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低温纳米压印技术制备微纳图案的研究 被引量:3
1
作者 孙洪文 刘景全 陈迪 《电子工艺技术》 2008年第6期314-316,337,共4页
纳米压印需要将聚合物加热到它的玻璃化温度以上,然后用印章压印使其复制印章图案。采用低玻璃化温度的SU-8 2000.1和Hybrane胶体转移图案,能够在低温、甚至室温下实现微纳图案的转移。采用的印章制备方法是聚焦离子束(FIB)直接在衬底... 纳米压印需要将聚合物加热到它的玻璃化温度以上,然后用印章压印使其复制印章图案。采用低玻璃化温度的SU-8 2000.1和Hybrane胶体转移图案,能够在低温、甚至室温下实现微纳图案的转移。采用的印章制备方法是聚焦离子束(FIB)直接在衬底上制备图案,从而避免了传统工艺中效率较慢的电子束加工和取消了反应离子刻蚀步骤;并且采用FIB方法可同时在衬底上制备微米、纳米尺度的图案。实验结果表明用FIB方法可以得到比较均匀致密的微纳米图案印章,经过低温纳米压印后可成功地实现微纳图案的复制。 展开更多
关键词 纳米压印 低温 聚焦离子束 纳米印章 微纳图案 图案复制
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UV-LIGA技术在多层微结构制备中的工艺研究 被引量:1
2
作者 朱军 汪红 +2 位作者 陈翔 陈迪 刘景全 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2009年第5期706-708,共3页
UV-LIGA技术在制备多层复杂微结构时存在如何确保多层套刻对准精度,尺寸控制精度及层间良好结合的问题。该文对这些问题进行了分析与实验研究,实验证明,弱曝光是产生层间位移,影响套刻精度的原因之一,减少曝光所产生的应力应以不发生位... UV-LIGA技术在制备多层复杂微结构时存在如何确保多层套刻对准精度,尺寸控制精度及层间良好结合的问题。该文对这些问题进行了分析与实验研究,实验证明,弱曝光是产生层间位移,影响套刻精度的原因之一,减少曝光所产生的应力应以不发生位移为前提;降低升降温速率能有效降低应力,提高层间结合性能,从而减少图形位移,确保套刻对准的精度。 展开更多
关键词 UV—LIGA 多层 套刻精度 曝光 中烘
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新型纳米加工技术的研究进展
3
作者 朱团 王英 +2 位作者 刑艳 邱敏 陈丽华 《科技创新与应用》 2014年第2期37-37,共1页
随着纳米技术的发展和电子器件小型化的需求,纳米加工方法越来越多地引起人们的关注,纳米技术的核心是纳米加工技术。新型纳米加工技术突破传统光刻限制和有机高分子结构的限制,属于多项纳米操纵加工技术的系统工程研究,主要特色为瞄准... 随着纳米技术的发展和电子器件小型化的需求,纳米加工方法越来越多地引起人们的关注,纳米技术的核心是纳米加工技术。新型纳米加工技术突破传统光刻限制和有机高分子结构的限制,属于多项纳米操纵加工技术的系统工程研究,主要特色为瞄准学科前沿的创新性应用基础研究,具有较强的创新性、前瞻性和原创性,具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 无机纳米材料 纳米加工技术 研究
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一维纳米材料定向排布技术的研究进展 被引量:1
4
作者 胡林 陈长鑫 张亚非 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第2期80-84,114,共6页
定向排列技术是一维纳米材料应用中的一项关键技术。论述了LB(Langmuir-Blodgett)膜法、介电泳法、接触印刷法和水流法几类定向排列方法及其特点。LB膜法利用材料的两亲特性,将一维纳米材料铺展在水面,压缩水面成膜区域,使材料取向排列... 定向排列技术是一维纳米材料应用中的一项关键技术。论述了LB(Langmuir-Blodgett)膜法、介电泳法、接触印刷法和水流法几类定向排列方法及其特点。LB膜法利用材料的两亲特性,将一维纳米材料铺展在水面,压缩水面成膜区域,使材料取向排列;介电泳法借助材料在交变电场中的极化现象,使一维纳米材料沿着电极之间的电场线方向定向排列;接触印刷法利用材料和衬底表面的范德华力使一维纳米材料脱离施主衬底,定向排列到受主衬底上;水流法利用流体的冲刷作用或者液体的毛细效应,使一维纳米材料呈取向性排列。介绍了这些物理、化学和机械方法在一维纳米材料定向排布加工方面所具有的不同特色和适用条件。 展开更多
关键词 一维纳米材料 定向排列 LB 介电泳 接触印刷 水流法
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纳米压印抗粘性技术研究进展(英文)
5
作者 叶舟 朱军 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第1期21-25,29,共6页
纳米压印是一种理想的光刻技术,它具有生产率和分辨率高的特点。脱模过程中,粘连限制了图形的精确转移,因此,抗粘连成为纳米压印技术需要解决的关键问题。氟化自组装单分子层是一种被广泛应用的抗粘连涂层,介绍和分析了其在耐热性和降... 纳米压印是一种理想的光刻技术,它具有生产率和分辨率高的特点。脱模过程中,粘连限制了图形的精确转移,因此,抗粘连成为纳米压印技术需要解决的关键问题。氟化自组装单分子层是一种被广泛应用的抗粘连涂层,介绍和分析了其在耐热性和降解方面的最新研究进展。介绍了类金刚石碳膜、在光刻胶上喷涂脱模剂和含氟表面活化剂在纳米压印抗粘连研究上的进展,分析了这些方法所存在的问题及纳米压印抗粘连的发展趋势。 展开更多
关键词 纳米压印 抗粘性 氟化自组装单分子层 类金刚石碳膜
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静电悬浮转子微陀螺及其关键技术 被引量:20
6
作者 崔峰 苏宇锋 +3 位作者 张卫平 吴校生 陈文元 赵小林 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2005年第6期61-67,共7页
静电悬浮转子微陀螺具有比振动式微陀螺精度高的潜在优点,并可同时测量二轴角速度和三轴线加速度。介绍了静电悬浮转子微陀螺的研究现状。对该静电悬浮转子微陀螺/加速度计的工作原理、特点进行了分析,并对实现高精度静电悬浮转子微陀螺... 静电悬浮转子微陀螺具有比振动式微陀螺精度高的潜在优点,并可同时测量二轴角速度和三轴线加速度。介绍了静电悬浮转子微陀螺的研究现状。对该静电悬浮转子微陀螺/加速度计的工作原理、特点进行了分析,并对实现高精度静电悬浮转子微陀螺/加速度计的关键技术如静电稳定悬浮、微位移检测控制、静电恒速旋转驱动、微机械加工和真空封装技术等进行了探讨。指出这一新颖MEMS陀螺是高精度多轴集成微惯性传感器技术发展的一个重要方向,具有广阔的应用前景和较大的发展潜力。 展开更多
关键词 微机电系统 微陀螺 微加速度计 转子 静电悬浮
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MEMS微陀螺仪研究进展 被引量:31
7
作者 成宇翔 张卫平 +3 位作者 陈文元 崔峰 刘武 吴校生 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第5期277-285,共9页
回顾了MEMS微陀螺仪的研究进展,简单介绍了MEMS微陀螺仪的市场应用。微陀螺仪是MEMS器件中非常重要的一类器件。它的运用已经从单纯的航空领域逐渐转向汽车、消费电子行业等低端市场,这意味着微陀螺仪除了传统意义上的高精度高稳定性的... 回顾了MEMS微陀螺仪的研究进展,简单介绍了MEMS微陀螺仪的市场应用。微陀螺仪是MEMS器件中非常重要的一类器件。它的运用已经从单纯的航空领域逐渐转向汽车、消费电子行业等低端市场,这意味着微陀螺仪除了传统意义上的高精度高稳定性的要求,也可以向低精度商品化发展。传统的振动式陀螺,由于原理的局限性和加工技术的限制,很难达到战术级和惯性级的要求。导航级集成微陀螺(NGIMG)项目建议使用其他途径,以减少器件的可移动部件和降低工艺难度,从而提高其精度和抗干扰能力。各种设计方法近年来层出不穷,其中悬浮转子式微陀螺是目前精度最高的陀螺仪,微集成光学式陀螺也将在未来一段时间拥有巨大的研究潜力和发展空间。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 惯性传感器 微陀螺仪 零偏漂移 角随机游走 悬浮转子式微陀螺
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微压电式振动能量采集器的研究进展 被引量:21
8
作者 孙健 李以贵 +2 位作者 刘景全 杨春生 何丹农 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第11期673-677,690,共6页
给出了微压电式振动能量采集器的基本工作原理和物理模型。按照压电单元结构类型的不同,将其分为单一的直线型悬臂梁、直线型悬臂梁阵列、L型悬臂梁和圆形压电膜,分别讨论了各种类型的微压电振动能量采集器的优缺点。详细介绍了国内外... 给出了微压电式振动能量采集器的基本工作原理和物理模型。按照压电单元结构类型的不同,将其分为单一的直线型悬臂梁、直线型悬臂梁阵列、L型悬臂梁和圆形压电膜,分别讨论了各种类型的微压电振动能量采集器的优缺点。详细介绍了国内外各研究小组研制的微压电式振动能量采集器的结构参数、性能及其应用现状,分析针对目前研究中存在的问题,指出如果能在分析建模、压电结构及压电材料优化方面取得实质性进展,微压电振动能量采集器作为新型供能设备在MEMS系统和低功耗无线传感网络中的应用将会具有更加诱人的前景。 展开更多
关键词 微机电系统 压电式 能量采集器 悬臂梁 压电膜
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碳纳米管气体传感器研究进展 被引量:16
9
作者 程应武 杨志 +3 位作者 魏浩 王艳艳 魏良明 张亚非 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2010年第12期3127-3142,共16页
碳纳米管具有一维纳米结构、高表面吸附能力、良好的导电性和电子弹道传输特性等优异的力学、电学、物理和化学性能,成为制作纳米气体传感器的理想材料之一.近年来,各国研究者广泛开展了碳纳米管气体传感器的研究工作,并取得了许多显著... 碳纳米管具有一维纳米结构、高表面吸附能力、良好的导电性和电子弹道传输特性等优异的力学、电学、物理和化学性能,成为制作纳米气体传感器的理想材料之一.近年来,各国研究者广泛开展了碳纳米管气体传感器的研究工作,并取得了许多显著成果.研究结果表明,碳纳米管气体传感器具有灵敏度高、响应速度快、尺寸小、能耗低和室温下工作等诸多特点.本文结合本研究小组近年来在碳纳米管气体传感器领域所做的大量研究工作,从环境监测、医学检测和国防军事等方面,对碳纳米管气体传感器取得的研究进展进行了综述,同时也阐述和分析了碳纳米管气体传感器的工作原理和制作过程.尽管面临诸多挑战,随着研究的不断深入,碳纳米管气体传感器仍有可能凭借其独特的性能优势成为当前商业应用气体传感器的有力竞争者. 展开更多
关键词 碳纳米管 气体传感器 环境监测 医学检测 国防军事
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微型电磁式振动能量采集器的研究进展 被引量:31
10
作者 王佩红 戴旭涵 赵小林 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2007年第9期94-98,111,共6页
随着低功耗无线传感网络和微机电系统的迅速发展,供电问题正成为它们进入实用化、产业化的一大障碍。现有的一个解决方案是微型电磁式振动能量采集器。首先给出电磁式振动能量采集器的工作原理、物理模型和设计原则,然后详细介绍目前国... 随着低功耗无线传感网络和微机电系统的迅速发展,供电问题正成为它们进入实用化、产业化的一大障碍。现有的一个解决方案是微型电磁式振动能量采集器。首先给出电磁式振动能量采集器的工作原理、物理模型和设计原则,然后详细介绍目前国内外各研究小组研制的电磁式振动能量采集器的几何模型、结构参数、输出结果和技术特点,最后简单分析电磁式振动能量采集器面临的困难、挑战和发展趋势。 展开更多
关键词 微机电系统 振动能量采集器 电磁式
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微流体系统中微阀的研究现状 被引量:9
11
作者 肖丽君 陈翔 +2 位作者 汪鹏 李以贵 陈迪 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第2期91-98,共8页
依据微流体系统中微阀的驱动机理,将微阀分为有源微阀和无源微阀两大类,然后对这两大类进行细分,将有源微阀分为压电、磁、静电驱动、热驱动、相变、双稳态、外部驱动等类型,将无源微阀分为悬臂梁式、薄膜式、毛细管、扭矩驱动等类型。... 依据微流体系统中微阀的驱动机理,将微阀分为有源微阀和无源微阀两大类,然后对这两大类进行细分,将有源微阀分为压电、磁、静电驱动、热驱动、相变、双稳态、外部驱动等类型,将无源微阀分为悬臂梁式、薄膜式、毛细管、扭矩驱动等类型。分别讨论了各种微阀的工作原理和性能,介绍了各类微阀的实验研究进展,指出了这些微阀的特点,突出了微阀作为微流体系统的主要元件之一,起到径流调节、开/关转换、密封生物分子和微/纳粒子等作用。回顾了微阀的发展历程,分析了目前研究过程中存在的问题,提出了微阀今后的研究方向。 展开更多
关键词 微流体系统 有源微阀 无源微阀 常闭型微阀 常开型微阀
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一种新型微流体DNA提取芯片的研究 被引量:7
12
作者 王聿佶 陈翔 +2 位作者 曹慧敏 金庆辉 赵建龙 《微纳电子技术》 CAS 2007年第9期853-856,867,共5页
介绍了一种新型的DNA提取纯化芯片,采用多层微细加工技术制作SU-8模具,制作含有微柱的三维立体结构的PDMS(聚二甲基硅氧烷)芯片,在微池内填充超顺磁性磁珠,利用固相提取法,对生物样品中的DNA进行有效快速提取。微柱结构能有效促进反应... 介绍了一种新型的DNA提取纯化芯片,采用多层微细加工技术制作SU-8模具,制作含有微柱的三维立体结构的PDMS(聚二甲基硅氧烷)芯片,在微池内填充超顺磁性磁珠,利用固相提取法,对生物样品中的DNA进行有效快速提取。微柱结构能有效促进反应液混合。整个流程快速有效,无需离心,操作简便且易于芯片集成,能在30 min内完成PCR产物的提纯。成功对大肠杆菌裂解液中的DNA进行了提取,提取产物可直接作为PCR反应的模板,较好地避免了非特异扩增的影响。 展开更多
关键词 固相提取法 聚二甲基硅氧烷 磁珠 DNA 提纯
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基于Parylene的柔性微电极阵列微加工工艺研究 被引量:7
13
作者 吴义伯 侯安州 +3 位作者 倪鹤南 徐爱兰 惠春 任秋实 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1018-1020,1036,共4页
基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设计了一... 基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设计了一种基于parylene柔性神经微电极阵列的加工工艺方法,并讨论了在流片过程中的关键问题,如掩膜层的选择、电极的剥离及焊接与封装等。该柔性微电极阵列在用于视觉假体的神经接口方面具有独特的应用优势。 展开更多
关键词 柔性微电极阵列 聚对二甲苯 微加工工艺 神经接口
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MEMS磁芯螺线管微电感的制作工艺研究 被引量:5
14
作者 高孝裕 周勇 +4 位作者 雷冲 陈吉安 倪智平 毛海平 王志民 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期513-516,共4页
采用微机电系统(MEMS)技术制作了磁芯螺线管微电感,该技术包括UV-LIGA、干法刻蚀技术、抛光和电镀技术等。研制的微电感大小为1500μm×900μm×100μm,线圈匝数为41匝,宽度为20μm,线圈之间的间隙为20μm,高深宽比为5∶1。测... 采用微机电系统(MEMS)技术制作了磁芯螺线管微电感,该技术包括UV-LIGA、干法刻蚀技术、抛光和电镀技术等。研制的微电感大小为1500μm×900μm×100μm,线圈匝数为41匝,宽度为20μm,线圈之间的间隙为20μm,高深宽比为5∶1。测试结果表明:在1~10MHz频率下,其电感量为0.408~0.326μH,Q值为1.6~4.2。 展开更多
关键词 微电感 电感量 品质因子 微机电系统
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包覆双层表面活性剂Fe_3O_4纳米粒子的制备及性能研究 被引量:5
15
作者 王煦漫 张彩宁 +1 位作者 王晓亮 古宏晨 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2007年第8期67-68,共2页
为制备稳定的水基磁流体,分别以月桂酸、油酸钠、十二烷基苯磺酸钠作为外层表面活性剂,对包油酸的Fe3O4粒子进行了再包覆。将得到的双层包覆的Fe3O4粒子分别分散在水中,发现以十二烷基苯磺酸钠为外层表面活性剂的磁粒子制成的水分散液... 为制备稳定的水基磁流体,分别以月桂酸、油酸钠、十二烷基苯磺酸钠作为外层表面活性剂,对包油酸的Fe3O4粒子进行了再包覆。将得到的双层包覆的Fe3O4粒子分别分散在水中,发现以十二烷基苯磺酸钠为外层表面活性剂的磁粒子制成的水分散液的稳定性最佳。利用IR研究其吸附机理,结果显示:内层的油酸通过化学键合吸附在磁粒子表面,外层的十二烷基苯磺酸钠通过物理作用吸附在包油酸的Fe3O4粒子表面。 展开更多
关键词 FE3O4 表面活性剂 吸附 纳米粒子
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柔性衬底MEMS技术制备脑电图干电极阵列研究 被引量:4
16
作者 吴澄 陈迪 +4 位作者 胡锐军 陈景东 陈翔 王晓韡 吕宝粮 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1035-1040,共6页
设计了一种新型的脑电图干电极,主要用于采集脑电信号以进行基于脑电图的警觉度分析,替代传统的湿电极.采用柔性衬底微电子机械系统(MEMS)加工技术,在柔性衬底上制备出具有化学稳定性与生物相容性的微针状干电极阵列.通过铜牺牲层实现... 设计了一种新型的脑电图干电极,主要用于采集脑电信号以进行基于脑电图的警觉度分析,替代传统的湿电极.采用柔性衬底微电子机械系统(MEMS)加工技术,在柔性衬底上制备出具有化学稳定性与生物相容性的微针状干电极阵列.通过铜牺牲层实现干电极微针的悬臂梁结构,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)剥离层实现器件从玻璃基底的完全释放,并经平面电极的多层组装实现了立体电极阵列.实验中干电极以聚酰亚胺作为柔性衬底,其针端及导线部分材料为镍,针端部分表面镀金.采用Neuroscan的脑电信号采集放大器对干电极性能进行了测试,测得阻抗约为10kΩ,其时域和频域信号与传统湿电极基本一致.所制备的干电极成品率高、尺寸小、屏蔽佳、装配简单、可靠性好、机械强度大,符合快速、无痛的脑电信号采集要求. 展开更多
关键词 干电极阵列 柔性衬底 微电子机械系统技术 多层组装 脑电图
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纳米压印技术中模板表面的气相法抗粘连修饰 被引量:5
17
作者 李海华 李小丽 王庆康 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1687-1689,1694,共4页
研究了采用全氟四氢辛基硅烷(F13-TCS)对纳米压印技术中所用SiO2模板进行表面修饰的情况,分析了用气相法在SiO2模板表面形成F13-TCS单分子膜的形成过程及化学机理,并用X射线光电子能谱仪(XPS)和视频光学接触角测试仪对模板修饰表面的元... 研究了采用全氟四氢辛基硅烷(F13-TCS)对纳米压印技术中所用SiO2模板进行表面修饰的情况,分析了用气相法在SiO2模板表面形成F13-TCS单分子膜的形成过程及化学机理,并用X射线光电子能谱仪(XPS)和视频光学接触角测试仪对模板修饰表面的元素成分、价态和表面能进行了测试表征,用原子力显微镜(AFM)对压印过程中的模板结构及模板复制结构进行了对比分析.结果表明,通过F13-TCS对SiO2模板的表面修饰,可以大大降低模板与压印聚合物层之间的相互作用力,在纳米压印过程中实现结构较好的转移、复制. 展开更多
关键词 纳米压印 气相法 表面修饰
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利用PZT块材制备微型压电悬臂梁采能器的研究 被引量:6
18
作者 郑慈航 唐刚 +4 位作者 刘景全 李以贵 余震 何丹农 杨春生 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第3期418-421,共4页
采用压电陶瓷(PZT)片状块材设计并制作了一种可集成于微机电系统的压电悬臂梁能量采集器。介绍了元件的整体制备流程,包括湿法化学蚀刻、反应离子(RIE)干法蚀刻、UV-LIGA等流片技术。该文利用环氧树脂将PZT紧密粘结在基片上的方法步骤... 采用压电陶瓷(PZT)片状块材设计并制作了一种可集成于微机电系统的压电悬臂梁能量采集器。介绍了元件的整体制备流程,包括湿法化学蚀刻、反应离子(RIE)干法蚀刻、UV-LIGA等流片技术。该文利用环氧树脂将PZT紧密粘结在基片上的方法步骤和工艺参数作了详细描述,最终获得了2 000μm×750μm×500μm(长×底宽×尖宽)的梯形悬臂梁结构,PZT层厚度为16.7μm,并在其自由端装配Ni质量块以降低元件的固有频率。通过自搭建的检测系统测得,该能量采集器在1阶谐振工作状态(824.7 Hz,1g加速度强度)下获得了峰-峰值为1 160 mV的输出电压,是利用PZT薄膜制备的同尺寸采能器的2倍。 展开更多
关键词 压电发电 能量采集 PZT块材 微机电系统
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聚四氟乙烯纳米化新型小口径人造血管及其通畅率研究 被引量:3
19
作者 鲍春荣 胡睿 +6 位作者 袁源 姜兆磊 闫玉梅 梅举 陈三娟 魏良明 张亚非 《中国心血管病研究》 CAS 2012年第9期692-695,699,720,共6页
目的 研究应用内表面覆盖多壁碳纳米管(MWNT)的聚四氟乙烯(PTFE)新型人造血管(PTFE-MWNT)对提高血管通畅率、减轻内膜增生的影响.方法 将MWNTs通过羧酸化及氨基化处理,分别得到功能化的MWNTs-COOH和MWNTs-NH2,然后在PTFE血管内表... 目的 研究应用内表面覆盖多壁碳纳米管(MWNT)的聚四氟乙烯(PTFE)新型人造血管(PTFE-MWNT)对提高血管通畅率、减轻内膜增生的影响.方法 将MWNTs通过羧酸化及氨基化处理,分别得到功能化的MWNTs-COOH和MWNTs-NH2,然后在PTFE血管内表面层层自组装制成PTFE-MWNT人造血管.动脉模型选用羊股动脉血管移植.16只成年公绵羊,两侧股动脉随机选用两种不同的人造血管.8只于术后3个月,另外8只于术后9个月取下双侧人造血管标本进行组织学分析.统计方法采用配对t检验.结果 PTFE-MWNT血管术后通畅率(87.5%)高于PTFE血管(62.5%),内膜增生程度较PTFE血管轻,血管内皮形成速度要快于PTFE人造血管,血管壁内的炎细胞浸润较轻;而PTFE人造血管壁内主要是炎细胞浸润,细胞增殖程度高于PTFE-MWNT人造血管.结论 用多壁碳纳米管覆盖聚四氟乙烯的内表面制成的新型人造血管,可以提高移植血管通畅率,减轻内膜增生,提高小口径人造血管移植手术的长期效果. 展开更多
关键词 人造血管 聚四氟乙烯 多壁碳纳米管
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基于狄恩流的微混合器的研究 被引量:2
20
作者 肖丽君 芦琦 +2 位作者 陈翔 李以贵 陈迪 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第1期38-44,共7页
所设计的微混合器是一种基于狄恩流的被动式混合器,该混合器的结构特点是由多个不同半径的弯曲管道双螺旋而成,中部通过"S"形管道将输入管道和输出管道相连。首先分析了狄恩流形成的机理及特点,再通过流体计算软件CFD-ACE+三... 所设计的微混合器是一种基于狄恩流的被动式混合器,该混合器的结构特点是由多个不同半径的弯曲管道双螺旋而成,中部通过"S"形管道将输入管道和输出管道相连。首先分析了狄恩流形成的机理及特点,再通过流体计算软件CFD-ACE+三维模拟并分析了不同流速对二次流强弱以及混合程度的影响,最后利用微细加工技术制作微混合器,罗丹明B溶液与去离子水用作待混合液体,利用Image J软件获取混合图像的灰度值来分析混合器的性能。 展开更多
关键词 微混合器 狄恩流 微管道 二次流 狄恩数 灰度值
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