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MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展 被引量：5
1
作者 陶凯 丁桂甫 +4 位作者 杨卓青 王佩红 吴义伯 汪红 王艳 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第5期1-4,7,共5页
概述了永磁材料在微机电系统(MEMS)中集成制造方法的研究进展,总结了当前用于制造永磁薄膜的电沉积、溅射、脉冲激光沉积(PLD)和粘结磁体微图形化等4种主要加工技术的优缺点和研究现状,并对未来的发展方向提出了一些观点。
关键词 微机电系统 永磁材料 永磁薄膜 微细加工
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一种非硅微加工技术制作的电热微驱动器 被引量：6
2
作者 张小波 吴义伯 +2 位作者 王亚攀 张丛春 丁桂甫 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第8期118-120,共3页
介绍了一种由非硅微加工技术制作的电热微驱动器。基于双金属效应,采用聚合物SU—8胶和金属镍作为功能材料和结构材料,铜为牺牲层材料制作电热微驱动器。利用ANSYS有限元分析软件进行仿真,模拟驱动位移随加热时间的变化关系,并由此得出... 介绍了一种由非硅微加工技术制作的电热微驱动器。基于双金属效应,采用聚合物SU—8胶和金属镍作为功能材料和结构材料,铜为牺牲层材料制作电热微驱动器。利用ANSYS有限元分析软件进行仿真,模拟驱动位移随加热时间的变化关系,并由此得出驱动力的大小,比较结果后确定结构参数。再通过光刻、掩模电镀和牺牲层刻蚀等工艺,加工制作出了电热微驱动器样品,并对样品进行了观测和分析。 展开更多
关键词 电热微驱动器 聚合物 ANSYS仿真 非硅微加工
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基于Parylene的柔性微电极阵列微加工工艺研究 被引量：8
3
作者 吴义伯 侯安州 +3 位作者 倪鹤南 徐爱兰 惠春 任秋实 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1018-1020,1036,共4页
基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设计了一... 基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设计了一种基于parylene柔性神经微电极阵列的加工工艺方法,并讨论了在流片过程中的关键问题,如掩膜层的选择、电极的剥离及焊接与封装等。该柔性微电极阵列在用于视觉假体的神经接口方面具有独特的应用优势。 展开更多
关键词 柔性微电极阵列 聚对二甲苯 微加工工艺 神经接口
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基于纳米晶PZT/石英的压电生物质量传感器研究 被引量：3
4
作者 侯安州 惠春 +2 位作者 徐爱兰 张艳丽 倪鹤南 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第7期9-11,共3页
制作了一种新型的基于纳米晶PZT／石英的压电生物质量传感器。采用了溶胶-凝胶法在石英晶体表面制备了纳米晶PZT薄膜，形成PZrr／石英结构的敏感单元。研究了纳米晶PZT在石英基体上的微观结构、表面形貌；探讨了纳米晶PZT／石英作为敏... 制作了一种新型的基于纳米晶PZT／石英的压电生物质量传感器。采用了溶胶-凝胶法在石英晶体表面制备了纳米晶PZT薄膜，形成PZrr／石英结构的敏感单元。研究了纳米晶PZT在石英基体上的微观结构、表面形貌；探讨了纳米晶PZT／石英作为敏感单元在细胞检测中的作用。实验结果表明：PZT薄膜的晶粒大小为20-30nm，沿〈101）晶向择优生长，并且，薄膜表面平整，结构致密。纳米晶PZT／石英结构的敏感单元使生物细胞传感器的灵敏度得到了提高。 展开更多
关键词 纳米晶 压电陶瓷 生物传感器 灵敏度
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纳米晶PZT薄膜体声波谐振器的研究 被引量：3
5
作者 倪鹤南 侯安州 +2 位作者 李敏 徐爱兰 惠春 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2009年第2期149-151,共3页
采用改进的溶胶-凝胶（Sol—Gel）法，在Si基Pt电极上沉积了PZT压电薄膜，并研制了以SiO2为声反射层的体声波谐振器。用Ⅺ射线衍射、电镜扫描及原子力显微镜测试表明，PZT薄膜具有（110）择优取向，良好的短柱状自行晶结构及平滑的表面... 采用改进的溶胶-凝胶（Sol—Gel）法，在Si基Pt电极上沉积了PZT压电薄膜，并研制了以SiO2为声反射层的体声波谐振器。用Ⅺ射线衍射、电镜扫描及原子力显微镜测试表明，PZT薄膜具有（110）择优取向，良好的短柱状自行晶结构及平滑的表面，晶粒平均尺寸为50～60nm。介电性能测试结果表明，介电常数保持约800，损耗角为0．02。用网络分析仪测试体声波谐振器得到较好的频率特性，即串、并联谐振频率分别为2．91GHz和3．01GHz，机电耦合系数为8．18％。在敏感元电极上加载1μL浓度为0．2μg／pL的磁性微球溶液，谐振频率降低了0．09GHz。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶(Sol—Gel) 薄膜体声波谐振器 纳米晶PZT薄膜
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碳纳米管修饰电极的制备及其电化学敏感性研究 被引量：3
6
作者 陆闻静 丁桂甫 +2 位作者 王艳 邓敏 周镇威 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第5期75-78,共4页
介绍了一种碳纳米管修饰电极的制备工艺,并对其电化学敏感性进行测试和分析。该工艺辅助聚合物聚酰亚胺,利用机械球磨、可控刻蚀等工艺,实现了碳纳米管的均一分布,露出碳纳米管的断口和缺陷。在玻碳电极上涂覆碳纳米管/聚酰亚胺复合膜,... 介绍了一种碳纳米管修饰电极的制备工艺,并对其电化学敏感性进行测试和分析。该工艺辅助聚合物聚酰亚胺,利用机械球磨、可控刻蚀等工艺,实现了碳纳米管的均一分布,露出碳纳米管的断口和缺陷。在玻碳电极上涂覆碳纳米管/聚酰亚胺复合膜,结合扫描电子显微镜观察,得到了可控、均一、稳定的电极界面。利用循环伏安法对电极进行性能测试,讨论了工艺对性能的影响,结果表明:该电极对溶液中的微量物质敏感,并且对电化学反应有催化和促进作用。 展开更多
关键词 碳纳米管 修饰电极 循环伏安法
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基于UV-LIGA技术的微孔异形喷丝头制备 被引量：3
7
作者 程吉凤 丁桂甫 +2 位作者 姚锦元 汪红 刘瑞 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第3期58-60,共3页
为了实现微孔喷丝头的多元化截面形状,采用紫外(UV)-LIGA技术和激光焊接的方法,初步探索了UV-LIGA技术在制备异形微喷嘴上的应用。应用UV-LIGA技术电铸出不同孔形的喷丝头底板,并采用激光焊接技术实现底板和冲压外框的整体成型。实验结... 为了实现微孔喷丝头的多元化截面形状,采用紫外(UV)-LIGA技术和激光焊接的方法,初步探索了UV-LIGA技术在制备异形微喷嘴上的应用。应用UV-LIGA技术电铸出不同孔形的喷丝头底板,并采用激光焊接技术实现底板和冲压外框的整体成型。实验结果表明:以UV-LIGA技术替代LIGA技术加工的喷丝头微孔侧壁光洁,截面形状多样,孔形均一性好,加工成本低廉。 展开更多
关键词 UV-LIGA 喷丝头 电铸 激光焊接技术
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BST溶胶及其纳米晶铁电薄膜特性研究 被引量：1
8
作者 余慧春 惠春 徐爱兰 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2006年第3期321-324,共4页
考察了在溶胶-凝胶（Sol-Gel）工艺中化学添加剂对钛酸锶钡（BST）溶胶的粒度分布的影响。通过对化学添加剂的优选，制备出具有优异电性能的BST薄膜。X-射线衍射（XRD）表明在Pt／Cr／SiO2／Si衬底上制备的BST薄膜具有完整的钙钛矿结构... 考察了在溶胶-凝胶（Sol-Gel）工艺中化学添加剂对钛酸锶钡（BST）溶胶的粒度分布的影响。通过对化学添加剂的优选，制备出具有优异电性能的BST薄膜。X-射线衍射（XRD）表明在Pt／Cr／SiO2／Si衬底上制备的BST薄膜具有完整的钙钛矿结构，AFM表面形貌显示BST薄膜表面致密、平整、无裂纹，平均晶粒尺寸约50nm。漏电流测试表明BST薄膜在0～9V的外加偏压下始终保持着较低的漏电流，在外加偏压为8．8V时，漏电流密度为2．9×10^-6A／cm^2。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶(Sol-Gel)工艺 钛酸锶钡(BST)薄膜 粒度分布 漏电流 铁电体
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阳极氧化法制备氧化铝纳米线薄膜及其生成机理研究 被引量：2
9
作者 杨卉 王庆康 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2006年第z2期294-296,300,共4页
研究了一种简单新颖的制备氧化铝纳米线薄膜的电化学方法。以阳极氧化法在高纯铝片表面制备多孔阳极氧化铝(AAO)的工艺为基础,在草酸电解液中将AAO孔壁溶解形成氧化铝纳米线,均匀覆盖在AAO有序孔道的上方,得到一种特殊结构的纳米线薄膜... 研究了一种简单新颖的制备氧化铝纳米线薄膜的电化学方法。以阳极氧化法在高纯铝片表面制备多孔阳极氧化铝(AAO)的工艺为基础,在草酸电解液中将AAO孔壁溶解形成氧化铝纳米线,均匀覆盖在AAO有序孔道的上方,得到一种特殊结构的纳米线薄膜。对实验产物纳米线的形貌、结构及成分进行了表征分析,并探讨了氧化铝纳米线薄膜的生成机理。 展开更多
关键词 阳极氧化铝 纳米线 薄膜
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基于MEMS技术的共面耦合式圆极化微带天线的设计与仿真
10
作者 陈伟强 丁桂甫 黎滨洪 《微波学报》 CSCD 北大核心 2008年第2期19-22,共4页
研究了一种工作在Ka波段,基于MEMS微加工工艺的圆极化微带天线。采用微带馈线与贴片辐射单元非接触、共面临近耦合的馈电方式,可以在不改变贴片与馈线本身的尺寸且无需额外增加匹配网络的情况下调节阻抗匹配,有效地提高了馈线与辐射元... 研究了一种工作在Ka波段,基于MEMS微加工工艺的圆极化微带天线。采用微带馈线与贴片辐射单元非接触、共面临近耦合的馈电方式,可以在不改变贴片与馈线本身的尺寸且无需额外增加匹配网络的情况下调节阻抗匹配,有效地提高了馈线与辐射元的阻抗匹配度与可调性,简化了天线结构。使用3dB电桥移相器实现圆极化,结构规范,圆极化效果好。使用有限元仿真软件AnsoftHFSS对其进行了仿真优化,得出了一组较优参数,此时天线中心频率为35GHz,增益为6.86dB,驻波比≤2时阻抗带宽为4GHz(约11.4%),轴比<3dB时带宽约为5.9GHz(约16.9%)。 展开更多
关键词 微机电系统 微带天线 圆极化天线 毫米波天线
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Al_2O_3纳米线薄膜的制备及其生成机理研究
11
作者 杨卉 王庆康 《电镀与精饰》 CAS 2007年第5期1-5,共5页
研究了一种简单新颖的制备Al2O3纳米线薄膜的电化学方法。以阳极氧化法在高纯铝片表面制备多孔阳极氧化铝的工艺为基础,在草酸电解液中通过一次阳极氧化过程,将阳极氧化铝孔壁溶解形成Al2O3纳米线,均匀覆盖在阳极氧化铝有序孔道的上方,... 研究了一种简单新颖的制备Al2O3纳米线薄膜的电化学方法。以阳极氧化法在高纯铝片表面制备多孔阳极氧化铝的工艺为基础,在草酸电解液中通过一次阳极氧化过程,将阳极氧化铝孔壁溶解形成Al2O3纳米线,均匀覆盖在阳极氧化铝有序孔道的上方,得到一种特殊结构的纳米线薄膜。使用扫描电镜、高分辨透射电镜和X-射线能谱仪对纳米线的形貌、结构及成分进行了表征分析。并结合扫描电镜对不同反应时间长度的产物形貌来观察纳米线的生成过程。探讨了Al2O3纳米线薄膜的生成机理。 展开更多
关键词 阳极氧化 Al2O3纳米线 薄膜
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单分散Fe_3O_4纳米粒子的合成、表征及其自组装 被引量：20
12
作者 窦永华 张玲 古宏晨 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期119-122,共4页
采用高温有机前驱体分解法,以Fe(acac)3为前驱体制备出单分散性较好的Fe3O4纳米粒子,粒径为(6.4±0.90)nm。利用TEM、XRD、HPPS、FTIR等手段对粒子的形貌及性质进行了研究,证实得到的是Fe3O4单晶,粒子表层的铁原子通过共价键和油酸... 采用高温有机前驱体分解法,以Fe(acac)3为前驱体制备出单分散性较好的Fe3O4纳米粒子,粒径为(6.4±0.90)nm。利用TEM、XRD、HPPS、FTIR等手段对粒子的形貌及性质进行了研究,证实得到的是Fe3O4单晶,粒子表层的铁原子通过共价键和油酸分子中—COO的两个氧原子结合在一起。通过对自组装过程的初步研究表明随磁性纳米粒子浓度的增加,粒子排布逐渐由零星的无规排列变为规整的单层和多层有序结构。 展开更多
关键词 FE3O4纳米粒子 自组装 单分散 表面修饰
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亚波长纳米结构宽波段抗反射特性 被引量：7
13
作者 李海华 黄康 王庆康 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第2期267-270,共4页
研究了玻璃(折射率n=1.52)表面周期性台阶结构的宽波段抗反射特性。利用等效媒质理论,对单台阶和二台阶结构进行了参数设计,并用严格耦合波理论对设计的台阶结构进行了入射光波长、入射角的反射效率、反射级次特性分析计算。研究结果表... 研究了玻璃(折射率n=1.52)表面周期性台阶结构的宽波段抗反射特性。利用等效媒质理论,对单台阶和二台阶结构进行了参数设计,并用严格耦合波理论对设计的台阶结构进行了入射光波长、入射角的反射效率、反射级次特性分析计算。研究结果表明:当亚波长纳米结构的周期低于周期阈值时,随着入射波长的增加只有零级衍射;台阶层数的增加,可增加红外抗反射入射波长和入射角的范围。二台阶结构可以在可见光和整个红外波段的反射率都低于1%。在玻璃表面上制备的台阶结构和基底为一体,这种方法克服了抗反射膜层的许多不足,其附着力、抗蚀刻、渗透扩散等问题均不存在,适用于受温度和湿度等环境因素影响较大的可见光及红外抗反射器件的设计和制作工艺中。 展开更多
关键词 亚波长 抗反射 台阶
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MEMS微器件用CoNiMnP永磁体薄膜的工艺制备和性能研究 被引量：2
14
作者 汪红 丁桂甫 +3 位作者 戴旭涵 苏宇锋 张永华 王志民 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1719-1722,共4页
研究了采用多种氯化物体系电沉积制备CoNiMnP永磁体薄膜及在微继电器、电磁驱动器永磁体阵列器件方面的应用。对薄膜组成、磁性能的对比研究表明：从稀氯化物体系(200mT)中获得的Co_(82．4) Ni_(11．9)Mn_(0．4)P_(5．3)永磁体薄膜具有... 研究了采用多种氯化物体系电沉积制备CoNiMnP永磁体薄膜及在微继电器、电磁驱动器永磁体阵列器件方面的应用。对薄膜组成、磁性能的对比研究表明：从稀氯化物体系(200mT)中获得的Co_(82．4) Ni_(11．9)Mn_(0．4)P_(5．3)永磁体薄膜具有最好的磁性能：H_c= 208790A/m,B_r=0．2T,(BH)_(max)=10．15kJ/m^3,且脆性小、内应力较低。进一步解析发现这可能是因为与易磁化轴相平行的Co(110)面上存在织构所致。在此基础上采用掩膜电沉积技术成功地制备出微继电器原位制造和电磁驱动器永磁体薄膜阵列。 展开更多
关键词 MEMS器件 CoNiMnP永磁体薄膜 磁性能 掩膜电沉积
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高分辨X射线成像器件——微间隙室(MGC)的研究
15
作者 龙沪强 王芸 +2 位作者 徐东 谢宽仲 卞建江 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期57-61,共5页
详细讨论了微间隙室的基本结构、特性及其主要研究内容;并在此基础上,探讨了微间隙室采用金刚石薄膜作为阳极电极微条和阴极电极微条之间的极间绝缘材料的可能性和有效性。为在第三代同步光源上实现具有良好时间和空间分辨的成像实验或... 详细讨论了微间隙室的基本结构、特性及其主要研究内容;并在此基础上,探讨了微间隙室采用金刚石薄膜作为阳极电极微条和阴极电极微条之间的极间绝缘材料的可能性和有效性。为在第三代同步光源上实现具有良好时间和空间分辨的成像实验或衍射实验,提供了一种潜在的辐射成像探测器。 展开更多
关键词 辐射成像探测器 同步光源 微间歇室 金刚石薄膜
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液相法制备取向ZnO纳米线阵列的场发射特性(英文) 被引量：3
16
作者 张欢 李梦轲 +3 位作者 张竞 于丽媛 刘玲玲 杨志 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2010年第9期2563-2568,共6页
采用水热合成工艺,在不同条件下制备了不同的一维取向ZnO纳米线阵列样品.用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)及透射电镜(TEM)对样品的晶体结构和形貌等进行了表征,对样品的场发射特性进行了分析和比较,并用Fowler-Nordheim方程对影响Zn... 采用水热合成工艺,在不同条件下制备了不同的一维取向ZnO纳米线阵列样品.用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)及透射电镜(TEM)对样品的晶体结构和形貌等进行了表征,对样品的场发射特性进行了分析和比较,并用Fowler-Nordheim方程对影响ZnO纳米线场发射的因素进行了研究.结果表明,具有较低生长密度分布、较高的长径比和较尖锐生长端的ZnO纳米线阵列样品具有较好的场发射特性. 展开更多
关键词 ZnO 纳米线阵列 场发射 液相法
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纳米尺度压电薄膜PZT的结构特征和性能 被引量：1
17
作者 李敏 惠春 +2 位作者 徐爱兰 汪静 孙建平 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2007年第1期68-70,共3页
采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)方法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备锆钛酸铅(PZT)纳米晶薄膜,研究了不同的热处理方式对PZT薄膜的晶粒结构、尺寸及电学性能的影响。X-射线衍射(XRD)分析表明:传统的热处理方式更有利于得到具有一定择优取向性... 采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)方法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备锆钛酸铅(PZT)纳米晶薄膜,研究了不同的热处理方式对PZT薄膜的晶粒结构、尺寸及电学性能的影响。X-射线衍射(XRD)分析表明:传统的热处理方式更有利于得到具有一定择优取向性的PZT薄膜。原子力显微镜(AFM)显示:快速热处理方式使PZT薄膜的晶粒具有自形晶结构,晶粒的排布更为有序,从而改善了薄膜的致密性。阻抗分析仪的测试结果表明:经快速热处理的薄膜,漏电流大约比传统热处理处理的薄膜的漏电流降低了20倍左右。 展开更多
关键词 PZT薄膜 传统热处理 快速热处理
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NiCr薄膜微加热器在低温环境下的电学特性研究
18
作者 吴婷婷 刘景全 +3 位作者 江水东 徐斌 郭杰 杨斌 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第9期38-41,共4页
设计了一种适用于深低温环境的微型加热器。使用AC磁控溅射技术将NiCr(80/20 at.%)合金沉积到SiO2/Si基底上,并采用微加工工艺实现薄膜图形化,作为加热器的加热元件。研究了NiCr薄膜的电学性能和晶体结构与退火条件之间的关系。实验表明... 设计了一种适用于深低温环境的微型加热器。使用AC磁控溅射技术将NiCr(80/20 at.%)合金沉积到SiO2/Si基底上,并采用微加工工艺实现薄膜图形化,作为加热器的加热元件。研究了NiCr薄膜的电学性能和晶体结构与退火条件之间的关系。实验表明:在450℃氮气环境下退火30min,可以获得深低温性能优良的NiCr加热器。该加热器在20K时的电阻温度系数(TCR)为80.80×10-6/K。X射线衍射(XRD)分析显示NiCr薄膜在450℃氮气环境下退火后,薄膜的结晶度增大,因此,退火条件对薄膜的电阻率和电阻温度系数有较大的影响。 展开更多
关键词 微型加热器 MEMS 镍铬合金 深低温 退火处理
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Evanohm合金的双环线型微加热器特性研究
19
作者 仲逸飞 刘景全 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第1期7-9,14,共4页
以Evanohm合金为材料,设计了一种双环线型微加热器。使用AC磁控溅射技术在硅基底上沉积合金薄膜,并采用微机电系统(MEMS)微加工工艺实现薄膜图形化,以此作为加热器的加热元件。在常温下,研究了所制备的薄膜加热器件的加热性能与电学特性... 以Evanohm合金为材料,设计了一种双环线型微加热器。使用AC磁控溅射技术在硅基底上沉积合金薄膜,并采用微机电系统(MEMS)微加工工艺实现薄膜图形化,以此作为加热器的加热元件。在常温下,研究了所制备的薄膜加热器件的加热性能与电学特性,并在深低温下进一步测试了其电学性能。研究结果表明:此种微型加热器电阻值稳定。在[5,300]K的温度区间内,加热器的电阻值变化不超过2%;在40 K的温度,电阻值达到Kondo最小值;在[35,55]K的温度区间,温度系数降至8.9×10^(-6) K^(-1)。器件可在较宽低温区保持良好的电阻值稳定性,具有在低温环境中应用的潜力。 展开更多
关键词 微型加热器 微机电系统 Evanohm合金 低温
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MEMS电容式三维微触觉测头设计及校准 被引量：8
20
作者 吴俊杰 李源 +2 位作者 李东升 卢歆 何明轩 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期3087-3094,共8页
由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件,本文基于非硅MEMS工艺,开发了一种可用于微纳米尺度三维尺寸测量的电容式微触觉测头。利用电容频率测量法实现了微弱电容信号的采集。采用宏微结合驱动方式,设计了运动... 由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件,本文基于非硅MEMS工艺,开发了一种可用于微纳米尺度三维尺寸测量的电容式微触觉测头。利用电容频率测量法实现了微弱电容信号的采集。采用宏微结合驱动方式,设计了运动范围为25mm×25mm×10mm,单轴12μm范围内定位精度达1nm的三维微位移平台。最后,对测头的测量范围、线性、迟滞及分辨力进行了测试。结果表明,测头的轴向测量范围为4.5μm,横向测量范围大于5μm,轴向分辨力优于10nm,横向分辨力优于25nm,线性较好。开发的测头结构简单、分辨力高、体积小、成本低,可集成到纳米测量定位平台(NMM),完成具有大范围、亚微米或纳米级精度要求的测量任务。 展开更多
关键词 微触觉测头 微电容传感器 微机电系统 校准装置 纳米测量机
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