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MEMS铂薄膜温度传感器的电阻温度系数研究
被引量：
14
1
作者
侯晓伟
刘莉娜
+2 位作者
吕阳
郑良广
张丛春
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期825-829,共5页
采用MEMS工艺在硅衬底上制备了铂电阻薄膜温度传感器,在500℃、600℃、700℃和800℃四个温度点下对铂电阻样品进行了热处理,对样品在退火前后的电阻值进行了测试和对比分析。对800℃的退火样品的阻温特性进行了多次测量,其在零摄氏度的...
采用MEMS工艺在硅衬底上制备了铂电阻薄膜温度传感器,在500℃、600℃、700℃和800℃四个温度点下对铂电阻样品进行了热处理,对样品在退火前后的电阻值进行了测试和对比分析。对800℃的退火样品的阻温特性进行了多次测量,其在零摄氏度的电阻温度系数可达3150×10^-6/K。另外还对退火后的铂电阻样品阻温特性进行了多次升温降温测试,其升温曲线和降温曲线基本重合,表明退火处理可以明显的改善铂薄膜温度传感器的稳定性和重复性。
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关键词
铂电阻
温度传感器
微机电系统
热处理
电阻温度系数
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职称材料
单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试的系统集成
被引量：
5
2
作者
汪红
汤俊
+2 位作者
刘瑞
陈晖
丁桂甫
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期1204-1211,共8页
为了对微米尺度薄膜材料的力学性能进行测试,开发了一套成本较低的单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试系统。首先,根据有限元模拟优化设计测试样片,使其能够易于夹持、准确对中,以利于应力和应变的测量。接着采用三维非硅UV-LIGA微加工技...
为了对微米尺度薄膜材料的力学性能进行测试,开发了一套成本较低的单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试系统。首先,根据有限元模拟优化设计测试样片,使其能够易于夹持、准确对中,以利于应力和应变的测量。接着采用三维非硅UV-LIGA微加工技术制备了Ni薄膜样片。根据单轴拉伸测试过程和硬件构成,以Visual Basic为平台编译了一套数据采集与分析系统。最后,应用该测试系统完成对电镀Ni薄膜材料性能的测试。实验结果表明,该系统能够精确测试试样应变,精度达到0.01μm,拉伸力精度达到mN级。得到的电镀Ni薄膜材料的杨氏模量约为94.5 GPa,抗拉强度约为1.76 GPa。该系统基本满足微米尺度材料单轴微拉伸力学性能测试的需要。
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关键词
材料力学测试
微机电系统
单轴微拉伸
有限元模拟
UV-LIGA
杨氏模量
镍
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职称材料
题名
MEMS铂薄膜温度传感器的电阻温度系数研究
被引量：
14
1
作者
侯晓伟
刘莉娜
吕阳
郑良广
张丛春
机构
宁波中车时代传感
技术
有限公司
湖南汽车工程职业学院车辆工程学院
上海交通大学
微
纳
科学技术
研究院
薄膜与
微细
加工
技术
教育部
重点
实验室
微米/
纳米
加工
技术
国家
重点
实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期825-829,共5页
基金
国家重点研发计划项目(2016YFB1200401)
宁波市工业重大科技专项攻关项目(2017B10017)。
文摘
采用MEMS工艺在硅衬底上制备了铂电阻薄膜温度传感器,在500℃、600℃、700℃和800℃四个温度点下对铂电阻样品进行了热处理,对样品在退火前后的电阻值进行了测试和对比分析。对800℃的退火样品的阻温特性进行了多次测量,其在零摄氏度的电阻温度系数可达3150×10^-6/K。另外还对退火后的铂电阻样品阻温特性进行了多次升温降温测试,其升温曲线和降温曲线基本重合,表明退火处理可以明显的改善铂薄膜温度传感器的稳定性和重复性。
关键词
铂电阻
温度传感器
微机电系统
热处理
电阻温度系数
Keywords
platinum resistance
temperature sensor
MEMS
heat treatment
temperature coefficient of resistance
分类号
TP212.11 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试的系统集成
被引量：
5
2
作者
汪红
汤俊
刘瑞
陈晖
丁桂甫
机构
上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室微米/纳米加工国家重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期1204-1211,共8页
基金
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2006AA4Z326)
微米/纳米加工国家重点实验室基金资助项目(No.9140C79030302090C79)
文摘
为了对微米尺度薄膜材料的力学性能进行测试,开发了一套成本较低的单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试系统。首先,根据有限元模拟优化设计测试样片,使其能够易于夹持、准确对中,以利于应力和应变的测量。接着采用三维非硅UV-LIGA微加工技术制备了Ni薄膜样片。根据单轴拉伸测试过程和硬件构成,以Visual Basic为平台编译了一套数据采集与分析系统。最后,应用该测试系统完成对电镀Ni薄膜材料性能的测试。实验结果表明,该系统能够精确测试试样应变,精度达到0.01μm,拉伸力精度达到mN级。得到的电镀Ni薄膜材料的杨氏模量约为94.5 GPa,抗拉强度约为1.76 GPa。该系统基本满足微米尺度材料单轴微拉伸力学性能测试的需要。
关键词
材料力学测试
微机电系统
单轴微拉伸
有限元模拟
UV-LIGA
杨氏模量
镍
Keywords
material mechanical test
Micro-electronic-Mechanical system
uniaxial tensile test
Finish Element Method（FEM）
UV-LIGA
Young＇s modulus
nickel
分类号
TB302.3 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MEMS铂薄膜温度传感器的电阻温度系数研究
侯晓伟
刘莉娜
吕阳
郑良广
张丛春
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2020
14
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试的系统集成
汪红
汤俊
刘瑞
陈晖
丁桂甫
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
5
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职称材料
已选择
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引证文献
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