镍基碳纳米管复合薄膜的电沉积技术 被引量：3

1

作者 诸利达 丁桂甫 +1 位作者 吴惠箐 汪红 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期506-510,共5页

本文选用多壁碳纳米管作为增强相材料,采用超声复合空气搅拌及复合电沉积技术,制备了碳管分散均匀,镀层表面平整的连续镍基碳纳米管复合薄膜。经扫描电子显微镜(SEM)观察,超声复合空气搅拌可以有效改善镀层中碳纳米管的分散性和镀层表... 本文选用多壁碳纳米管作为增强相材料,采用超声复合空气搅拌及复合电沉积技术,制备了碳管分散均匀,镀层表面平整的连续镍基碳纳米管复合薄膜。经扫描电子显微镜(SEM)观察,超声复合空气搅拌可以有效改善镀层中碳纳米管的分散性和镀层表面平整性。通过选择合适的电流密度和镀液中碳纳米管含量可以调整镀层中碳纳米管的复合量,并同时保持镀层的平整性和镀层中碳纳米管的分散性。在实验测定的几组数据中,当碳管量为6~8g/L,电流密度为5A/dm2,分散剂加入量为6ml^8ml/L,超声复合空气搅拌时,得到表面平整,碳纳米管分散良好的连续致密镀层。用碳硫分析仪测得碳纳米管复合量可达5.7%(体积百分比)。 展开更多

关键词 材料学 镍基复合材料 复合电沉积 碳纳米管

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平面线圈型MEMS微电磁驱动器的理论分析与实验研究 被引量：6

2

作者 杨昊宇 赵小林 +2 位作者 戴旭涵 邵国成 丁桂甫 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期1920-1923,共4页

介绍了一种平面线圈型电磁驱动的MEMS微驱动器,基于分段磁路的网络方程法,针对微电磁驱动器所采用的平面线圈的结构特点,比较了考虑磁动势的分布效应和传统的集总处理两种方法所建立的平面线圈微驱动器的非线性磁路模型.实验结果表明考... 介绍了一种平面线圈型电磁驱动的MEMS微驱动器,基于分段磁路的网络方程法,针对微电磁驱动器所采用的平面线圈的结构特点,比较了考虑磁动势的分布效应和传统的集总处理两种方法所建立的平面线圈微驱动器的非线性磁路模型.实验结果表明考虑线圈绕组半径不同而产生的分布效应可以为平面线圈型微驱动器建立可靠的模型,便于定量分析微驱动器结构物理参数对于磁通分布和电磁力的影响,从而为进一步优化设计该微电磁驱动器提供了理论分析依据. 展开更多

关键词 微机电系统(MEMS) 继电器 电磁驱动 非线性磁路

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SiC微加工工艺及其在高温电容压力传感器中的应用研究进展 被引量：2

3

作者 余开庆 程萍 +3 位作者 丁桂甫 Roya MABOUDIAN 赵小林 姚景元 《传感器与微系统》 CSCD 2018年第12期1-4,12,共5页

综述了碳化硅(SiC)材料的薄膜沉积、刻蚀、减薄、键合、欧姆接触等微加工工艺,并以SiC高温电容压力传感器为典型应用,介绍了SiC高温压力传感器的研究现状。

关键词 碳化硅 微加工工艺 高温 电容压力传感器

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用于特殊环境的薄膜应变计的制备与表征

4

作者 张丛春 康志鹏 +1 位作者 雷鹏 闫博 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期589-596,共8页

使用磁控溅射制备了卡玛合金薄膜应变计,研究了退火温度对薄膜微观结构的影响,测试了薄膜的电学性能以及压阻响应特性,并进行了环境实验。结果表明,随着退火温度升高,薄膜的电阻率逐渐下降,电阻温度系数则逐渐升高,在室温下有最小的电... 使用磁控溅射制备了卡玛合金薄膜应变计,研究了退火温度对薄膜微观结构的影响,测试了薄膜的电学性能以及压阻响应特性,并进行了环境实验。结果表明,随着退火温度升高,薄膜的电阻率逐渐下降,电阻温度系数则逐渐升高,在室温下有最小的电阻温度系数(TCR),约为59.9×10^(-6)/℃,经过200℃退火处理的薄膜应变计的应变灵敏度系数(GF)为2.2,TCR为64.4×10^(-6)/℃。经历温湿循环、盐雾、霉菌试验后,薄膜的压阻特性变化不大,能耐受海洋特殊环境。 展开更多

关键词 磁控溅射 薄膜应变计 电阻温度系数 应变因子 环境实验

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微型平面式气体火花开关的设计和制作 被引量：6

5

作者 周镇威 杨卓青 +2 位作者 丁桂甫 陆闻静 沈慧 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期1256-1260,共5页

基于表面微加工技术,设计并制作了一种微型平面式气体火花开关,其尺寸仅为1.5cm×0.5cm,对制作的微型火花开关进行电路测试,得到其输出电流峰值约为3 450A,上升时间164ns。结合实验结果,对开关器件进行电路系统仿真并提取参数,得到... 基于表面微加工技术,设计并制作了一种微型平面式气体火花开关,其尺寸仅为1.5cm×0.5cm,对制作的微型火花开关进行电路测试,得到其输出电流峰值约为3 450A,上升时间164ns。结合实验结果,对开关器件进行电路系统仿真并提取参数,得到系统电感为26.5nH,电阻为0.066Ω,与传统机械结构的立体式火花开关相比,器件参数得到显著优化。 展开更多

关键词 火花隙开关 脉冲功率 微型平面化 微机电集成制造

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MEMS薄膜热流传感器研制 被引量：11

6

作者 李娟 张丛春 +3 位作者 杨申勇 丁桂甫 董威 段力 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第5期71-73,共3页

基于微加工技术设计制备了一种微机电系统(MEMS)薄膜热流传感器。采用COMSOL软件,对不同结构参数MEMS薄膜热流计进行仿真模拟,通过对仿真结果对比和分析,优化热流传感器的设计参数。根据优化的设计参数利用MEMS工艺制备薄膜热流计。搭... 基于微加工技术设计制备了一种微机电系统(MEMS)薄膜热流传感器。采用COMSOL软件,对不同结构参数MEMS薄膜热流计进行仿真模拟,通过对仿真结果对比和分析,优化热流传感器的设计参数。根据优化的设计参数利用MEMS工艺制备薄膜热流计。搭建了标定系统,对所制备的MEMS薄膜热流计进行性能测试和标定。实验结果表明:薄膜热流计的电压输出响应曲线的变化趋势和仿真结果一致,此外,薄膜热流计的输出电压和热流密度呈良好的线性关系。 展开更多

关键词 微机电系统技术 热流传感器 聚酰亚胺 COMSOL仿真

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一种新型双稳态微机电系统电磁微继电器的研制 被引量：3

7

作者 付世 丁桂甫 王艳 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1947-1950,1954,共5页

介绍了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新型双稳态电磁微继电器的设计及其制作工艺,并对其主要性能进行了测试.利用换向脉冲电流驱动高效的“三明治”式电磁驱动结构,带动电接触刷的运动来控制外电路的通断;辅助设计的永磁稳定结构使器... 介绍了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新型双稳态电磁微继电器的设计及其制作工艺,并对其主要性能进行了测试.利用换向脉冲电流驱动高效的“三明治”式电磁驱动结构,带动电接触刷的运动来控制外电路的通断;辅助设计的永磁稳定结构使器件在脉冲间歇能够保持稳定状态而无需额外功耗.测试结果表明,这种新型电磁微继电器具有体积小,功耗低,响应速度快,接触电阻小等优点. 展开更多

关键词 微机电系统 电磁微继电器 双稳态

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红外显微热成像系统研究及应用 被引量：8

8

作者 岳静静 吴之茂 +3 位作者 木二珍 罗宏 姜杰 胡志宇 《红外技术》 CSCD 北大核心 2017年第11期973-978,共6页

红外显微热成像系统基于红外热成像、红外图像处理和光学显微技术,能够分析微小物体或局部细节的温度变化,具有无损检测、灵敏度高等优点。对红外显微热成像系统的研究背景进行了概括,介绍了它的基本原理和系统组成,总结了红外显微热成... 红外显微热成像系统基于红外热成像、红外图像处理和光学显微技术,能够分析微小物体或局部细节的温度变化,具有无损检测、灵敏度高等优点。对红外显微热成像系统的研究背景进行了概括,介绍了它的基本原理和系统组成,总结了红外显微热成像系统的研究现状及其在微电子器件检测、医学诊断、科学实验研究等方面的应用进展,对其存在的问题进行了分析,并且展望了红外显微热成像系统的未来发展趋势。 展开更多

关键词 红外热成像 红外探测器 红外显微热成像系统

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基于NSCT-PCNN的多聚焦红外图像融合 被引量：6

9

作者 岳静静 李茂忠 +2 位作者 陈骥 罗永芳 胡志宇 《红外技术》 CSCD 北大核心 2017年第9期798-806,共9页

由于红外镜头景深的限制,为获得场景中所有区域都聚焦清晰的图像,提出一种在非下采样轮廓波变换(NSCT)域结合改进的脉冲耦合神经网络(PCNN)的多聚焦红外图像的融合算法。首先通过NSCT将图像分解为不同尺度和方向的子带;低频子带图像利... 由于红外镜头景深的限制,为获得场景中所有区域都聚焦清晰的图像,提出一种在非下采样轮廓波变换(NSCT)域结合改进的脉冲耦合神经网络(PCNN)的多聚焦红外图像的融合算法。首先通过NSCT将图像分解为不同尺度和方向的子带;低频子带图像利用基于一致性验证的特征选择规则进行融合;对于高频子带,采用改进的空域频率激励PCNN模型,选择点火时间最大的系数进行融合;最后通过NSCT反变换得到融合图像。通过多组同一场景不同聚焦位置下的红外图像融合实验,结果分析表明该算法能从源图像中获得更多的信息,更好地保留源图像的边缘信息,融合效果优于相关算法。 展开更多

关键词 红外图像 多聚焦图像融合 脉冲耦合神经网络 非下采样轮廓波变换

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一种基于MEMS的主动式光纤连接器

10

作者 张丹 丁桂甫 +2 位作者 蔡玉丽 王艳 杨卓青 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第4期92-93,96,共3页

介绍一种基于MEMS技术的主动式光纤连接器,上层为双层结构电热驱动器,下层为硅V型槽。双层结构在常温下作为压制光纤的盖板,通电后作为单稳态电热驱动器,盖板翘曲,放入或取出光纤。利用Ansys有限元分析软件并结合工艺条件,对热驱动器部... 介绍一种基于MEMS技术的主动式光纤连接器,上层为双层结构电热驱动器,下层为硅V型槽。双层结构在常温下作为压制光纤的盖板,通电后作为单稳态电热驱动器,盖板翘曲,放入或取出光纤。利用Ansys有限元分析软件并结合工艺条件,对热驱动器部件的性能进行了分析与仿真。利用表面硅工艺和体硅工艺制备出核心驱动部分,检测盖板翘曲情况下性能。 展开更多

关键词 光纤连接器 微机电系统 双层薄膜

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超微仿生扑翼飞行器压电双晶驱动器仿真与优化 被引量：5

11

作者 谭小波 张卫平 +3 位作者 迟鹏程 柯希俊 邹才均 陈文元 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期1852-1856,共5页

为了设计高性能的超微仿生扑翼飞行器压电双晶驱动器,提出了结合正交试验与压电场、应力场等多物理场直接耦合有限元法,对微驱动器的结构、几何参数进行优化.根据正交试验表设计有限元仿真分析试验,对试验结果进行极差分析,得到各影响... 为了设计高性能的超微仿生扑翼飞行器压电双晶驱动器,提出了结合正交试验与压电场、应力场等多物理场直接耦合有限元法,对微驱动器的结构、几何参数进行优化.根据正交试验表设计有限元仿真分析试验,对试验结果进行极差分析,得到各影响因素对驱动器弯曲角度指标影响的主次顺序,并获得了提高压电双晶片驱动器性能的最优化方案.仿真结果表明,多物理场优化方法大幅度提高了扑动角度,满足超微扑翼飞行器的设计要求. 展开更多

关键词 压电双晶片 有限元 正交试验 优化设计

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一种新型三维多方向敏感的非硅微机械惯性开关 被引量：5

12

作者 朱斌 杨卓青 +2 位作者 陈文国 丁桂甫 赵小林 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2013年第5期104-107,118,共5页

基于非硅表面微加工技术,设计并制造一种新型三维多方向敏感的微惯性开关。选用弹簧-质量块-阻尼的典型碰撞结构,主要由可动电极悬臂梁弹簧—质量块系统、水平固定电极、垂直复合柔性固定电极三部分组成。利用ANSYS有限元软件对器件进... 基于非硅表面微加工技术,设计并制造一种新型三维多方向敏感的微惯性开关。选用弹簧-质量块-阻尼的典型碰撞结构,主要由可动电极悬臂梁弹簧—质量块系统、水平固定电极、垂直复合柔性固定电极三部分组成。利用ANSYS有限元软件对器件进行模态和动力学碰撞仿真分析,并对该微机械惯性开关进行落锤冲击试验,结果表明,在水平和竖直方向的阈值均为50～60g,接触时间可稳定在40μs以上。 展开更多

关键词 惯性开关 微机电系统 多向敏感

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柔性微热剪切应力传感器阵列 被引量：3

13

作者 王文君 刘武 +4 位作者 张卫平 陈文元 杨春生 崔峰 吴校生 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期984-988,998,共6页

设计了一种基于微机电系统的、制备在柔性聚酰亚胺衬底上的双热线结构微型热剪切应力传感器阵列,可用于复杂形状物体表面所受剪切应力的矢量化测量.基于传感器的原理,用Comsol软件对传感器进行了温度场和流场的仿真,说明了传感器制作工... 设计了一种基于微机电系统的、制备在柔性聚酰亚胺衬底上的双热线结构微型热剪切应力传感器阵列,可用于复杂形状物体表面所受剪切应力的矢量化测量.基于传感器的原理,用Comsol软件对传感器进行了温度场和流场的仿真,说明了传感器制作工艺流程,用硅橡胶与聚酰亚胺在酒精中浸泡后易于剥离的特点实现柔性传感器脱膜.对传感器实物进行了温度电阻系数和响应频率的测试.实验结果表明,设计的工艺路线简单,结构参数合理,可以实现所需柔性传感器阵列. 展开更多

关键词 热剪切应力 微机电系统 柔性传感器 聚酰亚胺

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基于聚酰亚胺基底的热剪切应力传感器设计 被引量：4

14

作者 孙永明 刘武 +1 位作者 张卫平 陈宏海 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第8期92-94,101,共4页

设计了一种基于柔性MEMS技术的双热线结构剪切应力传感器,可以实现曲体表面上二维剪切应力的矢量测量,对于实现流场的主动控制具有重要的意义。介绍了双热线热剪切应力传感器及其阵列的原理和结构设计;通过有限元仿真分析对器件的尺寸... 设计了一种基于柔性MEMS技术的双热线结构剪切应力传感器,可以实现曲体表面上二维剪切应力的矢量测量,对于实现流场的主动控制具有重要的意义。介绍了双热线热剪切应力传感器及其阵列的原理和结构设计;通过有限元仿真分析对器件的尺寸参数进行了优化设计;利用MEMS工艺制作方法,实现了信号背线引接技术,减少了对流场的干扰。实验结果表明:工艺流程设计和器件参数设计合理,传感器阵列具有良好测试性能。 展开更多

关键词 柔性传感器阵列 双热线 聚酰亚胺 有限元分析 MEMS

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一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器的研究 被引量：4

15

作者 张晓鹏 戴旭涵 +2 位作者 苗小丹 丁桂甫 赵小林 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第6期117-120,共4页

介绍了一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器,通过理论分析和有限元分析工具Ansys对器件的结构参数进行了优化设计,并证明了设计的可行性。利用金属基表面微加工技术与体硅微加工技术成功制作出这种驱动器,并对其弹性平台的弹性系数进行了标... 介绍了一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器,通过理论分析和有限元分析工具Ansys对器件的结构参数进行了优化设计,并证明了设计的可行性。利用金属基表面微加工技术与体硅微加工技术成功制作出这种驱动器,并对其弹性平台的弹性系数进行了标定,对驱动器的双稳态进行了调试。结果表明:此驱动器具有良好的双稳特性,响应时间短(约10m s)的特点。 展开更多

关键词 微机电系统 电磁驱动 微电铸 湿法腐蚀

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胶体金标记免疫凝集光度法检测癌胚抗原 被引量：3

16

作者 敖丽梅 高峰 +2 位作者 潘碧峰 崔大祥 贺蓉 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1448-1451,共4页

利用胶体金特殊的光学性能,结合抗原抗体相互反应的免疫分析技术,建立一种基于胶体金标记技术的免疫凝集方法分析检测癌胚抗原.采用胶体金纳米粒子分别标记癌胚抗原的两种抗体,通过免疫夹心反应,使胶体金粒子之间凝集形成网络结构,从而... 利用胶体金特殊的光学性能,结合抗原抗体相互反应的免疫分析技术,建立一种基于胶体金标记技术的免疫凝集方法分析检测癌胚抗原.采用胶体金纳米粒子分别标记癌胚抗原的两种抗体,通过免疫夹心反应,使胶体金粒子之间凝集形成网络结构,从而引起反应体系光学性质的改变.随着癌胚抗原量的增加,抗原与胶体金粒子标记抗体的反应量不断增加,网络结构也越来越大,使得胶体金粒子在646 nm处的吸收值不断增加.根据胶体金吸光值的变化,检测溶液中癌胚抗原的浓度,最低检测极限为15μg/L.该方法只需要测量胶体金光吸收值的变化,就可以检测癌胚抗原在溶液中的浓度,快速、简便,不需要昂贵的仪器设备,易于推广使用. 展开更多

关键词 胶体金 免疫分析 癌胚抗原

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基于热电堆的新型高温薄膜热流传感器的研制 被引量：6

17

作者 郭林琪 张梅菊 +4 位作者 金毅 王禹森 胡国胜 杨伸勇 张丛春 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第9期1167-1173,共7页

精确的热流测量对航空发动机设计至关重要,实时监测和获取发动机涡轮叶片表面精确的热流分布可以为航空发动机热端部件设计提供依据,也可以进行状态监测和故障诊断。薄膜热流传感器具有体积小、响应速度快、对工作环境的流动干扰小等优... 精确的热流测量对航空发动机设计至关重要,实时监测和获取发动机涡轮叶片表面精确的热流分布可以为航空发动机热端部件设计提供依据,也可以进行状态监测和故障诊断。薄膜热流传感器具有体积小、响应速度快、对工作环境的流动干扰小等优点。然而,目前能够应用于高温高热流环境中测量的薄膜热流传感器在灵敏度方面仍然存在较大的局限性。设计和制造了基于铂铑热电堆的新型高温薄膜热流传感器。该传感器由Pt/Pt-13Rh薄膜热电堆、底层SiO_(2)/Al_(2)O_(3)热阻层、顶层Al_(2)O_(3)保护层组成,底层SiO_(2)/Al_(2)O_(3)热阻层位于Al_(2)O_(3)陶瓷基底和热电堆之间。传感器分别在0~110 kW/m^(2)的热流和1 000℃的温度下进行了测试。测试结果显示,传感器的输出与施加的热流表现出良好的线性关系,灵敏度为8.04×10^(-6)V/(kW/m^(2)),实验数据与仿真结果相近。具有Al_(2)O_(3)保护层的传感器在1 000℃中保温3 h后电阻、灵敏度及响应特性基本上不受影响。设计的新型高温薄膜热流传感器具有较高的灵敏度和可靠性,将为高温环境中的热流测量提供一种新方法。 展开更多

关键词 薄膜热流传感器 Pt/Pt-13Rh热电堆 塞贝克效应 高温高热流

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基于多聚焦红外图像的温度测量及三维重构 被引量：6

18

作者 刘中意 张春 胡志宇 《红外技术》 CSCD 北大核心 2015年第6期449-456,共8页

由于红外镜头景深小,测量表面超过景深范围的样品不能得到所有位置均清晰聚焦的红外图像。提出了基于多聚焦图像融合的曲面温度测量及被测物体三维重构的方法。该方法采集同一视场不同聚焦深度的红外图像,利用多聚焦图像融合算法,获取... 由于红外镜头景深小,测量表面超过景深范围的样品不能得到所有位置均清晰聚焦的红外图像。提出了基于多聚焦图像融合的曲面温度测量及被测物体三维重构的方法。该方法采集同一视场不同聚焦深度的红外图像,利用多聚焦图像融合算法,获取所有位置均清晰聚焦的红外图像,即准确的红外信息。再查温度标定表,根据灰度值可得准确的温度值。最后,利用多聚焦图像系列附带的深度信息重构出表面三维高度图。实验表明,应用此方法可以准确测量物体表面温度信息,三维重构图与全聚焦图像形成信息互补。 展开更多

关键词 红外热像 多聚焦图像融合 温度测量 三维重构

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新型复合结构电热微驱动器的研制 被引量：2

19

作者 曾文光 丁桂甫 +2 位作者 王艳 付世 蔡玉丽 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第5期117-120,共4页

在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明:新型电... 在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明:新型电热微驱动器有更低的能耗和更大的位移。采用非硅表面微加工技术,成功制备了新型复合结构电热微驱动器。 展开更多

关键词 聚合物 复合结构 电热微驱动器 有限元分析 非硅表面微加工

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一种集成型双稳态微电磁继电器工艺及动态性能的研究 被引量：1

20

作者 孔令飞 戴旭涵 +2 位作者 苗晓丹 丁桂甫 赵小林 《南京师大学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期40-44,共5页

介绍了一种集成型双稳态微电磁继电器,利用金属基表面微加工技术和体微加工技术成功完成了弹簧和起气隙作用的SU-8垫片的集成制造.用Ansys和Matlab软件对其进行初步的研究设计仿真,证明了设计的可行性.并研究了该继电器的双稳态性能,分... 介绍了一种集成型双稳态微电磁继电器,利用金属基表面微加工技术和体微加工技术成功完成了弹簧和起气隙作用的SU-8垫片的集成制造.用Ansys和Matlab软件对其进行初步的研究设计仿真,证明了设计的可行性.并研究了该继电器的双稳态性能,分析了该微电磁继电器的动态特性,探讨了触点间产生碰撞的原因以及消除抖动的方法,为实现下一代体积更小、损耗更低、响应时间更短的继电器打下了良好的基础. 展开更多

关键词 微机电系统 电磁继电器 碰撞 动态测试

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