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直径1mm电磁型实用超微马达的设计 被引量:5
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作者 李振波 张琛 +1 位作者 赵小林 杨春生 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期163-166,共4页
微马达是微电子机械系统 (MEMS)的核心器件之一 ,其体积的大小和性能的优劣将直接影响 MEMS的总体品质。本文详细论述了直径 1m m超微马达的设计思想 ,并提出将遗传算法应用于超微马达的参数设计。马达运行结果表明其性能指标与设计基... 微马达是微电子机械系统 (MEMS)的核心器件之一 ,其体积的大小和性能的优劣将直接影响 MEMS的总体品质。本文详细论述了直径 1m m超微马达的设计思想 ,并提出将遗传算法应用于超微马达的参数设计。马达运行结果表明其性能指标与设计基本相符 。 展开更多
关键词 微电子机械系统 超微马达 遗传算法 约束优化
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