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超短激光诱导金属薄膜后向层裂的分子动力学模拟(英文) 被引量:2
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作者 刘璇 周伟民 +1 位作者 赵丽杰 张亚非 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1908-1912,共5页
采用结合双温模型的分子动力学方法详尽描述了应力约束区域内部金属薄膜后向层裂的动力学过程。与辐照表面在激光加热作用下机械稳定性受到强烈影响而发生的前向喷射不同,后向层裂是冷材料的断裂。分析了层裂机制,得出靶材是在卸载波及... 采用结合双温模型的分子动力学方法详尽描述了应力约束区域内部金属薄膜后向层裂的动力学过程。与辐照表面在激光加热作用下机械稳定性受到强烈影响而发生的前向喷射不同,后向层裂是冷材料的断裂。分析了层裂机制,得出靶材是在卸载波及被反射的压力波的共同作用下发生层裂;探讨了激光诱导压力波的传播规律,预测了不同靶厚下的层裂厚度及其对层裂开始时间的影响。 展开更多
关键词 后向层裂 超短激光 分子动力学 金属薄膜
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基于柔性衬底的三维生物刺激微电极阵列研究 被引量:2
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作者 周然 陈迪 +3 位作者 黄闯 陈翔 刘景全 朱军 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第5期134-136,共3页
设计了一种基于聚酰亚胺薄膜的三维生物刺激微电极阵列,用于植入式人造视网膜应用。采用非硅MEMS技术,在柔性衬底上制备出具有生物相容性和化学稳定性,电极高度为80μm的生物刺激电极阵列,通过PDMS牺牲层实现器件从基底的完整释放。实... 设计了一种基于聚酰亚胺薄膜的三维生物刺激微电极阵列,用于植入式人造视网膜应用。采用非硅MEMS技术,在柔性衬底上制备出具有生物相容性和化学稳定性,电极高度为80μm的生物刺激电极阵列,通过PDMS牺牲层实现器件从基底的完整释放。实验中器件以聚酰亚胺和PDMS封装,电极柱和焊盘均镀金,从而提高电极的生物相容性。采用三电极法对微电极进行了电化学性能测试,在10-1~105Hz频率范围内,其阻抗为1.5~0.3 kΩ。制造出的器件尺寸小,质量轻,可靠性高,机械柔性好,符合生物电刺激要求。 展开更多
关键词 生物电极 视觉假体 MEMS技术
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