种高深宽比塑料微结构。该技术的开发成功 ,为微机电系统的产业化奠定了基础。 展开更多
关键词 三维微加工 DEM技术 微机电系统
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纳米粒子单层膜作掩模的纳米刻蚀技术研究 被引量:1
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作者 王英 杨明来 +3 位作者 张效岩 蔡炳初 徐东 张亚非 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期391-393,共3页
采用LB(langmuir-blodgett)排布技术制备了大面积高密度的FePt纳米粒子单层膜,利用纳米粒子单层膜作为掩模,通过反应离子刻蚀技术进行了纳米刻蚀研究.实验结果表明,采用纳米粒子单层膜作为掩模,通过控制反应离子刻蚀条件可以实现纳米级... 采用LB(langmuir-blodgett)排布技术制备了大面积高密度的FePt纳米粒子单层膜,利用纳米粒子单层膜作为掩模,通过反应离子刻蚀技术进行了纳米刻蚀研究.实验结果表明,采用纳米粒子单层膜作为掩模,通过控制反应离子刻蚀条件可以实现纳米级(小于50nm)的纳米点阵和纳米柱的刻蚀. 展开更多
关键词 LB膜 纳米粒子 掩模 纳米刻蚀
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肿瘤纳米诊断和治疗技术的研究现状与发展前景 被引量:10
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作者 崔大祥 《中国肿瘤生物治疗杂志》 CAS CSCD 2008年第5期401-405,共5页
具有独特性能的纳米材料为肿瘤早期诊断和治疗带来了新机遇,展示出诱人的前景。近年来,基于纳米粒子的早期肿瘤标志物体外检测技术、活体动态多模式分子影像技术、基于纳米粒子光热转换效应的纳米显像治疗一体化技术、纳米缓释药物、纳... 具有独特性能的纳米材料为肿瘤早期诊断和治疗带来了新机遇,展示出诱人的前景。近年来,基于纳米粒子的早期肿瘤标志物体外检测技术、活体动态多模式分子影像技术、基于纳米粒子光热转换效应的纳米显像治疗一体化技术、纳米缓释药物、纳米药物递送器件等的研究都已取得重大进展。但是,由于纳米材料对人体长期作用的影响尚不清楚,纳米治疗技术在临床的应用还面临着挑战。本文回顾肿瘤纳米诊断和治疗领域的主要研究进展,并展望该领域的发展前景,旨在推动我国肿瘤纳米诊断和治疗技术的快速发展。 展开更多
关键词 肿瘤 纳米材料 纳米技术 纳米诊断 纳米治疗
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MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展 被引量:5
7
作者 陶凯 丁桂甫 +4 位作者 杨卓青 王佩红 吴义伯 汪红 王艳 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第5期1-4,7,共5页
概述了永磁材料在微机电系统(MEMS)中集成制造方法的研究进展,总结了当前用于制造永磁薄膜的电沉积、溅射、脉冲激光沉积(PLD)和粘结磁体微图形化等4种主要加工技术的优缺点和研究现状,并对未来的发展方向提出了一些观点。
关键词 微机电系统 永磁材料 永磁薄膜 微细加工
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碳纳米管气体传感器研究进展 被引量:16
8
作者 程应武 杨志 +3 位作者 魏浩 王艳艳 魏良明 张亚非 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2010年第12期3127-3142,共16页
碳纳米管具有一维纳米结构、高表面吸附能力、良好的导电性和电子弹道传输特性等优异的力学、电学、物理和化学性能,成为制作纳米气体传感器的理想材料之一.近年来,各国研究者广泛开展了碳纳米管气体传感器的研究工作,并取得了许多显著... 碳纳米管具有一维纳米结构、高表面吸附能力、良好的导电性和电子弹道传输特性等优异的力学、电学、物理和化学性能,成为制作纳米气体传感器的理想材料之一.近年来,各国研究者广泛开展了碳纳米管气体传感器的研究工作,并取得了许多显著成果.研究结果表明,碳纳米管气体传感器具有灵敏度高、响应速度快、尺寸小、能耗低和室温下工作等诸多特点.本文结合本研究小组近年来在碳纳米管气体传感器领域所做的大量研究工作,从环境监测、医学检测和国防军事等方面,对碳纳米管气体传感器取得的研究进展进行了综述,同时也阐述和分析了碳纳米管气体传感器的工作原理和制作过程.尽管面临诸多挑战,随着研究的不断深入,碳纳米管气体传感器仍有可能凭借其独特的性能优势成为当前商业应用气体传感器的有力竞争者. 展开更多
关键词 碳纳米管 气体传感器 环境监测 医学检测 国防军事
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基于LIGA技术的3K-2型微行星齿轮减速器的设计和制造 被引量:7
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作者 张卫平 陈文元 +3 位作者 陈迪 吴校生 陈晓梅 徐正福 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期374-376,共3页
使用同步辐射光和 X射线掩模板的 L IGA技术能够制造大深宽比的三维微结构。详细讨论了基于该技术的微行星齿轮减速器的设计和制造 ,包括微行星齿轮减速器的设计、微齿轮 X射线掩模板的 CAD技术、X射线深层光刻、微齿轮的微电铸和微复... 使用同步辐射光和 X射线掩模板的 L IGA技术能够制造大深宽比的三维微结构。详细讨论了基于该技术的微行星齿轮减速器的设计和制造 ,包括微行星齿轮减速器的设计、微齿轮 X射线掩模板的 CAD技术、X射线深层光刻、微齿轮的微电铸和微复制 ,以及微行星齿轮减速器的微装配。目前已经得到了金属镍的厚度为 40 0μm的太阳轮、行星轮 ,厚度为 2 0 0μm的固定内齿轮、旋转内齿轮 ,其齿数分别为 1 5、1 1、3 6、3 9。用这些微齿轮装配成了一台模数为 0 .0 3 mm、减速比为 44.2、最大外径为 2 mm的微行星齿轮减速器 ,并将其成功地应用在直径为 2 mm的电磁型微马达上。 展开更多
关键词 设计 制造 3K-2型微行星齿轮减速器 微齿轮 LIGA 电磁型微马达
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悬浮转子式微机械陀螺仪的研究进展 被引量:10
10
作者 崔峰 陈文元 +1 位作者 苏宇锋 吴校生 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2005年第3期243-246,253,共5页
介绍了一种不同于振动式微机械陀螺仪的新型微机电系统陀螺-悬浮转子式微机械陀螺仪,并就国内外关于磁悬浮转子微陀螺和静电悬浮转子微陀螺研究的各种结构及其工作原理、工艺和性能特点进行了概述,以展示这一新颖微陀螺的研究现状和发... 介绍了一种不同于振动式微机械陀螺仪的新型微机电系统陀螺-悬浮转子式微机械陀螺仪,并就国内外关于磁悬浮转子微陀螺和静电悬浮转子微陀螺研究的各种结构及其工作原理、工艺和性能特点进行了概述,以展示这一新颖微陀螺的研究现状和发展趋势。 展开更多
关键词 微机电系统 微机械陀螺 磁悬浮 静电悬浮 转子
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超微型电动机实用化的关键技术及应用前景 被引量:11
11
作者 张琛 赵小林 +1 位作者 杨春生 肖永利 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期430-432,共3页
电磁型超微型电动机是微机电系统中的关键部件.论述了直径1~3mm电磁型超微型电动机设计中的若干关键问题,如微型电动机的结构设计、磁路设计,以及微型电动机中的发热、温升和微摩擦问题等.简要地讨论了电磁型微型电动机的应用前景,例... 电磁型超微型电动机是微机电系统中的关键部件.论述了直径1~3mm电磁型超微型电动机设计中的若干关键问题,如微型电动机的结构设计、磁路设计,以及微型电动机中的发热、温升和微摩擦问题等.简要地讨论了电磁型微型电动机的应用前景,例举了它在医学内窥镜、微泵。 展开更多
关键词 电磁型微电动机 微电子机械 超微型电动机
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基于Parylene的柔性微电极阵列微加工工艺研究 被引量:7
12
作者 吴义伯 侯安州 +3 位作者 倪鹤南 徐爱兰 惠春 任秋实 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1018-1020,1036,共4页
基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设计了一... 基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设计了一种基于parylene柔性神经微电极阵列的加工工艺方法,并讨论了在流片过程中的关键问题,如掩膜层的选择、电极的剥离及焊接与封装等。该柔性微电极阵列在用于视觉假体的神经接口方面具有独特的应用优势。 展开更多
关键词 柔性微电极阵列 聚对二甲苯 微加工工艺 神经接口
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柔性衬底MEMS技术制备脑电图干电极阵列研究 被引量:4
13
作者 吴澄 陈迪 +4 位作者 胡锐军 陈景东 陈翔 王晓韡 吕宝粮 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1035-1040,共6页
设计了一种新型的脑电图干电极,主要用于采集脑电信号以进行基于脑电图的警觉度分析,替代传统的湿电极.采用柔性衬底微电子机械系统(MEMS)加工技术,在柔性衬底上制备出具有化学稳定性与生物相容性的微针状干电极阵列.通过铜牺牲层实现... 设计了一种新型的脑电图干电极,主要用于采集脑电信号以进行基于脑电图的警觉度分析,替代传统的湿电极.采用柔性衬底微电子机械系统(MEMS)加工技术,在柔性衬底上制备出具有化学稳定性与生物相容性的微针状干电极阵列.通过铜牺牲层实现干电极微针的悬臂梁结构,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)剥离层实现器件从玻璃基底的完全释放,并经平面电极的多层组装实现了立体电极阵列.实验中干电极以聚酰亚胺作为柔性衬底,其针端及导线部分材料为镍,针端部分表面镀金.采用Neuroscan的脑电信号采集放大器对干电极性能进行了测试,测得阻抗约为10kΩ,其时域和频域信号与传统湿电极基本一致.所制备的干电极成品率高、尺寸小、屏蔽佳、装配简单、可靠性好、机械强度大,符合快速、无痛的脑电信号采集要求. 展开更多
关键词 干电极阵列 柔性衬底 微电子机械系统技术 多层组装 脑电图
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基于行为的自主微小移动机器人智能体系结构研究 被引量:6
14
作者 杨玉君 陈佳品 +1 位作者 程君实 李小海 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2002年第7期29-31,167,共4页
该文提出了一种模拟人类学习与进化过程的机器人智能体系结构,微小机器人利用设计人员事先设计的机器人基本行为,根据实际环境和具体任务要求,采用增强学习方式,通过群体行为进化,自主创建满足任务要求和适应环境的具体动作。克服了设... 该文提出了一种模拟人类学习与进化过程的机器人智能体系结构,微小机器人利用设计人员事先设计的机器人基本行为,根据实际环境和具体任务要求,采用增强学习方式,通过群体行为进化,自主创建满足任务要求和适应环境的具体动作。克服了设计人员在采用基于符号的传统人工智能方法时,由于对外部环境和任务的认识不足而造成的局限性,使机器人的行为动作更适合环境和任务要求。 展开更多
关键词 行为 增强式学习 进化 自主微小移动机器人 智能体系结构
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基于MEMS的压电微能量采集器的电路研究与测试 被引量:7
15
作者 沈修成 方华斌 +1 位作者 王亚军 刘景全 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期692-694,共3页
微能量采集技术是利用某种效应把周围环境中的某种形式的能量转换成电能,为嵌入式系统和无线传感网络中的MEMS器件供能。本文探讨了一种基于MEMS技术的压电型微能量采集器。微能量采集器工作于低频环境,当给其振动激励信号时,它能够把... 微能量采集技术是利用某种效应把周围环境中的某种形式的能量转换成电能,为嵌入式系统和无线传感网络中的MEMS器件供能。本文探讨了一种基于MEMS技术的压电型微能量采集器。微能量采集器工作于低频环境,当给其振动激励信号时,它能够把机械能转换为电能。但是能量采集器直接输出的是交流电压,一般不能直接为器件供能。所以,利用AC-DC电路把交流转换为直流,实现为MEMS器件供能。文中给出了微能量采集器的测试电路,同时给出了测试结果,论证了在低频环境下这种微能量采集器的可行性。 展开更多
关键词 能量采集 MEMS 压电效应 悬臂梁
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基于红外传感器的移动微机器人定位研究 被引量:11
16
作者 毛玲 李振波 +1 位作者 张大伟 陈佳品 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第12期38-41,共4页
综合概率论的思想,采用基于红外传感器的微机器人粒子滤波定位方法在已知环境中实现微机器人的自定位。因微机器人受尺寸效应影响无法安装位置传感器,故采用计步的方法存储机器人的运动信息。观测模型采用适合小尺寸微型机器人的红外测... 综合概率论的思想,采用基于红外传感器的微机器人粒子滤波定位方法在已知环境中实现微机器人的自定位。因微机器人受尺寸效应影响无法安装位置传感器,故采用计步的方法存储机器人的运动信息。观测模型采用适合小尺寸微型机器人的红外测距地图匹配方式。因微机器人的存储能力有限,故采用分块存储地图的方法,便于微机器人快速加载地图而完成地图匹配,从而加速其定位过程。实验验证了微机器人的定位性能。 展开更多
关键词 红外传感器 定位 微机器人
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非接触压电微马达的仿真与实验研究 被引量:3
17
作者 杨斌 刘景全 +2 位作者 陈迪 周广华 蔡炳初 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期165-170,共6页
提出了一种基于四区和八区2种激振方式的新型非接触压电微马达,并进行了振动模态的有限元数值模拟。利用ANSYS有限元软件对定子进行模态分析,并用激光测振仪对四区和八区2 种激振方式下的定子进行位移扫频和振型测试,得出:最优驱动频率... 提出了一种基于四区和八区2种激振方式的新型非接触压电微马达,并进行了振动模态的有限元数值模拟。利用ANSYS有限元软件对定子进行模态分析,并用激光测振仪对四区和八区2 种激振方式下的定子进行位移扫频和振型测试,得出:最优驱动频率分别为34.4 kHz和46.3 kHz,相应的模态分别为B21和B22,二者结果吻合较好。对微马达的输出性能进行了实验研究,结果表明:三叶片和六叶片转子在八区最优模态激振下转子的转速约是四区的2倍。说明了增加定子的分区数不仅改变了定子的最优驱动频率而且能够明显提高转子的转速。而且当A B间相位差从90°调谐到270°时,行波的传播方向发生了改变,从而实现了转子的换向。实验还表明,转子的正反转的转速基本一致。 展开更多
关键词 振动模态 非接触 压电微马达 有限元模拟
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基于MEMS技术的异平面空心金属微针 被引量:4
18
作者 沈修成 刘景全 +2 位作者 王亚军 郭忠元 芮岳峰 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期151-154,共4页
MEMS微针的一个重要应用是透皮给药。文中提出了一种基于MEMS技术的异平面空心金属微针。该微针首先利用硅(100)面刻蚀技术在硅片上刻蚀出深度为330μm的倒四棱锥,然后采用电镀技术电镀出壁厚为50μm的空心金属倒四棱锥。从背面开出微... MEMS微针的一个重要应用是透皮给药。文中提出了一种基于MEMS技术的异平面空心金属微针。该微针首先利用硅(100)面刻蚀技术在硅片上刻蚀出深度为330μm的倒四棱锥,然后采用电镀技术电镀出壁厚为50μm的空心金属倒四棱锥。从背面开出微流道并去除残余硅,就得到了倾斜角度为70.6°的异平面金属空心微针。最后采用ANSYS有限元仿真软件建立微针模型,验证了微针具有足够的强度。 展开更多
关键词 MEMS 微针 电镀 异平面 药物投送
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利用PZT块材制备微型压电悬臂梁采能器的研究 被引量:6
19
作者 郑慈航 唐刚 +4 位作者 刘景全 李以贵 余震 何丹农 杨春生 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第3期418-421,共4页
采用压电陶瓷(PZT)片状块材设计并制作了一种可集成于微机电系统的压电悬臂梁能量采集器。介绍了元件的整体制备流程,包括湿法化学蚀刻、反应离子(RIE)干法蚀刻、UV-LIGA等流片技术。该文利用环氧树脂将PZT紧密粘结在基片上的方法步骤... 采用压电陶瓷(PZT)片状块材设计并制作了一种可集成于微机电系统的压电悬臂梁能量采集器。介绍了元件的整体制备流程,包括湿法化学蚀刻、反应离子(RIE)干法蚀刻、UV-LIGA等流片技术。该文利用环氧树脂将PZT紧密粘结在基片上的方法步骤和工艺参数作了详细描述,最终获得了2 000μm×750μm×500μm(长×底宽×尖宽)的梯形悬臂梁结构,PZT层厚度为16.7μm,并在其自由端装配Ni质量块以降低元件的固有频率。通过自搭建的检测系统测得,该能量采集器在1阶谐振工作状态(824.7 Hz,1g加速度强度)下获得了峰-峰值为1 160 mV的输出电压,是利用PZT薄膜制备的同尺寸采能器的2倍。 展开更多
关键词 压电发电 能量采集 PZT块材 微机电系统
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电沉积纳米锌层的研究 被引量:3
20
作者 曹莹 沈天慧 +1 位作者 姚锦元 丁桂甫 《电化学》 CAS CSCD 2004年第1期107-111,共5页
 采用XRD研究和场发射电镜(FEG_TEM)电沉积锌镀层纳米改性,分别观察并分析纳米镀锌层的结晶形态及其晶粒尺寸,根据镀层极化曲线和中性盐雾试验测定,结果表明,纳米镀锌层的抗腐蚀性能优于其它镀层.
关键词 电沉积 纳米锌层 结晶形态 晶粒尺寸 抗腐蚀性能 家用轿车 表面装饰技术 镀锌钢板
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