镍基碳纳米管复合薄膜的电沉积技术 被引量：3

1

作者 诸利达 丁桂甫 +1 位作者 吴惠箐 汪红 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期506-510,共5页

本文选用多壁碳纳米管作为增强相材料,采用超声复合空气搅拌及复合电沉积技术,制备了碳管分散均匀,镀层表面平整的连续镍基碳纳米管复合薄膜。经扫描电子显微镜(SEM)观察,超声复合空气搅拌可以有效改善镀层中碳纳米管的分散性和镀层表... 本文选用多壁碳纳米管作为增强相材料,采用超声复合空气搅拌及复合电沉积技术,制备了碳管分散均匀,镀层表面平整的连续镍基碳纳米管复合薄膜。经扫描电子显微镜(SEM)观察,超声复合空气搅拌可以有效改善镀层中碳纳米管的分散性和镀层表面平整性。通过选择合适的电流密度和镀液中碳纳米管含量可以调整镀层中碳纳米管的复合量,并同时保持镀层的平整性和镀层中碳纳米管的分散性。在实验测定的几组数据中,当碳管量为6~8g/L,电流密度为5A/dm2,分散剂加入量为6ml^8ml/L,超声复合空气搅拌时,得到表面平整,碳纳米管分散良好的连续致密镀层。用碳硫分析仪测得碳纳米管复合量可达5.7%(体积百分比)。 展开更多

关键词 材料学 镍基复合材料 复合电沉积 碳纳米管

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平面线圈型MEMS微电磁驱动器的理论分析与实验研究 被引量：6

2

作者 杨昊宇 赵小林 +2 位作者 戴旭涵 邵国成 丁桂甫 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期1920-1923,共4页

介绍了一种平面线圈型电磁驱动的MEMS微驱动器,基于分段磁路的网络方程法,针对微电磁驱动器所采用的平面线圈的结构特点,比较了考虑磁动势的分布效应和传统的集总处理两种方法所建立的平面线圈微驱动器的非线性磁路模型.实验结果表明考... 介绍了一种平面线圈型电磁驱动的MEMS微驱动器,基于分段磁路的网络方程法,针对微电磁驱动器所采用的平面线圈的结构特点,比较了考虑磁动势的分布效应和传统的集总处理两种方法所建立的平面线圈微驱动器的非线性磁路模型.实验结果表明考虑线圈绕组半径不同而产生的分布效应可以为平面线圈型微驱动器建立可靠的模型,便于定量分析微驱动器结构物理参数对于磁通分布和电磁力的影响,从而为进一步优化设计该微电磁驱动器提供了理论分析依据. 展开更多

关键词 微机电系统(MEMS) 继电器 电磁驱动 非线性磁路

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电极激励超声谐振谱压电材料定征技术 被引量：1

3

作者 曾照丰 吴校生 +3 位作者 黄山 熊越夫 赵俊军 冯其云 《压电与声光》 CAS 北大核心 2021年第3期421-425,共5页

超声谐振谱(RUS)是一种压电材料单样品定征技术,避免了多样品造成的结果不自洽问题。现有的谐振谱激励方法常使用超声换能器定点激励-拾取,需要有复杂的测试装置。该文提出了一种电极激励-拾取法来获取压电谐振器的超声谐振谱,该方法测... 超声谐振谱(RUS)是一种压电材料单样品定征技术,避免了多样品造成的结果不自洽问题。现有的谐振谱激励方法常使用超声换能器定点激励-拾取,需要有复杂的测试装置。该文提出了一种电极激励-拾取法来获取压电谐振器的超声谐振谱,该方法测试装置简单,同时还可获得模态振型的对称特性,避免了反演过程中峰丢失和错峰拟合。基于现场可编程门阵列(FPGA)技术搭建了压电谐振器分组扫频激励电路,通过电荷放大器拾取谐振峰。结果表明,通过Levenberg-Marquardt算法可完成测试频谱和计算频谱的匹配,成功获得了优化后压电材料参数。 展开更多

关键词 超声谐振谱(RUS) 压电材料 定征 电极激励 LEVENBERG-MARQUARDT算法

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用于特殊环境的薄膜应变计的制备与表征

4

作者 张丛春 康志鹏 +1 位作者 雷鹏 闫博 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期589-596,共8页

使用磁控溅射制备了卡玛合金薄膜应变计,研究了退火温度对薄膜微观结构的影响,测试了薄膜的电学性能以及压阻响应特性,并进行了环境实验。结果表明,随着退火温度升高,薄膜的电阻率逐渐下降,电阻温度系数则逐渐升高,在室温下有最小的电... 使用磁控溅射制备了卡玛合金薄膜应变计,研究了退火温度对薄膜微观结构的影响,测试了薄膜的电学性能以及压阻响应特性,并进行了环境实验。结果表明,随着退火温度升高,薄膜的电阻率逐渐下降,电阻温度系数则逐渐升高,在室温下有最小的电阻温度系数(TCR),约为59.9×10^(-6)/℃,经过200℃退火处理的薄膜应变计的应变灵敏度系数(GF)为2.2,TCR为64.4×10^(-6)/℃。经历温湿循环、盐雾、霉菌试验后,薄膜的压阻特性变化不大,能耐受海洋特殊环境。 展开更多

关键词 磁控溅射 薄膜应变计 电阻温度系数 应变因子 环境实验

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微起爆序列设计及传爆与隔爆性能 被引量：10

5

作者 解瑞珍 褚恩义 +5 位作者 戴旭涵 苏谦 薛艳 任小明 刘兰 刘卫 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期1178-1184,共7页

为满足引信微小型化发展的需求,基于微机电系统(MEMS)工艺技术设计了由微起爆器、飞片、MEMS安全保险机构等构成的微起爆序列。依照国家军用标准GJB 5309.17—2004(K)火工品试验方法:轴向输出测定铝块凹痕法,对微起爆器装药、安全保险... 为满足引信微小型化发展的需求,基于微机电系统(MEMS)工艺技术设计了由微起爆器、飞片、MEMS安全保险机构等构成的微起爆序列。依照国家军用标准GJB 5309.17—2004(K)火工品试验方法:轴向输出测定铝块凹痕法,对微起爆器装药、安全保险机构传爆空腔等参数不同时内置MEMS安全保险机构起爆序列的传爆性能进行测试,获得微起爆序列理想的设计参数,即微起爆器装药密度为1.67 g/cm3、装药直径为2.0 mm、装药高度为1.5 mm,安全保险机构传爆空腔直径为1.0~2.0 mm、高度为0.65~1.50 mm.在序列优化设计基础上对微起爆序列隔爆性能及解除保险功能进行测试,发现当滑块厚度≮0.3 mm时序列正常隔爆,发射过载21000 g、转速6000 r/min条件下序列正常解除保险。结果表明,利用安全保险机构传爆空腔作为加速膛,采用微起爆器驱动飞片冲击起爆下一级装药的爆轰能量放大方式,实现了序列传爆、隔爆、解除保险功能,有效减少了起爆序列初级装药量和轴向尺寸。 展开更多

关键词 火工品 引信 微起爆序列 微起爆器 微机电系统 安全保险机构 飞片

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仿昆扑翼微飞行器中高效传动铰链的研究 被引量：9

6

作者 邹才均 张卫平 +6 位作者 柯希俊 邵云立 张伟 柴双双 胡楠 叶以楠 陈文元 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期439-444,共6页

针对仿昆扑翼微飞行器对高效传动铰链的要求,从几何约束、应力条件、临界屈曲条件等方面,结合电磁驱动仿昆扑翼微飞行器对异质复合型柔性铰链进行了研究,给出了铰链的设计方法;研究了预应力对整个传动机构并联刚度以及铰链连接方式对整... 针对仿昆扑翼微飞行器对高效传动铰链的要求,从几何约束、应力条件、临界屈曲条件等方面,结合电磁驱动仿昆扑翼微飞行器对异质复合型柔性铰链进行了研究,给出了铰链的设计方法;研究了预应力对整个传动机构并联刚度以及铰链连接方式对整个传动机构串联刚度的影响;得到了传动机构中各铰链的宽度、厚度、长度、旋转刚度等设计参数.结果表明,整个传动机构的串联刚度是其并联刚度的135倍,满足了高效传递能量的要求;翅膀扑打角峰峰值达到了99.6°,较好符合了仿昆扑翼微飞行器的设计要求. 展开更多

关键词 扑翼微飞行器 复合型柔性铰链 设计方法

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微型电磁式振动能量采集器的设计和电磁特性仿真研究 被引量：6

7

作者 王佩红 戴旭涵 +1 位作者 方东明 赵小林 《合肥工业大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期518-521,526,共5页

为了设计出结构合理、性能优良的微型电磁式振动能量采集器,利用Ansoft Maxwell软件对模型的结构参数和输出电动势之间的关系进行有限元仿真,分析发现:随着圆形永磁体厚度、悬臂梁振幅的增加及悬臂梁和永磁体间距的减小,输出电动势逐渐... 为了设计出结构合理、性能优良的微型电磁式振动能量采集器,利用Ansoft Maxwell软件对模型的结构参数和输出电动势之间的关系进行有限元仿真,分析发现:随着圆形永磁体厚度、悬臂梁振幅的增加及悬臂梁和永磁体间距的减小,输出电动势逐渐增加;在永磁体半径不断增加的过程中,输出电动势会出现一极大值。根据优化原则设计出结构参数如下的模型:圆形SmCo28永磁体厚度为1 mm,半径为2 mm,悬臂梁振幅为1 mm,永磁体和悬臂梁之间的距离为1.02 mm。该模型的最大输出电动势为26 mV,最大输出功率为5.633μW。 展开更多

关键词 半导体技术 电磁式振动能量采集器 结构优化 计算机仿真 输出特性

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一种新型双稳态微机电系统电磁微继电器的研制 被引量：3

8

作者 付世 丁桂甫 王艳 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1947-1950,1954,共5页

介绍了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新型双稳态电磁微继电器的设计及其制作工艺,并对其主要性能进行了测试.利用换向脉冲电流驱动高效的“三明治”式电磁驱动结构,带动电接触刷的运动来控制外电路的通断;辅助设计的永磁稳定结构使器... 介绍了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新型双稳态电磁微继电器的设计及其制作工艺,并对其主要性能进行了测试.利用换向脉冲电流驱动高效的“三明治”式电磁驱动结构,带动电接触刷的运动来控制外电路的通断;辅助设计的永磁稳定结构使器件在脉冲间歇能够保持稳定状态而无需额外功耗.测试结果表明,这种新型电磁微继电器具有体积小,功耗低,响应速度快,接触电阻小等优点. 展开更多

关键词 微机电系统 电磁微继电器 双稳态

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超短激光诱导金属薄膜后向层裂的分子动力学模拟(英文) 被引量：2

9

作者 刘璇 周伟民 +1 位作者 赵丽杰 张亚非 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1908-1912,共5页

采用结合双温模型的分子动力学方法详尽描述了应力约束区域内部金属薄膜后向层裂的动力学过程。与辐照表面在激光加热作用下机械稳定性受到强烈影响而发生的前向喷射不同,后向层裂是冷材料的断裂。分析了层裂机制,得出靶材是在卸载波及... 采用结合双温模型的分子动力学方法详尽描述了应力约束区域内部金属薄膜后向层裂的动力学过程。与辐照表面在激光加热作用下机械稳定性受到强烈影响而发生的前向喷射不同,后向层裂是冷材料的断裂。分析了层裂机制,得出靶材是在卸载波及被反射的压力波的共同作用下发生层裂;探讨了激光诱导压力波的传播规律,预测了不同靶厚下的层裂厚度及其对层裂开始时间的影响。 展开更多

关键词 后向层裂 超短激光 分子动力学 金属薄膜

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红外显微热成像系统研究及应用 被引量：8

10

作者 岳静静 吴之茂 +3 位作者 木二珍 罗宏 姜杰 胡志宇 《红外技术》 CSCD 北大核心 2017年第11期973-978,共6页

红外显微热成像系统基于红外热成像、红外图像处理和光学显微技术,能够分析微小物体或局部细节的温度变化,具有无损检测、灵敏度高等优点。对红外显微热成像系统的研究背景进行了概括,介绍了它的基本原理和系统组成,总结了红外显微热成... 红外显微热成像系统基于红外热成像、红外图像处理和光学显微技术,能够分析微小物体或局部细节的温度变化,具有无损检测、灵敏度高等优点。对红外显微热成像系统的研究背景进行了概括,介绍了它的基本原理和系统组成,总结了红外显微热成像系统的研究现状及其在微电子器件检测、医学诊断、科学实验研究等方面的应用进展,对其存在的问题进行了分析,并且展望了红外显微热成像系统的未来发展趋势。 展开更多

关键词 红外热成像 红外探测器 红外显微热成像系统

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基于NSCT-PCNN的多聚焦红外图像融合 被引量：6

11

作者 岳静静 李茂忠 +2 位作者 陈骥 罗永芳 胡志宇 《红外技术》 CSCD 北大核心 2017年第9期798-806,共9页

由于红外镜头景深的限制,为获得场景中所有区域都聚焦清晰的图像,提出一种在非下采样轮廓波变换(NSCT)域结合改进的脉冲耦合神经网络(PCNN)的多聚焦红外图像的融合算法。首先通过NSCT将图像分解为不同尺度和方向的子带;低频子带图像利... 由于红外镜头景深的限制,为获得场景中所有区域都聚焦清晰的图像,提出一种在非下采样轮廓波变换(NSCT)域结合改进的脉冲耦合神经网络(PCNN)的多聚焦红外图像的融合算法。首先通过NSCT将图像分解为不同尺度和方向的子带;低频子带图像利用基于一致性验证的特征选择规则进行融合;对于高频子带,采用改进的空域频率激励PCNN模型,选择点火时间最大的系数进行融合;最后通过NSCT反变换得到融合图像。通过多组同一场景不同聚焦位置下的红外图像融合实验,结果分析表明该算法能从源图像中获得更多的信息,更好地保留源图像的边缘信息,融合效果优于相关算法。 展开更多

关键词 红外图像 多聚焦图像融合 脉冲耦合神经网络 非下采样轮廓波变换

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UV-LIGA中光源波长和曝光量对SU-8光刻胶微结构的影响

12

作者 张晔 陈迪 +2 位作者 张金娅 朱军 刘景全 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期437-440,共4页

基于UV-LIGA技术采用SU-8光刻胶制备了高深宽比微结构,最高深宽比达20:1.研究了改变光源的波长和曝光量对SU-8光刻胶成形的影响,揭示了在一定范围内线宽随曝光量非线性变化的规律.从聚合度和聚合所得高分子结构两方面对该变化规律给出... 基于UV-LIGA技术采用SU-8光刻胶制备了高深宽比微结构,最高深宽比达20:1.研究了改变光源的波长和曝光量对SU-8光刻胶成形的影响,揭示了在一定范围内线宽随曝光量非线性变化的规律.从聚合度和聚合所得高分子结构两方面对该变化规律给出了合理的解释,并基于该变化规律提出了一种新的消除微结构倒角的方法. 展开更多

关键词 UV-LIGA技术 SU-8胶 高深宽比微结构 倒角

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一种基于MEMS的主动式光纤连接器

13

作者 张丹 丁桂甫 +2 位作者 蔡玉丽 王艳 杨卓青 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第4期92-93,96,共3页

介绍一种基于MEMS技术的主动式光纤连接器,上层为双层结构电热驱动器,下层为硅V型槽。双层结构在常温下作为压制光纤的盖板,通电后作为单稳态电热驱动器,盖板翘曲,放入或取出光纤。利用Ansys有限元分析软件并结合工艺条件,对热驱动器部... 介绍一种基于MEMS技术的主动式光纤连接器,上层为双层结构电热驱动器,下层为硅V型槽。双层结构在常温下作为压制光纤的盖板,通电后作为单稳态电热驱动器,盖板翘曲,放入或取出光纤。利用Ansys有限元分析软件并结合工艺条件,对热驱动器部件的性能进行了分析与仿真。利用表面硅工艺和体硅工艺制备出核心驱动部分,检测盖板翘曲情况下性能。 展开更多

关键词 光纤连接器 微机电系统 双层薄膜

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高温ITO薄膜应变计制备及压阻性能 被引量：5

14

作者 杨伸勇 张丛春 +5 位作者 杨卓青 李红芳 姚锦元 黄漫国 汪红 丁桂甫 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期145-150,共6页

高温薄膜应变计被广泛应用于极端条件热端构件的应变测量。ITO薄膜应变计通常能够应用于1000℃以上的应变测量,为了研究ITO薄膜的显微结构、XPS光谱、阻温特性及压阻响应,采用磁控溅射在陶瓷基底上制备了ITO薄膜应变计,并在高温纯N2中... 高温薄膜应变计被广泛应用于极端条件热端构件的应变测量。ITO薄膜应变计通常能够应用于1000℃以上的应变测量,为了研究ITO薄膜的显微结构、XPS光谱、阻温特性及压阻响应,采用磁控溅射在陶瓷基底上制备了ITO薄膜应变计,并在高温纯N2中热处理ITO薄膜。结果表明,其电阻温度系数稳定在-750×10-6℃-1,在1200℃下测试其应变特性,测得电阻漂移率为0.0018 h-1,应变因子为16。ITO薄膜在高温下具有稳定的电阻温度系数和低漂移率,为高温端部件应变的测量提供了可能。 展开更多

关键词 ITO薄膜应变计 热处理 高温应变测量 电阻温度系数

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一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器的研究 被引量：4

15

作者 张晓鹏 戴旭涵 +2 位作者 苗小丹 丁桂甫 赵小林 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第6期117-120,共4页

介绍了一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器,通过理论分析和有限元分析工具Ansys对器件的结构参数进行了优化设计,并证明了设计的可行性。利用金属基表面微加工技术与体硅微加工技术成功制作出这种驱动器,并对其弹性平台的弹性系数进行了标... 介绍了一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器,通过理论分析和有限元分析工具Ansys对器件的结构参数进行了优化设计,并证明了设计的可行性。利用金属基表面微加工技术与体硅微加工技术成功制作出这种驱动器,并对其弹性平台的弹性系数进行了标定,对驱动器的双稳态进行了调试。结果表明:此驱动器具有良好的双稳特性,响应时间短(约10m s)的特点。 展开更多

关键词 微机电系统 电磁驱动 微电铸 湿法腐蚀

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胶体金标记免疫凝集光度法检测癌胚抗原 被引量：3

16

作者 敖丽梅 高峰 +2 位作者 潘碧峰 崔大祥 贺蓉 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1448-1451,共4页

利用胶体金特殊的光学性能,结合抗原抗体相互反应的免疫分析技术,建立一种基于胶体金标记技术的免疫凝集方法分析检测癌胚抗原.采用胶体金纳米粒子分别标记癌胚抗原的两种抗体,通过免疫夹心反应,使胶体金粒子之间凝集形成网络结构,从而... 利用胶体金特殊的光学性能,结合抗原抗体相互反应的免疫分析技术,建立一种基于胶体金标记技术的免疫凝集方法分析检测癌胚抗原.采用胶体金纳米粒子分别标记癌胚抗原的两种抗体,通过免疫夹心反应,使胶体金粒子之间凝集形成网络结构,从而引起反应体系光学性质的改变.随着癌胚抗原量的增加,抗原与胶体金粒子标记抗体的反应量不断增加,网络结构也越来越大,使得胶体金粒子在646 nm处的吸收值不断增加.根据胶体金吸光值的变化,检测溶液中癌胚抗原的浓度,最低检测极限为15μg/L.该方法只需要测量胶体金光吸收值的变化,就可以检测癌胚抗原在溶液中的浓度,快速、简便,不需要昂贵的仪器设备,易于推广使用. 展开更多

关键词 胶体金 免疫分析 癌胚抗原

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基于热电堆的新型高温薄膜热流传感器的研制 被引量：6

17

作者 郭林琪 张梅菊 +4 位作者 金毅 王禹森 胡国胜 杨伸勇 张丛春 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第9期1167-1173,共7页

精确的热流测量对航空发动机设计至关重要,实时监测和获取发动机涡轮叶片表面精确的热流分布可以为航空发动机热端部件设计提供依据,也可以进行状态监测和故障诊断。薄膜热流传感器具有体积小、响应速度快、对工作环境的流动干扰小等优... 精确的热流测量对航空发动机设计至关重要,实时监测和获取发动机涡轮叶片表面精确的热流分布可以为航空发动机热端部件设计提供依据,也可以进行状态监测和故障诊断。薄膜热流传感器具有体积小、响应速度快、对工作环境的流动干扰小等优点。然而,目前能够应用于高温高热流环境中测量的薄膜热流传感器在灵敏度方面仍然存在较大的局限性。设计和制造了基于铂铑热电堆的新型高温薄膜热流传感器。该传感器由Pt/Pt-13Rh薄膜热电堆、底层SiO_(2)/Al_(2)O_(3)热阻层、顶层Al_(2)O_(3)保护层组成,底层SiO_(2)/Al_(2)O_(3)热阻层位于Al_(2)O_(3)陶瓷基底和热电堆之间。传感器分别在0~110 kW/m^(2)的热流和1 000℃的温度下进行了测试。测试结果显示,传感器的输出与施加的热流表现出良好的线性关系,灵敏度为8.04×10^(-6)V/(kW/m^(2)),实验数据与仿真结果相近。具有Al_(2)O_(3)保护层的传感器在1 000℃中保温3 h后电阻、灵敏度及响应特性基本上不受影响。设计的新型高温薄膜热流传感器具有较高的灵敏度和可靠性,将为高温环境中的热流测量提供一种新方法。 展开更多

关键词 薄膜热流传感器 Pt/Pt-13Rh热电堆 塞贝克效应 高温高热流

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集群通信与无线局域网多天线共口径设计 被引量：7

18

作者 李业振 梁仙灵 +2 位作者 金荣洪 耿军平 郝强 《电波科学学报》 EI CSCD 北大核心 2016年第2期211-218,共8页

针对地面集群无线电通信800 MHz频段和无线局域网5 GHz频段,融合共口径技术和多输入多输出技术设计了一种新颖四单元双模式天线,该无线局域网天线采用双层微带结构结合多输入多输出技术,实现高通信容量;集群通信天线采用单层空气微带结... 针对地面集群无线电通信800 MHz频段和无线局域网5 GHz频段,融合共口径技术和多输入多输出技术设计了一种新颖四单元双模式天线,该无线局域网天线采用双层微带结构结合多输入多输出技术,实现高通信容量;集群通信天线采用单层空气微带结构结合贴片耦合馈电技术,并与无线局域网天线共口径设计,实现多天线小型化.仿真和测试结果表明：集群通信天线（驻波比小于2）的阻抗带宽为806～866 MHz,天线增益大于6 dBi;无线局域网天线的阻抗带宽为4.9～6.1 GHz,天线增益大于8 dBi;各天线间的端口隔离度大于22 dB,无线局域网天线的包络相关系数远小于0.01,满足多输入多输出天线的分集要求. 展开更多

关键词 集群通信 无线局域网 共口径 多输入多输出 包络相关系数

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基于多聚焦红外图像的温度测量及三维重构 被引量：6

19

作者 刘中意 张春 胡志宇 《红外技术》 CSCD 北大核心 2015年第6期449-456,共8页

由于红外镜头景深小,测量表面超过景深范围的样品不能得到所有位置均清晰聚焦的红外图像。提出了基于多聚焦图像融合的曲面温度测量及被测物体三维重构的方法。该方法采集同一视场不同聚焦深度的红外图像,利用多聚焦图像融合算法,获取... 由于红外镜头景深小,测量表面超过景深范围的样品不能得到所有位置均清晰聚焦的红外图像。提出了基于多聚焦图像融合的曲面温度测量及被测物体三维重构的方法。该方法采集同一视场不同聚焦深度的红外图像,利用多聚焦图像融合算法,获取所有位置均清晰聚焦的红外图像,即准确的红外信息。再查温度标定表,根据灰度值可得准确的温度值。最后,利用多聚焦图像系列附带的深度信息重构出表面三维高度图。实验表明,应用此方法可以准确测量物体表面温度信息,三维重构图与全聚焦图像形成信息互补。 展开更多

关键词 红外热像 多聚焦图像融合 温度测量 三维重构

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新型复合结构电热微驱动器的研制 被引量：2

20

作者 曾文光 丁桂甫 +2 位作者 王艳 付世 蔡玉丽 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第5期117-120,共4页

在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明:新型电... 在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明:新型电热微驱动器有更低的能耗和更大的位移。采用非硅表面微加工技术,成功制备了新型复合结构电热微驱动器。 展开更多

关键词 聚合物 复合结构 电热微驱动器 有限元分析 非硅表面微加工

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