基于Parylene的柔性微电极阵列微加工工艺研究 被引量：8

1

作者 吴义伯 侯安州 +3 位作者 倪鹤南 徐爱兰 惠春 任秋实 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1018-1020,1036,共4页

基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设计了一... 基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设计了一种基于parylene柔性神经微电极阵列的加工工艺方法,并讨论了在流片过程中的关键问题,如掩膜层的选择、电极的剥离及焊接与封装等。该柔性微电极阵列在用于视觉假体的神经接口方面具有独特的应用优势。 展开更多

关键词 柔性微电极阵列 聚对二甲苯 微加工工艺 神经接口

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于MEMS技术的异平面空心金属微针 被引量：4

2

作者 沈修成 刘景全 +2 位作者 王亚军 郭忠元 芮岳峰 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期151-154,共4页

MEMS微针的一个重要应用是透皮给药。文中提出了一种基于MEMS技术的异平面空心金属微针。该微针首先利用硅(100)面刻蚀技术在硅片上刻蚀出深度为330μm的倒四棱锥,然后采用电镀技术电镀出壁厚为50μm的空心金属倒四棱锥。从背面开出微... MEMS微针的一个重要应用是透皮给药。文中提出了一种基于MEMS技术的异平面空心金属微针。该微针首先利用硅(100)面刻蚀技术在硅片上刻蚀出深度为330μm的倒四棱锥,然后采用电镀技术电镀出壁厚为50μm的空心金属倒四棱锥。从背面开出微流道并去除残余硅,就得到了倾斜角度为70.6°的异平面金属空心微针。最后采用ANSYS有限元仿真软件建立微针模型,验证了微针具有足够的强度。 展开更多

关键词 MEMS 微针 电镀 异平面 药物投送

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于CVD技术的异步多通路电针灸针的研究 被引量：2

3

作者 邱可可 刘景全 +3 位作者 芮岳峰 杨春生 王宇娟 李克勇 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第5期788-790,共3页

针灸治疗是中医治疗疾病的一种有效方法,随着现代针灸的新科技与经络穴位的结合,传统的毫针逐渐发展到了脉冲电针、电热针等。该文提出一种异步多通路刺激的电针灸针。基于传统的毫针,通过微加工工艺在一根毫针针体上加工出若干个刺激电... 针灸治疗是中医治疗疾病的一种有效方法,随着现代针灸的新科技与经络穴位的结合,传统的毫针逐渐发展到了脉冲电针、电热针等。该文提出一种异步多通路刺激的电针灸针。基于传统的毫针,通过微加工工艺在一根毫针针体上加工出若干个刺激电极,微加工工艺包括溅射金属层及化学气相沉积(CVD)绝缘层聚对二甲苯。聚对二甲苯作为电极间的绝缘材料,具有无针孔涂覆、更低的液气渗透率、良好的生物相容性、透明性和柔韧性、以及较好的机械强度。通过连接电针灸仪,在一根针上即可实现异步多条电流通路的刺激。 展开更多

关键词 电针灸 异步 多通路 电针 化学气相沉积(CVD) 聚对二甲苯

在线阅读 下载PDF 职称材料

植布法制备镍基碳纳米管场发射阴极及其性能研究 被引量：1

4

作者 崔雪梅 王艳 +1 位作者 邓敏 丁桂甫 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期1972-1976,共5页

提出了一种新型的制备碳纳米管场发射阴极的方法———植布法,详细描述了植布法工艺,并用扫描电镜观察植布法得到的样品的表面形态,讨论了球磨工艺、碳管和聚合物分散剂不同质量配比,及聚合物介质刻蚀时间的长短对最终场发射阴极性能的... 提出了一种新型的制备碳纳米管场发射阴极的方法———植布法,详细描述了植布法工艺,并用扫描电镜观察植布法得到的样品的表面形态,讨论了球磨工艺、碳管和聚合物分散剂不同质量配比,及聚合物介质刻蚀时间的长短对最终场发射阴极性能的影响。实验表明植布法制备的场发射阴极具有良好的场发射性能,如低的开启电压(约为1.7V/μm),高的电流密度(在3.6V/μm下,电流密度可以达到26mA/cm2)。该方法结合了传统直接生长和丝网印刷法制备碳纳米管阴极的优点,实现了碳纳米管与金属基底可靠结合的结构,广泛适用于以该结构作为核心功能单元的器件。 展开更多

关键词 碳纳米管 聚酰亚胺 场发射阴极 场发射性能 植布法

在线阅读 下载PDF 职称材料

利用PZT块材制备微型压电悬臂梁采能器的研究 被引量：6

5

作者 郑慈航 唐刚 +4 位作者 刘景全 李以贵 余震 何丹农 杨春生 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第3期418-421,共4页

采用压电陶瓷(PZT)片状块材设计并制作了一种可集成于微机电系统的压电悬臂梁能量采集器。介绍了元件的整体制备流程,包括湿法化学蚀刻、反应离子(RIE)干法蚀刻、UV-LIGA等流片技术。该文利用环氧树脂将PZT紧密粘结在基片上的方法步骤... 采用压电陶瓷(PZT)片状块材设计并制作了一种可集成于微机电系统的压电悬臂梁能量采集器。介绍了元件的整体制备流程,包括湿法化学蚀刻、反应离子(RIE)干法蚀刻、UV-LIGA等流片技术。该文利用环氧树脂将PZT紧密粘结在基片上的方法步骤和工艺参数作了详细描述,最终获得了2 000μm×750μm×500μm(长×底宽×尖宽)的梯形悬臂梁结构,PZT层厚度为16.7μm,并在其自由端装配Ni质量块以降低元件的固有频率。通过自搭建的检测系统测得,该能量采集器在1阶谐振工作状态(824.7 Hz,1g加速度强度)下获得了峰-峰值为1 160 mV的输出电压,是利用PZT薄膜制备的同尺寸采能器的2倍。 展开更多

关键词 压电发电 能量采集 PZT块材 微机电系统

在线阅读 下载PDF 职称材料

亚波长纳米结构宽波段抗反射特性 被引量：7

6

作者 李海华 黄康 王庆康 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第2期267-270,共4页

研究了玻璃(折射率n=1.52)表面周期性台阶结构的宽波段抗反射特性。利用等效媒质理论,对单台阶和二台阶结构进行了参数设计,并用严格耦合波理论对设计的台阶结构进行了入射光波长、入射角的反射效率、反射级次特性分析计算。研究结果表... 研究了玻璃(折射率n=1.52)表面周期性台阶结构的宽波段抗反射特性。利用等效媒质理论,对单台阶和二台阶结构进行了参数设计,并用严格耦合波理论对设计的台阶结构进行了入射光波长、入射角的反射效率、反射级次特性分析计算。研究结果表明:当亚波长纳米结构的周期低于周期阈值时,随着入射波长的增加只有零级衍射;台阶层数的增加,可增加红外抗反射入射波长和入射角的范围。二台阶结构可以在可见光和整个红外波段的反射率都低于1%。在玻璃表面上制备的台阶结构和基底为一体,这种方法克服了抗反射膜层的许多不足,其附着力、抗蚀刻、渗透扩散等问题均不存在,适用于受温度和湿度等环境因素影响较大的可见光及红外抗反射器件的设计和制作工艺中。 展开更多

关键词 亚波长 抗反射 台阶

在线阅读 下载PDF 职称材料

液相法制备取向ZnO纳米线阵列的场发射特性(英文) 被引量：3

7

作者 张欢 李梦轲 +3 位作者 张竞 于丽媛 刘玲玲 杨志 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2010年第9期2563-2568,共6页

采用水热合成工艺,在不同条件下制备了不同的一维取向ZnO纳米线阵列样品.用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)及透射电镜(TEM)对样品的晶体结构和形貌等进行了表征,对样品的场发射特性进行了分析和比较,并用Fowler-Nordheim方程对影响Zn... 采用水热合成工艺,在不同条件下制备了不同的一维取向ZnO纳米线阵列样品.用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)及透射电镜(TEM)对样品的晶体结构和形貌等进行了表征,对样品的场发射特性进行了分析和比较,并用Fowler-Nordheim方程对影响ZnO纳米线场发射的因素进行了研究.结果表明,具有较低生长密度分布、较高的长径比和较尖锐生长端的ZnO纳米线阵列样品具有较好的场发射特性. 展开更多

关键词 ZnO 纳米线阵列 场发射 液相法

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于微加速度计的鼠标系统设计 被引量：7

8

作者 汤坚 陈文元 +1 位作者 姜晓波 钱莉 《计算机工程与设计》 CSCD 北大核心 2008年第23期6136-6138,共3页

设计了一种新型的输入设备——微加速度计鼠标系统,该系统融合了MEMS微加速度计和无线射频技术,能够实现传统鼠标的功能。该系统由用户控制和信号接收两部分组成。无线射频技术使得用户控制模块能够摆脱线缆的束缚,在空中自由运动,并可... 设计了一种新型的输入设备——微加速度计鼠标系统,该系统融合了MEMS微加速度计和无线射频技术,能够实现传统鼠标的功能。该系统由用户控制和信号接收两部分组成。无线射频技术使得用户控制模块能够摆脱线缆的束缚,在空中自由运动,并可通过人体任何部位进行控制。二维旋转角算法和按键模拟算法的提出,使该鼠标系统能达到比传统鼠标更高的控制精度、更高的DPI,实现无按键的操作。 展开更多

关键词 微加速度计无线鼠标 微加速度计 二维旋转角 按键模拟 无按键操作

在线阅读 下载PDF 职称材料

用于视觉假体的柔性生物微电极阵列的设计和制作 被引量：3

9

作者 王亚军 杨春生 +2 位作者 刘景全 沈修成 郭忠元 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期15-18,共4页

提出了一种用于视网膜假体的基于Parylene的柔性微电极阵列的设计和制作。微电极阵列为5×5,通过光刻胶热熔回流技术形成的电极点为半球形凸起,底部直径为60μm,高度大约为24μm。整个电极具有很好的柔韧性,能够更好的适应视网膜表... 提出了一种用于视网膜假体的基于Parylene的柔性微电极阵列的设计和制作。微电极阵列为5×5,通过光刻胶热熔回流技术形成的电极点为半球形凸起,底部直径为60μm,高度大约为24μm。整个电极具有很好的柔韧性,能够更好的适应视网膜表面轮廓,提高刺激效果。同时,电极具有很好的透明性,便于手术时电极的植入和手术后对生物组织的观察。 展开更多

关键词 视网膜假体 PARYLENE 光刻胶热熔 微电极阵列 MEMS

在线阅读 下载PDF 职称材料

超声液体环境下压电式振动能量采集的研究 被引量：4

10

作者 郑慈航 唐刚 +3 位作者 刘景全 尹桂林 余震 何丹农 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第3期46-49,共4页

针对在液体环境下工作的器件不利于直接供能这一难题,制作了一种可在液体环境下工作的振动能量采集器,采用压电悬臂梁结构在液体环境中采集水中的超声能量,在32 kHz超声频率激励下,最高获得了5.04 V的输出电压。通过改变超声波与悬臂梁... 针对在液体环境下工作的器件不利于直接供能这一难题,制作了一种可在液体环境下工作的振动能量采集器,采用压电悬臂梁结构在液体环境中采集水中的超声能量,在32 kHz超声频率激励下,最高获得了5.04 V的输出电压。通过改变超声波与悬臂梁的相对方向及液体盐分质量分数,发现能量采集器在超声液体环境下工作的发电效率随盐分质量分数的增加而减小;在当悬臂梁与超声换能器平面的夹角为45°~60°时,能量采集器的发电效率最高。 展开更多

关键词 能量采集器 压电悬臂梁 超声波振动 液体环境

在线阅读 下载PDF 职称材料

应用于等离子体显示器的铝电极及其介质层制备研究 被引量：3

11

作者 刘启发 王艳 +1 位作者 汪红 丁桂甫 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期419-423,共5页

提出用铝取代银作为寻址电极,氧化铝取代玻璃粉作为其上介质层的新型等离子体显示器(PDP)电极单元,对单项工艺进行了优化,并形成了完整可行的整体工艺路线,有望为PDP生产成本的降低提供一条新的技术途径。选用非连续磁控溅射和光刻-刻... 提出用铝取代银作为寻址电极,氧化铝取代玻璃粉作为其上介质层的新型等离子体显示器(PDP)电极单元,对单项工艺进行了优化,并形成了完整可行的整体工艺路线,有望为PDP生产成本的降低提供一条新的技术途径。选用非连续磁控溅射和光刻-刻蚀工艺制备铝电极,阳极氧化工艺制备氧化铝介质层。用扫描电子显微镜对铝膜、氧化铝介质层及电极单元的整体形貌进行了表征;分别对所制备的铝电极的导电性能和氧化铝介质层的耐击穿性能进行了测定,结果表明在优化的实验条件下铝电极电阻率可以达到5.0×10-8Ω·m,氧化铝耐击穿强度大于100 V/μm,完全可以满足实际应用的技术要求。 展开更多

关键词 等离子体显示器 寻址电极 氧化铝介质层 磁控溅射 阳极氧化

在线阅读 下载PDF 职称材料

CoFe/Cu多层膜巨磁阻效应的研究 被引量：7

12

作者 郑金平 冯洁 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期123-126,共4页

采用直流磁控溅射制备了多层膜Ta/缓冲层/[Co95Fe5/Cu]×12/Co95Fe5/Ta。实验发现,多层膜的磁阻性能受到缓冲层材料、各子层厚度以及退火处理的影响。采用优化的多层膜结构:Ni65Fe15Co20缓冲层厚8 nm、CoFe层厚1.55 nm、Cu层厚2.4nm... 采用直流磁控溅射制备了多层膜Ta/缓冲层/[Co95Fe5/Cu]×12/Co95Fe5/Ta。实验发现,多层膜的磁阻性能受到缓冲层材料、各子层厚度以及退火处理的影响。采用优化的多层膜结构:Ni65Fe15Co20缓冲层厚8 nm、CoFe层厚1.55 nm、Cu层厚2.4nm,沉积态薄膜GMR值达到7.6%;而在外加磁场79.6×103A/m下,250℃保温2 h退火处理后,多层膜的GMR值进一步提高到11.9%,磁滞从18.7×102A/m降低到796 A/m。 展开更多

关键词 多层膜 巨磁阻 缓冲层 退火

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于FPGA的微刺激器设计 被引量：2

13

作者 郭忠元 刘景全 +3 位作者 芮岳峰 朱正罕 邱可可 杨春生 《电子测量技术》 2009年第11期95-98,共4页

微刺激器是一种通过对生物体内特定部位释放电流来达到一定刺激效果的医疗装置。其刺激效果与微刺激器所释放电流的参数有密切关系。为了能够在生物实验中寻找到刺激效果最佳的电流参数,论述了一种以FPGA为核心的微刺激器设计方案。这... 微刺激器是一种通过对生物体内特定部位释放电流来达到一定刺激效果的医疗装置。其刺激效果与微刺激器所释放电流的参数有密切关系。为了能够在生物实验中寻找到刺激效果最佳的电流参数,论述了一种以FPGA为核心的微刺激器设计方案。这种微刺激器利用DDS技术,由FPGA芯片生成各种波形参数,其中频率、波形、幅值可控。结合数模转换电路和压控恒流源等外围电路,能够输出多种刺激电流,并且电流参数可调。介绍了这种微刺激器的原理和设计方案,并且进行了验证。应用这种微刺激器能够生成生物实验中所需要的双向脉冲波形。 展开更多

关键词 微刺激器 FPGA 双相脉冲 DDS 可植入

在线阅读 下载PDF 职称材料

图像处理方法在焊缝自动跟踪系统中的应用研究 被引量：6

14

作者 唐刚 王龙飞 王璐 《机械设计与制造》 北大核心 2011年第12期87-89,共3页

以基于视觉传感器的焊缝自动跟踪系统为研究对象,论述了相应的焊缝图像处理方法,有效地消除了焊接过程中的飞溅和弧光对焊缝图像的干扰。主要包括转灰度图、图像滤波、图像分割、图像边缘检测、图像细化以及HOUGH变换等。其中采用卷积... 以基于视觉传感器的焊缝自动跟踪系统为研究对象,论述了相应的焊缝图像处理方法,有效地消除了焊接过程中的飞溅和弧光对焊缝图像的干扰。主要包括转灰度图、图像滤波、图像分割、图像边缘检测、图像细化以及HOUGH变换等。其中采用卷积滤波和中值滤波相结合的方法,提高了中值滤波能力和处理速度;采用Sobel算子,较好地保留了焊缝图像的边缘。并将这些方法综合应用成功地识别出焊缝的两条边缘,进而提取出焊缝中心,并仿真出焊枪在纠偏过程中的运动轨迹。试验表明方法处理效果好,处理速度快,能够满足跟踪系统的实时性要求。 展开更多

关键词 视觉传感器 图像处理方法 焊枪纠偏仿真

在线阅读 下载PDF 职称材料

可植入眼压微传感器 被引量：1

15

作者 朱正罕 刘景全 +1 位作者 邱可可 杨春生 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第6期1-3,7,共4页

对眼压进行长期、连续和实时的监测对于提高青光眼的诊治水平具有重要的意义。可植入眼压微传感器能够实现对眼压的长期连续监测。总结了国内外的可植入眼压微传感器技术;归纳了不同种类的可植入眼压微传感器的工作原理,并对不同的可植... 对眼压进行长期、连续和实时的监测对于提高青光眼的诊治水平具有重要的意义。可植入眼压微传感器能够实现对眼压的长期连续监测。总结了国内外的可植入眼压微传感器技术;归纳了不同种类的可植入眼压微传感器的工作原理,并对不同的可植入眼压微传感器技术进行分类和比较;讨论了可植入眼压微传感器的各技术模块。 展开更多

关键词 可植入眼压微传感器 青光眼 微机电系统

在线阅读 下载PDF 职称材料

磁芯螺线管微电感的计算机模拟 被引量：3

16

作者 郭绍寅 周勇 +2 位作者 周志敏 曹莹 丁文 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1867-1870,共4页

采用电磁场理论建立了FeNi磁芯螺线管微电感的物理模型,并对交流载荷下的微电感进行了模拟.通过与磁芯厚度为10、20、30和40μm的微电感的实验结果对比,表明该物理模型能够较准确地模拟磁芯螺线管微电感的主要损耗,进而可计算微电感的... 采用电磁场理论建立了FeNi磁芯螺线管微电感的物理模型,并对交流载荷下的微电感进行了模拟.通过与磁芯厚度为10、20、30和40μm的微电感的实验结果对比,表明该物理模型能够较准确地模拟磁芯螺线管微电感的主要损耗,进而可计算微电感的电感量和品质因子.模拟结果与实验符合较好. 展开更多

关键词 螺线管 微电感 磁芯 物理模型

在线阅读 下载PDF 职称材料

夹心结构FeNi/Cu/FeNi多层膜巨磁阻抗效应研究 被引量：2

17

作者 商干兵 周勇 +3 位作者 余先育 丁文 周志敏 曹莹 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期194-196,199,共4页

采用MEMS技术在玻璃基片上制备了夹心结构FeNi／Cu／FeNi多层膜，并在1～40MHz范围内研究了它的巨磁阻抗效应。纵向巨磁阻抗效应先随着外加磁场的增大而迅速增加，在某一磁场下达到最大值后随磁场的增加而逐渐减小。在频率为5MHz时，Hex... 采用MEMS技术在玻璃基片上制备了夹心结构FeNi／Cu／FeNi多层膜，并在1～40MHz范围内研究了它的巨磁阻抗效应。纵向巨磁阻抗效应先随着外加磁场的增大而迅速增加，在某一磁场下达到最大值后随磁场的增加而逐渐减小。在频率为5MHz时，Hext为0．8kA／m时巨磁阻抗效应最大值达到32．06％。另外，夹心结构多层膜表现出较大的负巨磁阻抗效应，在频率5MHz，Hext=9．6kA／m时，负最大巨磁阻抗效应可达-24．50％。 展开更多

关键词 巨磁阻抗效应 夹心结构FeNi/Cu/FeNi多层膜 MEMS技术

在线阅读 下载PDF 职称材料

摇摆质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺 被引量：1

18

作者 张弓 张卫平 +5 位作者 许仲兴 汪濙海 成宇翔 唐健 关冉 陈文元 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2014年第19期104-108,共5页

提出了一种新型的摇动质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺。该种陀螺,在结构上采用完全对称的圆盘式结构,在原理上,利用压电体声波的简并模态,而且摇动质量又增强体声波驱动和敏感效应,再由柯氏效应,获得输入角速度。文章介绍了结构... 提出了一种新型的摇动质量增强压电体声波固体波动圆盘微陀螺。该种陀螺,在结构上采用完全对称的圆盘式结构,在原理上,利用压电体声波的简并模态,而且摇动质量又增强体声波驱动和敏感效应,再由柯氏效应,获得输入角速度。文章介绍了结构,原理,同时又利用仿真分析,优化了参数,给出了该陀螺可有效工作在25 172.8 Hz的体声波二波腹模式下,频率分裂184.6 Hz,具有陀螺效应,仿真得到灵敏度为1.81μV/rad/s。最后,利用MEMS技术,对微陀螺进行了实际加工,并得到了样品。 展开更多

关键词 压电 体声波 柯氏效应 灵敏度

在线阅读 下载PDF 职称材料

一种微尺度有序增强复合材料的制备及其力学性能表征

19

作者 张振杰 汪红 +2 位作者 杨卓青 丁桂甫 赵小林 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期1836-1839,1843,共5页

选择聚氨酯改性环氧树脂作为基体,利用微加工工艺制备了一种以电镀镍丝作为增强体的微尺寸有序增强聚合物基体复合材料。ANSYS有限元仿真结果表明基体完全包裹增强体能够很好地缓解应力集中,当增强体的排布角度为45°,体积含量为62... 选择聚氨酯改性环氧树脂作为基体,利用微加工工艺制备了一种以电镀镍丝作为增强体的微尺寸有序增强聚合物基体复合材料。ANSYS有限元仿真结果表明基体完全包裹增强体能够很好地缓解应力集中,当增强体的排布角度为45°,体积含量为62.5%时,复合材料变形过程中应力集中程度相对最弱。对制备的微尺寸复合材料进行了DMA拉伸测试,结果表明相比单一的聚合物基体材料,有序增强复合结构材料的抗拉强度和弹性模量分别约提高了4倍和3倍,最后,通过扫描电镜观察了试样断口,对其拉伸断裂过程进行了合理分析。 展开更多

关键词 MEMS 复合材料 ANSYS 有序增强 微尺度

在线阅读 下载PDF 职称材料

非硅MEMS电容式微加速度计的测控电路设计

20

作者 张运奎 崔峰 +2 位作者 万镇 刘武 张卫平 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2012年第2期90-92,95,共4页

为了提高MEMS微加速度计的量程和抗过载能力,设计了基于UV-LIGA技术的非硅MEMS电容式微加速度计。针对该加速度计,设计了基于相敏解调的差分电容测控电路。检测通道主要由前置级电荷积分放大电路、带通滤波电路、相敏解调器、低通滤波... 为了提高MEMS微加速度计的量程和抗过载能力,设计了基于UV-LIGA技术的非硅MEMS电容式微加速度计。针对该加速度计,设计了基于相敏解调的差分电容测控电路。检测通道主要由前置级电荷积分放大电路、带通滤波电路、相敏解调器、低通滤波以及电平转换电路组成,反馈通道由低通滤波和加法电路组成。完成了微加速度计测控电路的调试和检测通道的标定实验,实验表明:检测通道的量程约为±6 pF,灵敏度为89.3 mV/pF,线性度为2.59%,满足加速度计检测通道的要求。 展开更多

关键词 微机电系统 微加速度计 差分电容 测控电路 标定

在线阅读 下载PDF 职称材料