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超短激光诱导金属薄膜后向层裂的分子动力学模拟(英文) 被引量：2: 1; 作者刘璇周伟民 +1 位作者赵丽杰张亚非《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1908-1912,共5页; 采用结合双温模型的分子动力学方法详尽描述了应力约束区域内部金属薄膜后向层裂的动力学过程。与辐照表面在激光加热作用下机械稳定性受到强烈影响而发生的前向喷射不同,后向层裂是冷材料的断裂。分析了层裂机制,得出靶材是在卸载波及... 展开更多; 关键词后向层裂超短激光分子动力学金属薄膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

微机电系统惯性电学开关的设计与制作被引量：7: 2; 作者杨卓青丁桂甫 +2 位作者蔡豪刚刘瑞赵小林《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1033-1036,共4页; 基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动电极位于支撑层和弹性梁之间,该结构在保证微开关具有足够灵... 展开更多; 关键词非硅表面微加工微型惯性开关设计与制作微机电系统(MEMS); 在线阅读下载PDF 职称材料

基于MEMS工艺的异性材料定向天线(英文) 被引量：2: 3; 作者黄闯陈迪 +6 位作者陈翔刘景全靖向萌朱军魏文婕魏泽勇李宏强《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期533-535,共3页; 制备了一种基于MEMS工艺的定向天线。以异性材料为基底的亚波长谐振腔结构有效降低了天线体积。这种天线可以用于要求高能量密度的微系统的能量传送。本文中的天线厚度为1.5mm,可工作于10GHz频段。这使得其易于与微系统集成。文中也给... 展开更多; 关键词天线 MEMS 谐振腔异性材料; 在线阅读下载PDF 职称材料

用于微机电系统的微型带阻滤波器(英文) 被引量：1: 4; 作者黄闯陈迪 +5 位作者陈翔刘景全朱军魏雯婕魏泽勇李宏强《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1244-1250,共7页; 为了实现微机电系统微波信号滤波,开发了适用于微机电系统的小尺寸左右手复合传输线微波带阻滤波器,对该滤波器的原理、结构特点、加工工艺等进行了研究。根据左手材料理论,介绍了具有蛇形槽单元的滤波器结构。以蛇形槽结构的一个单元为... 展开更多; 关键词微机电系统左右手复合传输线带阻滤波器左手材料; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于柔性衬底的三维生物刺激微电极阵列研究被引量：2: 5; 作者周然陈迪 +3 位作者黄闯陈翔刘景全朱军《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第5期134-136,共3页; 设计了一种基于聚酰亚胺薄膜的三维生物刺激微电极阵列,用于植入式人造视网膜应用。采用非硅MEMS技术,在柔性衬底上制备出具有生物相容性和化学稳定性,电极高度为80μm的生物刺激电极阵列,通过PDMS牺牲层实现器件从基底的完整释放。实... 展开更多; 关键词生物电极视觉假体 MEMS技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超短激光诱导金属薄膜后向层裂的分子动力学模拟(英文) 被引量：2: 1; 作者刘璇周伟民赵丽杰张亚非; 机构上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室佳木斯大学; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1908-1912,共5页; 基金 National Natural Science Foundation of China(60576064) Shanghai Science and Technology Grant No:0552nm033 Na-tional Basic Research Programof China(2006CB300406); 文摘采用结合双温模型的分子动力学方法详尽描述了应力约束区域内部金属薄膜后向层裂的动力学过程。与辐照表面在激光加热作用下机械稳定性受到强烈影响而发生的前向喷射不同,后向层裂是冷材料的断裂。分析了层裂机制,得出靶材是在卸载波及被反射的压力波的共同作用下发生层裂;探讨了激光诱导压力波的传播规律,预测了不同靶厚下的层裂厚度及其对层裂开始时间的影响。; 关键词后向层裂超短激光分子动力学金属薄膜; Keywords Back-surface spallation Ultrashort laser Molecular dynamics Metallic film; 分类号 O56 [理学—原子与分子物理] TN2 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微机电系统惯性电学开关的设计与制作被引量：7: 2; 作者杨卓青丁桂甫蔡豪刚刘瑞赵小林; 机构上海交通大学微米纳米加工技术国家级重点实验室; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1033-1036,共4页; 基金国家863高技术研究发展计划资助项目(2006AA04Z308) 国家重点基础研究发展计划资助项目(A1420060154); 文摘基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动电极位于支撑层和弹性梁之间,该结构在保证微开关具有足够灵敏度的同时,可有效提高两电极间的接触效果和器件的抗冲击保护。使用成本较低的多次叠层电镀镍的方法制作了设计的微型惯性开关,并对其元器件进行了试验测试,结果表明:开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.40ms和12μs,与有限元动力学仿真结果吻合较好,表现出较高的灵敏度和良好接触效果。; 关键词非硅表面微加工微型惯性开关设计与制作微机电系统(MEMS); Keywords non--silicon surface micromachining inertia micro--switch design and fabrication micro-- electro-- mechanical system （MEMS）; 分类号 TH703 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于MEMS工艺的异性材料定向天线(英文) 被引量：2: 3; 作者黄闯陈迪陈翔刘景全靖向萌朱军魏文婕魏泽勇李宏强; 机构上海交通大学微米纳米加工技术国家级重点实验室同济大学物理系; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期533-535,共3页; 基金上海市科委重点基础研究项目资助(05JC14061) 微米/纳米加工技术国家级重点实验室基金资助(9140C7903060706); 文摘制备了一种基于MEMS工艺的定向天线。以异性材料为基底的亚波长谐振腔结构有效降低了天线体积。这种天线可以用于要求高能量密度的微系统的能量传送。本文中的天线厚度为1.5mm,可工作于10GHz频段。这使得其易于与微系统集成。文中也给出了仿真及实验的结果,并介绍了天线的加工过程。; 关键词天线 MEMS 谐振腔异性材料; Keywords Antenna MEMS resonance cavity metamaterial; 分类号 TN603.5 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用于微机电系统的微型带阻滤波器(英文) 被引量：1: 4; 作者黄闯陈迪陈翔刘景全朱军魏雯婕魏泽勇李宏强; 机构上海交通大学微米纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室同济大学物理系; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1244-1250,共7页; 基金 Supported by the DFGInternational Research Training Group,Materials and Concepts for Advanced Interconnects the Foundation of National Key Laboratory of Micro/Nano Fabrication Technology(Grant No .9140C7903060706) Science and Technology Commission of Shanghai Municipality(Grant No .05JC14061); 文摘为了实现微机电系统微波信号滤波,开发了适用于微机电系统的小尺寸左右手复合传输线微波带阻滤波器,对该滤波器的原理、结构特点、加工工艺等进行了研究。根据左手材料理论,介绍了具有蛇形槽单元的滤波器结构。以蛇形槽结构的一个单元为例,对比传统插指电容左手单元结构,提取了蛇形槽的等效电路,并分析了蛇形槽结构单元的优点,即在相同的面积内,可以获得更大的等效电路参数。最后,结合溅射、光刻、电铸、刻蚀等MEMS技术,设计了器件的加工工艺。使用MEMS工艺,加工了主体尺寸5mm×7mm的器件。相移常数的仿真和实验结果表明,在高频带部分(2.1～5.2GHz)的相移常数为负(左手区) ,相速度与群速度方向相反,左手区的相对带宽为82.7%。结果显示,与其他设计相比,本文设计的器件尺寸小,左手区的相对带宽大。; 关键词微机电系统左右手复合传输线带阻滤波器左手材料; Keywords Micro Electromechanic System（MEMS） Composite Right/Left Handed（CRLH） transmission line band reject filter left handed material; 分类号 TN713.5 [电子电信—电路与系统] TN603.5 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于柔性衬底的三维生物刺激微电极阵列研究被引量：2: 5; 作者周然陈迪黄闯陈翔刘景全朱军; 机构上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第5期134-136,共3页; 文摘设计了一种基于聚酰亚胺薄膜的三维生物刺激微电极阵列,用于植入式人造视网膜应用。采用非硅MEMS技术,在柔性衬底上制备出具有生物相容性和化学稳定性,电极高度为80μm的生物刺激电极阵列,通过PDMS牺牲层实现器件从基底的完整释放。实验中器件以聚酰亚胺和PDMS封装,电极柱和焊盘均镀金,从而提高电极的生物相容性。采用三电极法对微电极进行了电化学性能测试,在10-1～105Hz频率范围内,其阻抗为1.5～0.3 kΩ。制造出的器件尺寸小,质量轻,可靠性高,机械柔性好,符合生物电刺激要求。; 关键词生物电极视觉假体 MEMS技术; Keywords bio-electrode visual prosthesis MEMS technique; 分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学] TP212.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	超短激光诱导金属薄膜后向层裂的分子动力学模拟(英文)	刘璇周伟民赵丽杰张亚非	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2006	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	微机电系统惯性电学开关的设计与制作	杨卓青丁桂甫蔡豪刚刘瑞赵小林	《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	7	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于MEMS工艺的异性材料定向天线(英文)	黄闯陈迪陈翔刘景全靖向萌朱军魏文婕魏泽勇李宏强	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2008	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	用于微机电系统的微型带阻滤波器(英文)	黄闯陈迪陈翔刘景全朱军魏雯婕魏泽勇李宏强	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	基于柔性衬底的三维生物刺激微电极阵列研究	周然陈迪黄闯陈翔刘景全朱军	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2010	2	在线阅读下载PDF 职称材料