镍基碳纳米管复合薄膜的电沉积技术 被引量：3

1

作者 诸利达 丁桂甫 +1 位作者 吴惠箐 汪红 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期506-510,共5页

本文选用多壁碳纳米管作为增强相材料,采用超声复合空气搅拌及复合电沉积技术,制备了碳管分散均匀,镀层表面平整的连续镍基碳纳米管复合薄膜。经扫描电子显微镜(SEM)观察,超声复合空气搅拌可以有效改善镀层中碳纳米管的分散性和镀层表... 本文选用多壁碳纳米管作为增强相材料,采用超声复合空气搅拌及复合电沉积技术,制备了碳管分散均匀,镀层表面平整的连续镍基碳纳米管复合薄膜。经扫描电子显微镜(SEM)观察,超声复合空气搅拌可以有效改善镀层中碳纳米管的分散性和镀层表面平整性。通过选择合适的电流密度和镀液中碳纳米管含量可以调整镀层中碳纳米管的复合量,并同时保持镀层的平整性和镀层中碳纳米管的分散性。在实验测定的几组数据中,当碳管量为6~8g/L,电流密度为5A/dm2,分散剂加入量为6ml^8ml/L,超声复合空气搅拌时,得到表面平整,碳纳米管分散良好的连续致密镀层。用碳硫分析仪测得碳纳米管复合量可达5.7%(体积百分比)。 展开更多

关键词 材料学 镍基复合材料 复合电沉积 碳纳米管

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MEMS微电磁驱动器的分段磁路模型及实验研究 被引量：2

2

作者 鲁李乐 赵小林 +2 位作者 戴旭涵 刘亮 丁桂甫 《电子器件》 CAS 2008年第5期1537-1541,共5页

介绍了一种MEMS电磁微驱动器。基于分段磁路的网络方程法,针对微电磁驱动器所采用的平面线圈的结构特点,建立了平面线圈微驱动器的非线性磁路模型。实验结果表明,考虑线圈绕组半径不同而产生的磁动势分布效应可以为平面线圈型微驱动器... 介绍了一种MEMS电磁微驱动器。基于分段磁路的网络方程法,针对微电磁驱动器所采用的平面线圈的结构特点,建立了平面线圈微驱动器的非线性磁路模型。实验结果表明,考虑线圈绕组半径不同而产生的磁动势分布效应可以为平面线圈型微驱动器建立可靠的模型。采用硅微细加工技术和微电铸技术成功地制作出了这种微驱动器,并对器件的性能进行了测试,测试结果表明,该模型能很好地计算驱动器的电磁力。 展开更多

关键词 微机电系统(MEMS) 电磁驱动 分布磁动势

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电极激励超声谐振谱压电材料定征技术 被引量：1

3

作者 曾照丰 吴校生 +3 位作者 黄山 熊越夫 赵俊军 冯其云 《压电与声光》 CAS 北大核心 2021年第3期421-425,共5页

超声谐振谱(RUS)是一种压电材料单样品定征技术,避免了多样品造成的结果不自洽问题。现有的谐振谱激励方法常使用超声换能器定点激励-拾取,需要有复杂的测试装置。该文提出了一种电极激励-拾取法来获取压电谐振器的超声谐振谱,该方法测... 超声谐振谱(RUS)是一种压电材料单样品定征技术,避免了多样品造成的结果不自洽问题。现有的谐振谱激励方法常使用超声换能器定点激励-拾取,需要有复杂的测试装置。该文提出了一种电极激励-拾取法来获取压电谐振器的超声谐振谱,该方法测试装置简单,同时还可获得模态振型的对称特性,避免了反演过程中峰丢失和错峰拟合。基于现场可编程门阵列(FPGA)技术搭建了压电谐振器分组扫频激励电路,通过电荷放大器拾取谐振峰。结果表明,通过Levenberg-Marquardt算法可完成测试频谱和计算频谱的匹配,成功获得了优化后压电材料参数。 展开更多

关键词 超声谐振谱(RUS) 压电材料 定征 电极激励 LEVENBERG-MARQUARDT算法

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光刻与化学机械抛光技术原位集成制备SU-8微透镜阵列 被引量：1

4

作者 张清泽 吴永进 +3 位作者 马闯北 石现 孙云娜 丁桂甫 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第2期305-312,共8页

垂直腔面发射激光器通常与微光学元件组合使用,以改善激光束的聚焦或准直效果。研究了一种光刻和化学机械抛光技术相结合的新工艺方法,用于原位制备SU-8微透镜阵列。通过调控光刻参数,可以精确控制微透镜的直径与高度。实验制备了不同... 垂直腔面发射激光器通常与微光学元件组合使用,以改善激光束的聚焦或准直效果。研究了一种光刻和化学机械抛光技术相结合的新工艺方法,用于原位制备SU-8微透镜阵列。通过调控光刻参数,可以精确控制微透镜的直径与高度。实验制备了不同尺寸的SU-8微透镜阵列,它们具有光滑的表面,分辨率可达12.7 lp/mm,展示出良好的光学特性与高稳定性。这是一种低成本和高良率的微透镜制备方法,适用于在已成型的垂直腔面发射激光器表面原位集成制备高精度定位的微透镜,无需额外的光学对准、转移和键合步骤。 展开更多

关键词 微透镜阵列 SU-8 原位 化学机械抛光 垂直腔面发射激光器

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可用于双足导航系统的视觉位姿测量研究

5

作者 翁垚坤 朱茂然 武元新 《信息技术》 2024年第3期1-9,共9页

以惯性传感器为主、其它传感器为辅的导航方式是室内导航领域的研究热点。文中以双足行人导航系统为研究背景,以足部固定标志物为标靶,设计了基于透视n点(Perspective-n-Point,PnP)问题的视觉位姿测量算法。针对双足行人导航系统中的位... 以惯性传感器为主、其它传感器为辅的导航方式是室内导航领域的研究热点。文中以双足行人导航系统为研究背景,以足部固定标志物为标靶,设计了基于透视n点(Perspective-n-Point,PnP)问题的视觉位姿测量算法。针对双足行人导航系统中的位姿测量问题进行了仿真和实验,评估了单目相机估算位姿的精确性,实验结果验证了文中方法的有效性。 展开更多

关键词 双足导航系统 位姿测量 透视n点算法 单目相机 联合标定

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微起爆序列设计及传爆与隔爆性能 被引量：9

6

作者 解瑞珍 褚恩义 +5 位作者 戴旭涵 苏谦 薛艳 任小明 刘兰 刘卫 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期1178-1184,共7页

为满足引信微小型化发展的需求,基于微机电系统(MEMS)工艺技术设计了由微起爆器、飞片、MEMS安全保险机构等构成的微起爆序列。依照国家军用标准GJB 5309.17—2004(K)火工品试验方法:轴向输出测定铝块凹痕法,对微起爆器装药、安全保险... 为满足引信微小型化发展的需求,基于微机电系统(MEMS)工艺技术设计了由微起爆器、飞片、MEMS安全保险机构等构成的微起爆序列。依照国家军用标准GJB 5309.17—2004(K)火工品试验方法:轴向输出测定铝块凹痕法,对微起爆器装药、安全保险机构传爆空腔等参数不同时内置MEMS安全保险机构起爆序列的传爆性能进行测试,获得微起爆序列理想的设计参数,即微起爆器装药密度为1.67 g/cm3、装药直径为2.0 mm、装药高度为1.5 mm,安全保险机构传爆空腔直径为1.0~2.0 mm、高度为0.65~1.50 mm.在序列优化设计基础上对微起爆序列隔爆性能及解除保险功能进行测试,发现当滑块厚度≮0.3 mm时序列正常隔爆,发射过载21000 g、转速6000 r/min条件下序列正常解除保险。结果表明,利用安全保险机构传爆空腔作为加速膛,采用微起爆器驱动飞片冲击起爆下一级装药的爆轰能量放大方式,实现了序列传爆、隔爆、解除保险功能,有效减少了起爆序列初级装药量和轴向尺寸。 展开更多

关键词 火工品 引信 微起爆序列 微起爆器 微机电系统 安全保险机构 飞片

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仿昆扑翼微飞行器中高效传动铰链的研究 被引量：9

7

作者 邹才均 张卫平 +6 位作者 柯希俊 邵云立 张伟 柴双双 胡楠 叶以楠 陈文元 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期439-444,共6页

针对仿昆扑翼微飞行器对高效传动铰链的要求,从几何约束、应力条件、临界屈曲条件等方面,结合电磁驱动仿昆扑翼微飞行器对异质复合型柔性铰链进行了研究,给出了铰链的设计方法;研究了预应力对整个传动机构并联刚度以及铰链连接方式对整... 针对仿昆扑翼微飞行器对高效传动铰链的要求,从几何约束、应力条件、临界屈曲条件等方面,结合电磁驱动仿昆扑翼微飞行器对异质复合型柔性铰链进行了研究,给出了铰链的设计方法;研究了预应力对整个传动机构并联刚度以及铰链连接方式对整个传动机构串联刚度的影响;得到了传动机构中各铰链的宽度、厚度、长度、旋转刚度等设计参数.结果表明,整个传动机构的串联刚度是其并联刚度的135倍,满足了高效传递能量的要求;翅膀扑打角峰峰值达到了99.6°,较好符合了仿昆扑翼微飞行器的设计要求. 展开更多

关键词 扑翼微飞行器 复合型柔性铰链 设计方法

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微型电磁式振动能量采集器的设计和电磁特性仿真研究 被引量：6

8

作者 王佩红 戴旭涵 +1 位作者 方东明 赵小林 《合肥工业大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期518-521,526,共5页

为了设计出结构合理、性能优良的微型电磁式振动能量采集器,利用Ansoft Maxwell软件对模型的结构参数和输出电动势之间的关系进行有限元仿真,分析发现:随着圆形永磁体厚度、悬臂梁振幅的增加及悬臂梁和永磁体间距的减小,输出电动势逐渐... 为了设计出结构合理、性能优良的微型电磁式振动能量采集器,利用Ansoft Maxwell软件对模型的结构参数和输出电动势之间的关系进行有限元仿真,分析发现:随着圆形永磁体厚度、悬臂梁振幅的增加及悬臂梁和永磁体间距的减小,输出电动势逐渐增加;在永磁体半径不断增加的过程中,输出电动势会出现一极大值。根据优化原则设计出结构参数如下的模型:圆形SmCo28永磁体厚度为1 mm,半径为2 mm,悬臂梁振幅为1 mm,永磁体和悬臂梁之间的距离为1.02 mm。该模型的最大输出电动势为26 mV,最大输出功率为5.633μW。 展开更多

关键词 半导体技术 电磁式振动能量采集器 结构优化 计算机仿真 输出特性

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微流体系统中微阀的研究现状 被引量：9

9

作者 肖丽君 陈翔 +2 位作者 汪鹏 李以贵 陈迪 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第2期91-98,共8页

依据微流体系统中微阀的驱动机理,将微阀分为有源微阀和无源微阀两大类,然后对这两大类进行细分,将有源微阀分为压电、磁、静电驱动、热驱动、相变、双稳态、外部驱动等类型,将无源微阀分为悬臂梁式、薄膜式、毛细管、扭矩驱动等类型。... 依据微流体系统中微阀的驱动机理,将微阀分为有源微阀和无源微阀两大类,然后对这两大类进行细分,将有源微阀分为压电、磁、静电驱动、热驱动、相变、双稳态、外部驱动等类型,将无源微阀分为悬臂梁式、薄膜式、毛细管、扭矩驱动等类型。分别讨论了各种微阀的工作原理和性能,介绍了各类微阀的实验研究进展,指出了这些微阀的特点,突出了微阀作为微流体系统的主要元件之一,起到径流调节、开/关转换、密封生物分子和微/纳粒子等作用。回顾了微阀的发展历程,分析了目前研究过程中存在的问题,提出了微阀今后的研究方向。 展开更多

关键词 微流体系统 有源微阀 无源微阀 常闭型微阀 常开型微阀

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一种新型双稳态微机电系统电磁微继电器的研制 被引量：3

10

作者 付世 丁桂甫 王艳 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1947-1950,1954,共5页

介绍了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新型双稳态电磁微继电器的设计及其制作工艺,并对其主要性能进行了测试.利用换向脉冲电流驱动高效的“三明治”式电磁驱动结构,带动电接触刷的运动来控制外电路的通断;辅助设计的永磁稳定结构使器... 介绍了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新型双稳态电磁微继电器的设计及其制作工艺,并对其主要性能进行了测试.利用换向脉冲电流驱动高效的“三明治”式电磁驱动结构,带动电接触刷的运动来控制外电路的通断;辅助设计的永磁稳定结构使器件在脉冲间歇能够保持稳定状态而无需额外功耗.测试结果表明,这种新型电磁微继电器具有体积小,功耗低,响应速度快,接触电阻小等优点. 展开更多

关键词 微机电系统 电磁微继电器 双稳态

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超短激光诱导金属薄膜后向层裂的分子动力学模拟(英文) 被引量：2

11

作者 刘璇 周伟民 +1 位作者 赵丽杰 张亚非 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1908-1912,共5页

采用结合双温模型的分子动力学方法详尽描述了应力约束区域内部金属薄膜后向层裂的动力学过程。与辐照表面在激光加热作用下机械稳定性受到强烈影响而发生的前向喷射不同,后向层裂是冷材料的断裂。分析了层裂机制,得出靶材是在卸载波及... 采用结合双温模型的分子动力学方法详尽描述了应力约束区域内部金属薄膜后向层裂的动力学过程。与辐照表面在激光加热作用下机械稳定性受到强烈影响而发生的前向喷射不同,后向层裂是冷材料的断裂。分析了层裂机制,得出靶材是在卸载波及被反射的压力波的共同作用下发生层裂;探讨了激光诱导压力波的传播规律,预测了不同靶厚下的层裂厚度及其对层裂开始时间的影响。 展开更多

关键词 后向层裂 超短激光 分子动力学 金属薄膜

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红外显微热成像系统研究及应用 被引量：8

12

作者 岳静静 吴之茂 +3 位作者 木二珍 罗宏 姜杰 胡志宇 《红外技术》 CSCD 北大核心 2017年第11期973-978,共6页

红外显微热成像系统基于红外热成像、红外图像处理和光学显微技术,能够分析微小物体或局部细节的温度变化,具有无损检测、灵敏度高等优点。对红外显微热成像系统的研究背景进行了概括,介绍了它的基本原理和系统组成,总结了红外显微热成... 红外显微热成像系统基于红外热成像、红外图像处理和光学显微技术,能够分析微小物体或局部细节的温度变化,具有无损检测、灵敏度高等优点。对红外显微热成像系统的研究背景进行了概括,介绍了它的基本原理和系统组成,总结了红外显微热成像系统的研究现状及其在微电子器件检测、医学诊断、科学实验研究等方面的应用进展,对其存在的问题进行了分析,并且展望了红外显微热成像系统的未来发展趋势。 展开更多

关键词 红外热成像 红外探测器 红外显微热成像系统

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基于NSCT-PCNN的多聚焦红外图像融合 被引量：6

13

作者 岳静静 李茂忠 +2 位作者 陈骥 罗永芳 胡志宇 《红外技术》 CSCD 北大核心 2017年第9期798-806,共9页

由于红外镜头景深的限制,为获得场景中所有区域都聚焦清晰的图像,提出一种在非下采样轮廓波变换(NSCT)域结合改进的脉冲耦合神经网络(PCNN)的多聚焦红外图像的融合算法。首先通过NSCT将图像分解为不同尺度和方向的子带;低频子带图像利... 由于红外镜头景深的限制,为获得场景中所有区域都聚焦清晰的图像,提出一种在非下采样轮廓波变换(NSCT)域结合改进的脉冲耦合神经网络(PCNN)的多聚焦红外图像的融合算法。首先通过NSCT将图像分解为不同尺度和方向的子带;低频子带图像利用基于一致性验证的特征选择规则进行融合;对于高频子带,采用改进的空域频率激励PCNN模型,选择点火时间最大的系数进行融合;最后通过NSCT反变换得到融合图像。通过多组同一场景不同聚焦位置下的红外图像融合实验,结果分析表明该算法能从源图像中获得更多的信息,更好地保留源图像的边缘信息,融合效果优于相关算法。 展开更多

关键词 红外图像 多聚焦图像融合 脉冲耦合神经网络 非下采样轮廓波变换

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用于MEMS器件的键合工艺研究进展 被引量：12

14

作者 张东梅 叶枝灿 +1 位作者 丁桂甫 汪红 《电子工艺技术》 2005年第6期315-318,共4页

随着MEMS器件的广泛研究和快速进步,非硅基材料被广泛用于MEMS器件中。键合技术成为MEMS器件制作、组装和封装的关键性技术之一,它不仅可以降低工艺的复杂性,而且使许多新技术和新应用在MEMS器件中得以实现。目前主要的键合技术包括直... 随着MEMS器件的广泛研究和快速进步,非硅基材料被广泛用于MEMS器件中。键合技术成为MEMS器件制作、组装和封装的关键性技术之一,它不仅可以降低工艺的复杂性,而且使许多新技术和新应用在MEMS器件中得以实现。目前主要的键合技术包括直接键合、阳极键合、粘结剂键合和共晶键合。 展开更多

关键词 直接键合 阳极键合 粘结剂键合 共晶键合

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高温ITO薄膜应变计制备及压阻性能 被引量：5

15

作者 杨伸勇 张丛春 +5 位作者 杨卓青 李红芳 姚锦元 黄漫国 汪红 丁桂甫 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期145-150,共6页

高温薄膜应变计被广泛应用于极端条件热端构件的应变测量。ITO薄膜应变计通常能够应用于1000℃以上的应变测量,为了研究ITO薄膜的显微结构、XPS光谱、阻温特性及压阻响应,采用磁控溅射在陶瓷基底上制备了ITO薄膜应变计,并在高温纯N2中... 高温薄膜应变计被广泛应用于极端条件热端构件的应变测量。ITO薄膜应变计通常能够应用于1000℃以上的应变测量,为了研究ITO薄膜的显微结构、XPS光谱、阻温特性及压阻响应,采用磁控溅射在陶瓷基底上制备了ITO薄膜应变计,并在高温纯N2中热处理ITO薄膜。结果表明,其电阻温度系数稳定在-750×10-6℃-1,在1200℃下测试其应变特性,测得电阻漂移率为0.0018 h-1,应变因子为16。ITO薄膜在高温下具有稳定的电阻温度系数和低漂移率,为高温端部件应变的测量提供了可能。 展开更多

关键词 ITO薄膜应变计 热处理 高温应变测量 电阻温度系数

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胶体金标记免疫凝集光度法检测癌胚抗原 被引量：3

16

作者 敖丽梅 高峰 +2 位作者 潘碧峰 崔大祥 贺蓉 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1448-1451,共4页

利用胶体金特殊的光学性能,结合抗原抗体相互反应的免疫分析技术,建立一种基于胶体金标记技术的免疫凝集方法分析检测癌胚抗原.采用胶体金纳米粒子分别标记癌胚抗原的两种抗体,通过免疫夹心反应,使胶体金粒子之间凝集形成网络结构,从而... 利用胶体金特殊的光学性能,结合抗原抗体相互反应的免疫分析技术,建立一种基于胶体金标记技术的免疫凝集方法分析检测癌胚抗原.采用胶体金纳米粒子分别标记癌胚抗原的两种抗体,通过免疫夹心反应,使胶体金粒子之间凝集形成网络结构,从而引起反应体系光学性质的改变.随着癌胚抗原量的增加,抗原与胶体金粒子标记抗体的反应量不断增加,网络结构也越来越大,使得胶体金粒子在646 nm处的吸收值不断增加.根据胶体金吸光值的变化,检测溶液中癌胚抗原的浓度,最低检测极限为15μg/L.该方法只需要测量胶体金光吸收值的变化,就可以检测癌胚抗原在溶液中的浓度,快速、简便,不需要昂贵的仪器设备,易于推广使用. 展开更多

关键词 胶体金 免疫分析 癌胚抗原

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集群通信与无线局域网多天线共口径设计 被引量：7

17

作者 李业振 梁仙灵 +2 位作者 金荣洪 耿军平 郝强 《电波科学学报》 EI CSCD 北大核心 2016年第2期211-218,共8页

针对地面集群无线电通信800 MHz频段和无线局域网5 GHz频段,融合共口径技术和多输入多输出技术设计了一种新颖四单元双模式天线,该无线局域网天线采用双层微带结构结合多输入多输出技术,实现高通信容量;集群通信天线采用单层空气微带结... 针对地面集群无线电通信800 MHz频段和无线局域网5 GHz频段,融合共口径技术和多输入多输出技术设计了一种新颖四单元双模式天线,该无线局域网天线采用双层微带结构结合多输入多输出技术,实现高通信容量;集群通信天线采用单层空气微带结构结合贴片耦合馈电技术,并与无线局域网天线共口径设计,实现多天线小型化.仿真和测试结果表明：集群通信天线（驻波比小于2）的阻抗带宽为806～866 MHz,天线增益大于6 dBi;无线局域网天线的阻抗带宽为4.9～6.1 GHz,天线增益大于8 dBi;各天线间的端口隔离度大于22 dB,无线局域网天线的包络相关系数远小于0.01,满足多输入多输出天线的分集要求. 展开更多

关键词 集群通信 无线局域网 共口径 多输入多输出 包络相关系数

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MEMS镍平面弹簧非线性力学性能仿真及研究 被引量：3

18

作者 隋灵禾 戴旭涵 +1 位作者 王佩红 赵小林 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第12期736-741,共6页

工程应用中,平面微弹簧存在弹性系数的非线性现象且难以被忽略,弹簧结构的几何非线性是引起这种现象的主要原因。针对特定形状的弹簧运用Ansys软件进行了非线性有限元静力学仿真,计算出弹簧弹性力F与弹性形变x之间的对应关系,并与采用M... 工程应用中,平面微弹簧存在弹性系数的非线性现象且难以被忽略,弹簧结构的几何非线性是引起这种现象的主要原因。针对特定形状的弹簧运用Ansys软件进行了非线性有限元静力学仿真,计算出弹簧弹性力F与弹性形变x之间的对应关系,并与采用MEMS微细加工技术制得弹簧样品实测实验结果比较,相对误差低于3.2%,验证了分析模型的可靠性。而后设计了5种不同平面形状的微弹簧,仿真计算它们的力学性能曲线,以及改变弹簧臂宽度厚度后的力学性能曲线,分别进行比较以讨论影响非线性的主要因素,为弹簧的设计工作提供参考依据。 展开更多

关键词 微电子机械系统(MEMS) 平面微弹簧 弹性系数 几何非线性 ANSYS

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基于多聚焦红外图像的温度测量及三维重构 被引量：6

19

作者 刘中意 张春 胡志宇 《红外技术》 CSCD 北大核心 2015年第6期449-456,共8页

由于红外镜头景深小,测量表面超过景深范围的样品不能得到所有位置均清晰聚焦的红外图像。提出了基于多聚焦图像融合的曲面温度测量及被测物体三维重构的方法。该方法采集同一视场不同聚焦深度的红外图像,利用多聚焦图像融合算法,获取... 由于红外镜头景深小,测量表面超过景深范围的样品不能得到所有位置均清晰聚焦的红外图像。提出了基于多聚焦图像融合的曲面温度测量及被测物体三维重构的方法。该方法采集同一视场不同聚焦深度的红外图像,利用多聚焦图像融合算法,获取所有位置均清晰聚焦的红外图像,即准确的红外信息。再查温度标定表,根据灰度值可得准确的温度值。最后,利用多聚焦图像系列附带的深度信息重构出表面三维高度图。实验表明,应用此方法可以准确测量物体表面温度信息,三维重构图与全聚焦图像形成信息互补。 展开更多

关键词 红外热像 多聚焦图像融合 温度测量 三维重构

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一种新型MEMS电磁继电器的研究 被引量：1

20

作者 刘亮 赵小林 +2 位作者 戴旭涵 鲁李乐 丁桂甫 《电子器件》 CAS 2008年第5期1533-1536,共4页

介绍了一种MEMS电磁驱动微继电器,这种继电器体积小、易于集成。它采用双层1mm×1mm平面线圈和吸合式坡莫合金悬臂梁结构,层间用聚酰亚胺作绝缘材料。文中介绍了器件的工作原理,建立了磁路的仿真模型,据此计算确定了气隙宽度和悬臂... 介绍了一种MEMS电磁驱动微继电器,这种继电器体积小、易于集成。它采用双层1mm×1mm平面线圈和吸合式坡莫合金悬臂梁结构,层间用聚酰亚胺作绝缘材料。文中介绍了器件的工作原理,建立了磁路的仿真模型,据此计算确定了气隙宽度和悬臂梁厚度。采用表面微加工和微电铸工艺制作了器件。 展开更多

关键词 微机电系统(MEMS) 电磁驱动 微继电器 微电铸

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