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题名三层微桥法测量金属薄膜力学性能的研究
被引量：1
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作者
周志敏
周勇
曹莹
丁文
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机构
上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与细微技术教育部重点实验室
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出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第6期968-970,974,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(10402023)
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文摘
提出了单层微桥法厚度极限的估算方法,并提出在单层NiFe薄膜微桥法测试基础上,对厚度不适于单层微桥法的Cu薄膜,采用Cu/NiFe/Cu 3层微桥法来测量其力学性能。采用MEMS技术加工了NiFe和Cu/NiFe/Cu微桥,采用纳米压痕仪测量了其载荷-挠度关系,实现了对Cu薄膜力学性能的测量。
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关键词
微桥实验
微机电系统
金属薄膜
力学性能
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Keywords
mierobridge testing
MEMS
metal thin film
mechanical properties
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分类号
TN4
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名微桥试验法评价薄膜力学性能的研究
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作者
周志敏
周勇
丁文
曹莹
陈吉安
杨春生
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机构
上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与细微技术教育部重点实验室
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出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第11期1779-1781,1785,共4页
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基金
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(G1999033103)
国家自然科学基金资助项目(50275096
+3 种基金
10402023)
上海市纳米专项资助项目(0215nm4104
0352nm014)
中国博士后基金资助项目(20040350476)
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文摘
提出了弹性极限和小挠度极限的概念,对微桥在不同长度、厚度以及可能的弹性模量和残余应力范围内的变形行为进行了表征,提出基于弹性、小挠度极限来选择微桥尺度,并确定实验载荷及小挠度范围的方法,解决了微桥样品尺度以及载荷、挠度范围选择的问题。对两组挠度-载荷实验曲线的分析表明了该方法的可行性。
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关键词
微桥试验
力学性能
固态薄膜
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Keywords
microbridge testings
mechanical properties
thin films
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分类号
TM922.15
[电气工程—电力电子与电力传动]
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