MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展 被引量：5

1

作者 陶凯 丁桂甫 +4 位作者 杨卓青 王佩红 吴义伯 汪红 王艳 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第5期1-4,7,共5页

概述了永磁材料在微机电系统(MEMS)中集成制造方法的研究进展,总结了当前用于制造永磁薄膜的电沉积、溅射、脉冲激光沉积(PLD)和粘结磁体微图形化等4种主要加工技术的优缺点和研究现状,并对未来的发展方向提出了一些观点。

关键词 微机电系统 永磁材料 永磁薄膜 微细加工

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一种非硅微加工技术制作的电热微驱动器 被引量：6

2

作者 张小波 吴义伯 +2 位作者 王亚攀 张丛春 丁桂甫 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第8期118-120,共3页

介绍了一种由非硅微加工技术制作的电热微驱动器。基于双金属效应,采用聚合物SU—8胶和金属镍作为功能材料和结构材料,铜为牺牲层材料制作电热微驱动器。利用ANSYS有限元分析软件进行仿真,模拟驱动位移随加热时间的变化关系,并由此得出... 介绍了一种由非硅微加工技术制作的电热微驱动器。基于双金属效应,采用聚合物SU—8胶和金属镍作为功能材料和结构材料,铜为牺牲层材料制作电热微驱动器。利用ANSYS有限元分析软件进行仿真,模拟驱动位移随加热时间的变化关系,并由此得出驱动力的大小,比较结果后确定结构参数。再通过光刻、掩模电镀和牺牲层刻蚀等工艺,加工制作出了电热微驱动器样品,并对样品进行了观测和分析。 展开更多

关键词 电热微驱动器 聚合物 ANSYS仿真 非硅微加工

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基于UV-LIGA技术的微孔异形喷丝头制备 被引量：3

3

作者 程吉凤 丁桂甫 +2 位作者 姚锦元 汪红 刘瑞 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第3期58-60,共3页

为了实现微孔喷丝头的多元化截面形状,采用紫外(UV)-LIGA技术和激光焊接的方法,初步探索了UV-LIGA技术在制备异形微喷嘴上的应用。应用UV-LIGA技术电铸出不同孔形的喷丝头底板,并采用激光焊接技术实现底板和冲压外框的整体成型。实验结... 为了实现微孔喷丝头的多元化截面形状,采用紫外(UV)-LIGA技术和激光焊接的方法,初步探索了UV-LIGA技术在制备异形微喷嘴上的应用。应用UV-LIGA技术电铸出不同孔形的喷丝头底板,并采用激光焊接技术实现底板和冲压外框的整体成型。实验结果表明:以UV-LIGA技术替代LIGA技术加工的喷丝头微孔侧壁光洁,截面形状多样,孔形均一性好,加工成本低廉。 展开更多

关键词 UV-LIGA 喷丝头 电铸 激光焊接技术

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BST溶胶及其纳米晶铁电薄膜特性研究 被引量：1

4

作者 余慧春 惠春 徐爱兰 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2006年第3期321-324,共4页

考察了在溶胶-凝胶（Sol-Gel）工艺中化学添加剂对钛酸锶钡（BST）溶胶的粒度分布的影响。通过对化学添加剂的优选，制备出具有优异电性能的BST薄膜。X-射线衍射（XRD）表明在Pt／Cr／SiO2／Si衬底上制备的BST薄膜具有完整的钙钛矿结构... 考察了在溶胶-凝胶（Sol-Gel）工艺中化学添加剂对钛酸锶钡（BST）溶胶的粒度分布的影响。通过对化学添加剂的优选，制备出具有优异电性能的BST薄膜。X-射线衍射（XRD）表明在Pt／Cr／SiO2／Si衬底上制备的BST薄膜具有完整的钙钛矿结构，AFM表面形貌显示BST薄膜表面致密、平整、无裂纹，平均晶粒尺寸约50nm。漏电流测试表明BST薄膜在0～9V的外加偏压下始终保持着较低的漏电流，在外加偏压为8．8V时，漏电流密度为2．9×10^-6A／cm^2。 展开更多

关键词 溶胶-凝胶(Sol-Gel)工艺 钛酸锶钡(BST)薄膜 粒度分布 漏电流 铁电体

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阳极氧化法制备氧化铝纳米线薄膜及其生成机理研究 被引量：2

5

作者 杨卉 王庆康 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2006年第z2期294-296,300,共4页

研究了一种简单新颖的制备氧化铝纳米线薄膜的电化学方法。以阳极氧化法在高纯铝片表面制备多孔阳极氧化铝(AAO)的工艺为基础,在草酸电解液中将AAO孔壁溶解形成氧化铝纳米线,均匀覆盖在AAO有序孔道的上方,得到一种特殊结构的纳米线薄膜... 研究了一种简单新颖的制备氧化铝纳米线薄膜的电化学方法。以阳极氧化法在高纯铝片表面制备多孔阳极氧化铝(AAO)的工艺为基础,在草酸电解液中将AAO孔壁溶解形成氧化铝纳米线,均匀覆盖在AAO有序孔道的上方,得到一种特殊结构的纳米线薄膜。对实验产物纳米线的形貌、结构及成分进行了表征分析,并探讨了氧化铝纳米线薄膜的生成机理。 展开更多

关键词 阳极氧化铝 纳米线 薄膜

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Al_2O_3纳米线薄膜的制备及其生成机理研究

6

作者 杨卉 王庆康 《电镀与精饰》 CAS 2007年第5期1-5,共5页

研究了一种简单新颖的制备Al2O3纳米线薄膜的电化学方法。以阳极氧化法在高纯铝片表面制备多孔阳极氧化铝的工艺为基础,在草酸电解液中通过一次阳极氧化过程,将阳极氧化铝孔壁溶解形成Al2O3纳米线,均匀覆盖在阳极氧化铝有序孔道的上方,... 研究了一种简单新颖的制备Al2O3纳米线薄膜的电化学方法。以阳极氧化法在高纯铝片表面制备多孔阳极氧化铝的工艺为基础,在草酸电解液中通过一次阳极氧化过程,将阳极氧化铝孔壁溶解形成Al2O3纳米线,均匀覆盖在阳极氧化铝有序孔道的上方,得到一种特殊结构的纳米线薄膜。使用扫描电镜、高分辨透射电镜和X-射线能谱仪对纳米线的形貌、结构及成分进行了表征分析。并结合扫描电镜对不同反应时间长度的产物形貌来观察纳米线的生成过程。探讨了Al2O3纳米线薄膜的生成机理。 展开更多

关键词 阳极氧化 Al2O3纳米线 薄膜

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MEMS微器件用CoNiMnP永磁体薄膜的工艺制备和性能研究 被引量：2

7

作者 汪红 丁桂甫 +3 位作者 戴旭涵 苏宇锋 张永华 王志民 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1719-1722,共4页

研究了采用多种氯化物体系电沉积制备CoNiMnP永磁体薄膜及在微继电器、电磁驱动器永磁体阵列器件方面的应用。对薄膜组成、磁性能的对比研究表明：从稀氯化物体系(200mT)中获得的Co_(82．4) Ni_(11．9)Mn_(0．4)P_(5．3)永磁体薄膜具有... 研究了采用多种氯化物体系电沉积制备CoNiMnP永磁体薄膜及在微继电器、电磁驱动器永磁体阵列器件方面的应用。对薄膜组成、磁性能的对比研究表明：从稀氯化物体系(200mT)中获得的Co_(82．4) Ni_(11．9)Mn_(0．4)P_(5．3)永磁体薄膜具有最好的磁性能：H_c= 208790A/m,B_r=0．2T,(BH)_(max)=10．15kJ/m^3,且脆性小、内应力较低。进一步解析发现这可能是因为与易磁化轴相平行的Co(110)面上存在织构所致。在此基础上采用掩膜电沉积技术成功地制备出微继电器原位制造和电磁驱动器永磁体薄膜阵列。 展开更多

关键词 MEMS器件 CoNiMnP永磁体薄膜 磁性能 掩膜电沉积

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碳纳米管修饰电极的制备及其电化学敏感性研究 被引量：3

8

作者 陆闻静 丁桂甫 +2 位作者 王艳 邓敏 周镇威 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第5期75-78,共4页

介绍了一种碳纳米管修饰电极的制备工艺,并对其电化学敏感性进行测试和分析。该工艺辅助聚合物聚酰亚胺,利用机械球磨、可控刻蚀等工艺,实现了碳纳米管的均一分布,露出碳纳米管的断口和缺陷。在玻碳电极上涂覆碳纳米管/聚酰亚胺复合膜,... 介绍了一种碳纳米管修饰电极的制备工艺,并对其电化学敏感性进行测试和分析。该工艺辅助聚合物聚酰亚胺,利用机械球磨、可控刻蚀等工艺,实现了碳纳米管的均一分布,露出碳纳米管的断口和缺陷。在玻碳电极上涂覆碳纳米管/聚酰亚胺复合膜,结合扫描电子显微镜观察,得到了可控、均一、稳定的电极界面。利用循环伏安法对电极进行性能测试,讨论了工艺对性能的影响,结果表明:该电极对溶液中的微量物质敏感,并且对电化学反应有催化和促进作用。 展开更多

关键词 碳纳米管 修饰电极 循环伏安法

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纳米尺度压电薄膜PZT的结构特征和性能 被引量：1

9

作者 李敏 惠春 +2 位作者 徐爱兰 汪静 孙建平 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2007年第1期68-70,共3页

采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)方法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备锆钛酸铅(PZT)纳米晶薄膜,研究了不同的热处理方式对PZT薄膜的晶粒结构、尺寸及电学性能的影响。X-射线衍射(XRD)分析表明:传统的热处理方式更有利于得到具有一定择优取向性... 采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)方法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备锆钛酸铅(PZT)纳米晶薄膜,研究了不同的热处理方式对PZT薄膜的晶粒结构、尺寸及电学性能的影响。X-射线衍射(XRD)分析表明:传统的热处理方式更有利于得到具有一定择优取向性的PZT薄膜。原子力显微镜(AFM)显示:快速热处理方式使PZT薄膜的晶粒具有自形晶结构,晶粒的排布更为有序,从而改善了薄膜的致密性。阻抗分析仪的测试结果表明:经快速热处理的薄膜,漏电流大约比传统热处理处理的薄膜的漏电流降低了20倍左右。 展开更多

关键词 PZT薄膜 传统热处理 快速热处理

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NiCr薄膜微加热器在低温环境下的电学特性研究

10

作者 吴婷婷 刘景全 +3 位作者 江水东 徐斌 郭杰 杨斌 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第9期38-41,共4页

设计了一种适用于深低温环境的微型加热器。使用AC磁控溅射技术将NiCr(80/20 at.%)合金沉积到SiO2/Si基底上,并采用微加工工艺实现薄膜图形化,作为加热器的加热元件。研究了NiCr薄膜的电学性能和晶体结构与退火条件之间的关系。实验表明... 设计了一种适用于深低温环境的微型加热器。使用AC磁控溅射技术将NiCr(80/20 at.%)合金沉积到SiO2/Si基底上,并采用微加工工艺实现薄膜图形化,作为加热器的加热元件。研究了NiCr薄膜的电学性能和晶体结构与退火条件之间的关系。实验表明:在450℃氮气环境下退火30min,可以获得深低温性能优良的NiCr加热器。该加热器在20K时的电阻温度系数(TCR)为80.80×10-6/K。X射线衍射(XRD)分析显示NiCr薄膜在450℃氮气环境下退火后,薄膜的结晶度增大,因此,退火条件对薄膜的电阻率和电阻温度系数有较大的影响。 展开更多

关键词 微型加热器 MEMS 镍铬合金 深低温 退火处理

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单分散Fe_3O_4纳米粒子的合成、表征及其自组装 被引量：20

11

作者 窦永华 张玲 古宏晨 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期119-122,共4页

采用高温有机前驱体分解法,以Fe(acac)3为前驱体制备出单分散性较好的Fe3O4纳米粒子,粒径为(6.4±0.90)nm。利用TEM、XRD、HPPS、FTIR等手段对粒子的形貌及性质进行了研究,证实得到的是Fe3O4单晶,粒子表层的铁原子通过共价键和油酸... 采用高温有机前驱体分解法,以Fe(acac)3为前驱体制备出单分散性较好的Fe3O4纳米粒子,粒径为(6.4±0.90)nm。利用TEM、XRD、HPPS、FTIR等手段对粒子的形貌及性质进行了研究,证实得到的是Fe3O4单晶,粒子表层的铁原子通过共价键和油酸分子中—COO的两个氧原子结合在一起。通过对自组装过程的初步研究表明随磁性纳米粒子浓度的增加,粒子排布逐渐由零星的无规排列变为规整的单层和多层有序结构。 展开更多

关键词 FE3O4纳米粒子 自组装 单分散 表面修饰

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基于金刚石薄膜的微间隙室制备 被引量：2

12

作者 王芸 龙沪强 +4 位作者 侯中宇 徐东 谢宽仲 蔡炳初 卞建江 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2006年第6期692-695,共4页

采用金刚石薄膜作为阴-阳极间绝缘介质层是一种新型的微间隙室（MGC）结构。该文详细介绍和讨论了采用常规的微细加工工艺制备基于金刚石薄膜介质层的MGC的制备技术，其典型结构为阳极微条宽20μm，微条间隔180μm，器件探测区面积为38m... 采用金刚石薄膜作为阴-阳极间绝缘介质层是一种新型的微间隙室（MGC）结构。该文详细介绍和讨论了采用常规的微细加工工艺制备基于金刚石薄膜介质层的MGC的制备技术，其典型结构为阳极微条宽20μm，微条间隔180μm，器件探测区面积为38mm×34mm。采用热丝CVD法制备的金刚石薄膜作为阴-阳极间绝缘介质层，厚7～8μm，具有（100）晶面结构。金刚石的刻蚀采用反应离子刻蚀，Cr作掩膜，O2和SF6为刻蚀气体，刻蚀速率为79nm／min，与Cr的刻蚀比约为20：1。实验结果表明，采用的微加工结合自套准工艺可很好地解决金刚石薄膜的制备、图形化及金属阳极电极与金刚石薄膜的相互套准等金刚石薄膜的可加工性及兼容性问题，并制备出采用金刚石薄膜作为电极间绝缘介质层的新型MGC结构。 展开更多

关键词 微间隙室 金刚石薄膜 反应离子刻蚀 热丝CVD

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LaNiO_3缓冲层对Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3薄膜微结构和介电性能的影响

13

作者 石金川 张丛春 +2 位作者 侯捷 杨春生 饶瑞 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期393-396,共4页

利用射频磁控溅射法,在Pt/Ti/SiO2/Si和LaNiO3/Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜.采用X-ray衍射（XRD）和原子力显微镜（AFM）,研究了两种衬底上BST薄膜样品的结晶性和表面形貌.结果表明：BST薄膜材料均为钙钛矿相,直接生... 利用射频磁控溅射法,在Pt/Ti/SiO2/Si和LaNiO3/Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜.采用X-ray衍射（XRD）和原子力显微镜（AFM）,研究了两种衬底上BST薄膜样品的结晶性和表面形貌.结果表明：BST薄膜材料均为钙钛矿相,直接生长在硅衬底上的BST薄膜无择优取向,晶粒尺寸为20-30 nm,而LaNiO3缓冲层上生长的BST薄膜则为（100）择优取向,晶粒尺寸约为150-200 nm.室温下测试了薄膜的介电性能.研究结果表明,LNO缓冲层显著提高了BST薄膜的介电常数和介电可调率. 展开更多

关键词 钛酸锶钡薄膜 镍酸镧缓冲层 射频磁控溅射 介电性能

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高分辨X射线成像器件——微间隙室(MGC)的研究

14

作者 龙沪强 王芸 +2 位作者 徐东 谢宽仲 卞建江 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期57-61,共5页

详细讨论了微间隙室的基本结构、特性及其主要研究内容;并在此基础上,探讨了微间隙室采用金刚石薄膜作为阳极电极微条和阴极电极微条之间的极间绝缘材料的可能性和有效性。为在第三代同步光源上实现具有良好时间和空间分辨的成像实验或... 详细讨论了微间隙室的基本结构、特性及其主要研究内容;并在此基础上,探讨了微间隙室采用金刚石薄膜作为阳极电极微条和阴极电极微条之间的极间绝缘材料的可能性和有效性。为在第三代同步光源上实现具有良好时间和空间分辨的成像实验或衍射实验,提供了一种潜在的辐射成像探测器。 展开更多

关键词 辐射成像探测器 同步光源 微间歇室 金刚石薄膜

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CIGS太阳能电池中薄膜材料电阻率的研究 被引量：2

15

作者 钱群 张丛春 +1 位作者 杨春生 丁桂甫 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第4期22-24,共3页

研究了减小CIGS太阳能电池中Mo,CIGS,n-ZnO三层薄膜电阻率的溅射工艺方法,以达到减小电池串联电阻的目的。改变工艺参数制备不同样品并对其进行测试分析,得到了溅射气压、衬底温度、退火工艺对电阻率和薄膜微观形貌的影响。证明了采用... 研究了减小CIGS太阳能电池中Mo,CIGS,n-ZnO三层薄膜电阻率的溅射工艺方法,以达到减小电池串联电阻的目的。改变工艺参数制备不同样品并对其进行测试分析,得到了溅射气压、衬底温度、退火工艺对电阻率和薄膜微观形貌的影响。证明了采用双层溅射法制备的Mo、低气压、衬底加热、溅射后退火得到的CIGS以及3～5 Pa下制备的n-ZnO都有较好的薄膜质量和较低的电阻率。 展开更多

关键词 太阳能电池 CIGS 溅射 电阻率

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Evanohm合金的双环线型微加热器特性研究

16

作者 仲逸飞 刘景全 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第1期7-9,14,共4页

以Evanohm合金为材料,设计了一种双环线型微加热器。使用AC磁控溅射技术在硅基底上沉积合金薄膜,并采用微机电系统(MEMS)微加工工艺实现薄膜图形化,以此作为加热器的加热元件。在常温下,研究了所制备的薄膜加热器件的加热性能与电学特性... 以Evanohm合金为材料,设计了一种双环线型微加热器。使用AC磁控溅射技术在硅基底上沉积合金薄膜,并采用微机电系统(MEMS)微加工工艺实现薄膜图形化,以此作为加热器的加热元件。在常温下,研究了所制备的薄膜加热器件的加热性能与电学特性,并在深低温下进一步测试了其电学性能。研究结果表明:此种微型加热器电阻值稳定。在[5,300]K的温度区间内,加热器的电阻值变化不超过2%;在40 K的温度,电阻值达到Kondo最小值;在[35,55]K的温度区间,温度系数降至8.9×10^(-6) K^(-1)。器件可在较宽低温区保持良好的电阻值稳定性,具有在低温环境中应用的潜力。 展开更多

关键词 微型加热器 微机电系统 Evanohm合金 低温

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细乳液法合成单核核壳结构氧化硅/聚苯乙烯复合微球 被引量：7

17

作者 强伟丽 王祎龙 +2 位作者 贺枰 徐宏 古宏晨 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期272-275,共4页

采用细乳液聚合法,以3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(KH570)表面改性的直径50nm的氧化硅粒子为核,在乳化剂、助乳化剂、引发剂存在的情况下制备了小粒径、单核核壳结构氧化硅/聚苯乙烯纳米复合微球。研究表明,苯乙烯的浓度、超声细... 采用细乳液聚合法,以3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(KH570)表面改性的直径50nm的氧化硅粒子为核,在乳化剂、助乳化剂、引发剂存在的情况下制备了小粒径、单核核壳结构氧化硅/聚苯乙烯纳米复合微球。研究表明,苯乙烯的浓度、超声细乳化时间,是制备这种小粒径、单分散、单核核壳结构的氧化硅/聚苯乙烯纳米复合微球的关键因素。透射电镜(TEM)的观察显示,在优化的实验条件下,可以制得平均粒径95nm,壳厚20nm,粒径均一、球形规整度较好、单核核壳结构的氧化硅/聚苯乙烯纳米复合微球。其平均粒径远低于用其它聚合方法制备的复合微球。 展开更多

关键词 细乳液聚合 单核核壳结构 纳米复合微球 氧化硅

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MEMS器件气密性封装的低温共晶键合工艺研究 被引量：8

18

作者 张东梅 丁桂甫 +2 位作者 汪红 姜政 姚锦元 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第1期82-84,共3页

介绍了一种采用Pb-Sn共晶合金作为中间层的键合封装技术,通过电镀的方法在芯片与基片上形成Cr/N i/Cu/Pb-Sn多金属层,在温度为190℃、压强为150 Pa的真空中进行键合,键合过程不需使用助焊剂,避免了助焊剂对微器件的污染。试验表明:这种... 介绍了一种采用Pb-Sn共晶合金作为中间层的键合封装技术,通过电镀的方法在芯片与基片上形成Cr/N i/Cu/Pb-Sn多金属层,在温度为190℃、压强为150 Pa的真空中进行键合,键合过程不需使用助焊剂,避免了助焊剂对微器件的污染。试验表明:这种键合工艺具有较好的气密性,键合区合金分布均匀、无缝隙、气泡等脱焊区,键合强度较高,能够满足电子元器件和微机电系统(MEMS)可动部件低温气密性封装的要求。 展开更多

关键词 微机电系统 气密性封装 共晶键合 低温封装

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新型水基磁流体的制备及其生物磁热效应研究 被引量：12

19

作者 童乃虎 徐宏 古宏晨 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期555-558,共4页

以化学共沉淀法合成出Fe3O4纳米超顺磁性颗粒,并首次采用泛酸(D-pantothenic acid)对粒子进行表面化学修饰,制备出稳定分散在水中的水基磁流体。通过TEM对磁流体表征显示,随着纳米Fe3O4颗粒表面改性泛酸分子的增加,磁流体分散状况显著... 以化学共沉淀法合成出Fe3O4纳米超顺磁性颗粒,并首次采用泛酸(D-pantothenic acid)对粒子进行表面化学修饰,制备出稳定分散在水中的水基磁流体。通过TEM对磁流体表征显示,随着纳米Fe3O4颗粒表面改性泛酸分子的增加,磁流体分散状况显著改善。FT-IR光谱表明泛酸分子与纳米Fe3O4表面羟基发生化学键合;并分别用XRD、TG对水基磁流体进行表征,同时对其在交变磁场中的热效应进行了研究,产热比功率高达146.64W/g,在肿瘤磁热疗方面具有较大应用前景。 展开更多

关键词 纳米FE3O4 泛酸 表面修饰 磁流体 热效应

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扑翼微飞行器飞行时的数值模拟与分析(英文) 被引量：4

20

作者 左德参 彭松林 +1 位作者 张卫平 陈文元 《空气动力学学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第1期125-131,136,共8页

采用数值方法求解三维非定常不可压缩的N-S方程,生成了相应的扑翼微飞行器的三维动网格;模拟了扑翼微飞行器在不同频率、不同攻角、不同振幅、不同飞行速度、不同的翅膀初始位置下的非稳态流场;计算了扑翼微飞行器在不同运动模态下的升... 采用数值方法求解三维非定常不可压缩的N-S方程,生成了相应的扑翼微飞行器的三维动网格;模拟了扑翼微飞行器在不同频率、不同攻角、不同振幅、不同飞行速度、不同的翅膀初始位置下的非稳态流场;计算了扑翼微飞行器在不同运动模态下的升阻力系数;分析了影响扑翼微飞行器空气动力学的特性的不同因素;为扑翼微飞行器的飞行机制和建造提供了理论依据。 展开更多

关键词 数值模拟 扑翼微飞行器 动网格 低雷诺数

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