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基于微加工工艺的聚苯乙烯微针阵列研制
被引量：
2
1
作者
廖哲勋
李以贵
朱军
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第11期1848-1851,共4页
提出了一种聚苯乙烯(PS)微针阵列的微细加工工艺,即利用紫外线光刻技术在光刻胶上得到与准LIGA(Lithograpie(光刻),Galvanoformung(电铸),Abformung(铸塑))掩膜板图形相似的曝光能量分布图,再利用显影和转写技术获得断面形状与掩膜板图...
提出了一种聚苯乙烯(PS)微针阵列的微细加工工艺,即利用紫外线光刻技术在光刻胶上得到与准LIGA(Lithograpie(光刻),Galvanoformung(电铸),Abformung(铸塑))掩膜板图形相似的曝光能量分布图,再利用显影和转写技术获得断面形状与掩膜板图形相似的PS微针阵列结构.为了解决微针载药的加工问题,通过设计4孔凹槽结构实现空心孔的微细加工,获得了高度为400μm的PS微针阵列.该阵列面积约为22.18cm2,微针数约为6 240根.实验结果显示,新方法加工高质量高密度带凹槽结构实心微针的效果非常好.
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关键词
无痛化注射
微针阵列
UV—LIGA工艺
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职称材料
题名
基于微加工工艺的聚苯乙烯微针阵列研制
被引量：
2
1
作者
廖哲勋
李以贵
朱军
机构
上海交通大学微纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
出处
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第11期1848-1851,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(51035005)
上海市浦江计划项目(09PJ1406200)
文摘
提出了一种聚苯乙烯(PS)微针阵列的微细加工工艺,即利用紫外线光刻技术在光刻胶上得到与准LIGA(Lithograpie(光刻),Galvanoformung(电铸),Abformung(铸塑))掩膜板图形相似的曝光能量分布图,再利用显影和转写技术获得断面形状与掩膜板图形相似的PS微针阵列结构.为了解决微针载药的加工问题,通过设计4孔凹槽结构实现空心孔的微细加工,获得了高度为400μm的PS微针阵列.该阵列面积约为22.18cm2,微针数约为6 240根.实验结果显示,新方法加工高质量高密度带凹槽结构实心微针的效果非常好.
关键词
无痛化注射
微针阵列
UV—LIGA工艺
Keywords
painless injection
micro needles array
ultraviolet lithography （U V-LIG-A） technology
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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作者
出处
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被引量
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1
基于微加工工艺的聚苯乙烯微针阵列研制
廖哲勋
李以贵
朱军
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
2
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