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超短激光诱导金属薄膜后向层裂的分子动力学模拟(英文) 被引量：2
1
作者 刘璇 周伟民 +1 位作者 赵丽杰 张亚非 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1908-1912,共5页
采用结合双温模型的分子动力学方法详尽描述了应力约束区域内部金属薄膜后向层裂的动力学过程。与辐照表面在激光加热作用下机械稳定性受到强烈影响而发生的前向喷射不同,后向层裂是冷材料的断裂。分析了层裂机制,得出靶材是在卸载波及... 采用结合双温模型的分子动力学方法详尽描述了应力约束区域内部金属薄膜后向层裂的动力学过程。与辐照表面在激光加热作用下机械稳定性受到强烈影响而发生的前向喷射不同,后向层裂是冷材料的断裂。分析了层裂机制,得出靶材是在卸载波及被反射的压力波的共同作用下发生层裂;探讨了激光诱导压力波的传播规律,预测了不同靶厚下的层裂厚度及其对层裂开始时间的影响。 展开更多
关键词 后向层裂 超短激光 分子动力学 金属薄膜
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一种新型双稳态微机电系统电磁微继电器的研制 被引量：3
2
作者 付世 丁桂甫 王艳 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1947-1950,1954,共5页
介绍了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新型双稳态电磁微继电器的设计及其制作工艺,并对其主要性能进行了测试.利用换向脉冲电流驱动高效的“三明治”式电磁驱动结构,带动电接触刷的运动来控制外电路的通断;辅助设计的永磁稳定结构使器... 介绍了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新型双稳态电磁微继电器的设计及其制作工艺,并对其主要性能进行了测试.利用换向脉冲电流驱动高效的“三明治”式电磁驱动结构,带动电接触刷的运动来控制外电路的通断;辅助设计的永磁稳定结构使器件在脉冲间歇能够保持稳定状态而无需额外功耗.测试结果表明,这种新型电磁微继电器具有体积小,功耗低,响应速度快,接触电阻小等优点. 展开更多
关键词 微机电系统 电磁微继电器 双稳态
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一种基于MEMS的主动式光纤连接器
3
作者 张丹 丁桂甫 +2 位作者 蔡玉丽 王艳 杨卓青 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第4期92-93,96,共3页
介绍一种基于MEMS技术的主动式光纤连接器,上层为双层结构电热驱动器,下层为硅V型槽。双层结构在常温下作为压制光纤的盖板,通电后作为单稳态电热驱动器,盖板翘曲,放入或取出光纤。利用Ansys有限元分析软件并结合工艺条件,对热驱动器部... 介绍一种基于MEMS技术的主动式光纤连接器,上层为双层结构电热驱动器,下层为硅V型槽。双层结构在常温下作为压制光纤的盖板,通电后作为单稳态电热驱动器,盖板翘曲,放入或取出光纤。利用Ansys有限元分析软件并结合工艺条件,对热驱动器部件的性能进行了分析与仿真。利用表面硅工艺和体硅工艺制备出核心驱动部分,检测盖板翘曲情况下性能。 展开更多
关键词 光纤连接器 微机电系统 双层薄膜
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UV-LIGA中光源波长和曝光量对SU-8光刻胶微结构的影响
4
作者 张晔 陈迪 +2 位作者 张金娅 朱军 刘景全 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期437-440,共4页
基于UV-LIGA技术采用SU-8光刻胶制备了高深宽比微结构,最高深宽比达20:1.研究了改变光源的波长和曝光量对SU-8光刻胶成形的影响,揭示了在一定范围内线宽随曝光量非线性变化的规律.从聚合度和聚合所得高分子结构两方面对该变化规律给出... 基于UV-LIGA技术采用SU-8光刻胶制备了高深宽比微结构,最高深宽比达20:1.研究了改变光源的波长和曝光量对SU-8光刻胶成形的影响,揭示了在一定范围内线宽随曝光量非线性变化的规律.从聚合度和聚合所得高分子结构两方面对该变化规律给出了合理的解释,并基于该变化规律提出了一种新的消除微结构倒角的方法. 展开更多
关键词 UV-LIGA技术 SU-8胶 高深宽比微结构 倒角
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一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器的研究 被引量：4
5
作者 张晓鹏 戴旭涵 +2 位作者 苗小丹 丁桂甫 赵小林 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第6期117-120,共4页
介绍了一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器,通过理论分析和有限元分析工具Ansys对器件的结构参数进行了优化设计,并证明了设计的可行性。利用金属基表面微加工技术与体硅微加工技术成功制作出这种驱动器,并对其弹性平台的弹性系数进行了标... 介绍了一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器,通过理论分析和有限元分析工具Ansys对器件的结构参数进行了优化设计,并证明了设计的可行性。利用金属基表面微加工技术与体硅微加工技术成功制作出这种驱动器,并对其弹性平台的弹性系数进行了标定,对驱动器的双稳态进行了调试。结果表明:此驱动器具有良好的双稳特性,响应时间短(约10m s)的特点。 展开更多
关键词 微机电系统 电磁驱动 微电铸 湿法腐蚀
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胶体金标记免疫凝集光度法检测癌胚抗原 被引量：3
6
作者 敖丽梅 高峰 +2 位作者 潘碧峰 崔大祥 贺蓉 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1448-1451,共4页
利用胶体金特殊的光学性能,结合抗原抗体相互反应的免疫分析技术,建立一种基于胶体金标记技术的免疫凝集方法分析检测癌胚抗原.采用胶体金纳米粒子分别标记癌胚抗原的两种抗体,通过免疫夹心反应,使胶体金粒子之间凝集形成网络结构,从而... 利用胶体金特殊的光学性能,结合抗原抗体相互反应的免疫分析技术,建立一种基于胶体金标记技术的免疫凝集方法分析检测癌胚抗原.采用胶体金纳米粒子分别标记癌胚抗原的两种抗体,通过免疫夹心反应,使胶体金粒子之间凝集形成网络结构,从而引起反应体系光学性质的改变.随着癌胚抗原量的增加,抗原与胶体金粒子标记抗体的反应量不断增加,网络结构也越来越大,使得胶体金粒子在646 nm处的吸收值不断增加.根据胶体金吸光值的变化,检测溶液中癌胚抗原的浓度,最低检测极限为15μg/L.该方法只需要测量胶体金光吸收值的变化,就可以检测癌胚抗原在溶液中的浓度,快速、简便,不需要昂贵的仪器设备,易于推广使用. 展开更多
关键词 胶体金 免疫分析 癌胚抗原
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新型复合结构电热微驱动器的研制 被引量：2
7
作者 曾文光 丁桂甫 +2 位作者 王艳 付世 蔡玉丽 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第5期117-120,共4页
在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明:新型电... 在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明:新型电热微驱动器有更低的能耗和更大的位移。采用非硅表面微加工技术,成功制备了新型复合结构电热微驱动器。 展开更多
关键词 聚合物 复合结构 电热微驱动器 有限元分析 非硅表面微加工
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基于柔性衬底的三维生物刺激微电极阵列研究 被引量：2
8
作者 周然 陈迪 +3 位作者 黄闯 陈翔 刘景全 朱军 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第5期134-136,共3页
设计了一种基于聚酰亚胺薄膜的三维生物刺激微电极阵列,用于植入式人造视网膜应用。采用非硅MEMS技术,在柔性衬底上制备出具有生物相容性和化学稳定性,电极高度为80μm的生物刺激电极阵列,通过PDMS牺牲层实现器件从基底的完整释放。实... 设计了一种基于聚酰亚胺薄膜的三维生物刺激微电极阵列,用于植入式人造视网膜应用。采用非硅MEMS技术,在柔性衬底上制备出具有生物相容性和化学稳定性,电极高度为80μm的生物刺激电极阵列,通过PDMS牺牲层实现器件从基底的完整释放。实验中器件以聚酰亚胺和PDMS封装,电极柱和焊盘均镀金,从而提高电极的生物相容性。采用三电极法对微电极进行了电化学性能测试,在10-1～105Hz频率范围内,其阻抗为1.5～0.3 kΩ。制造出的器件尺寸小,质量轻,可靠性高,机械柔性好,符合生物电刺激要求。 展开更多
关键词 生物电极 视觉假体 MEMS技术
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一种集成型双稳态微电磁继电器工艺及动态性能的研究 被引量：1
9
作者 孔令飞 戴旭涵 +2 位作者 苗晓丹 丁桂甫 赵小林 《南京师大学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期40-44,共5页
介绍了一种集成型双稳态微电磁继电器,利用金属基表面微加工技术和体微加工技术成功完成了弹簧和起气隙作用的SU-8垫片的集成制造.用Ansys和Matlab软件对其进行初步的研究设计仿真,证明了设计的可行性.并研究了该继电器的双稳态性能,分... 介绍了一种集成型双稳态微电磁继电器,利用金属基表面微加工技术和体微加工技术成功完成了弹簧和起气隙作用的SU-8垫片的集成制造.用Ansys和Matlab软件对其进行初步的研究设计仿真,证明了设计的可行性.并研究了该继电器的双稳态性能,分析了该微电磁继电器的动态特性,探讨了触点间产生碰撞的原因以及消除抖动的方法,为实现下一代体积更小、损耗更低、响应时间更短的继电器打下了良好的基础. 展开更多
关键词 微机电系统 电磁继电器 碰撞 动态测试
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一种回折梁结构低频压电能量采集器 被引量：1
10
作者 牟方晓 王淇 刘景全 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第1期93-96,共4页
为满足振动频率在一定范围内变动,且在空间有限的环境下无线传感器系统的自供能需求,设计了一种具有3个自由度的回折梁振动压电能量采集器。基于系统结构和工作原理,进行了理论分析及建立了回折梁结构有限元模型,并对该模型进行了有限... 为满足振动频率在一定范围内变动,且在空间有限的环境下无线传感器系统的自供能需求,设计了一种具有3个自由度的回折梁振动压电能量采集器。基于系统结构和工作原理,进行了理论分析及建立了回折梁结构有限元模型,并对该模型进行了有限元分析和模态仿真。制作回折梁压电能量采集器的原理样机,搭建试验平台,在振动台上进行试验。试验结果表明,理论分析、有限元模拟结果与实验结果吻合,在3.5~8.5 Hz低频振动下能产生大于5 V的电压,最高输出电压约为17.5 V,是传统单梁结构的1.4倍,且具有3个输出电压峰,工作带宽为传统单梁结构的4.5倍,实现了宽频效果。所提出的回折梁结构压电能量采集器在低频、振动频率变化的环境中有效且自适应。 展开更多
关键词 压电 回折梁 能量采集器 宽频 三自由度
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