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半导体甲烷传感器阵列构建及其硫化氢识别方法研究
1
作者
张凯
曾敏
杨志
《传感器与微系统》
北大核心
2025年第7期54-57,62,共5页
在海洋甲烷(CH_(4))探测过程中,常常伴有强腐蚀性有害气体硫化氢(H_(2)S),它能使CH_(4)传感器的敏感材料发生中毒失效。为快速分析CH_(4)气体中是否含有H_(2)S气体,选用两类CH_(4)半导体传感器进行2×3组阵。通过采集电路串接的程...
在海洋甲烷(CH_(4))探测过程中,常常伴有强腐蚀性有害气体硫化氢(H_(2)S),它能使CH_(4)传感器的敏感材料发生中毒失效。为快速分析CH_(4)气体中是否含有H_(2)S气体,选用两类CH_(4)半导体传感器进行2×3组阵。通过采集电路串接的程控电位器精确调整传感器灵敏度,使传感器阵列的输出具有特征图谱数据,依据特征图谱数据内在的排列关系能快速对CH_(4)和H_(2)S气体进行分类。该传感器阵列输出特征图谱数据对识别单一CH_(4)气体、单一H_(2)S气体、CH_(4)+H_(2)S混合气体的准确率优于99%以上,为快速评估H_(2)S气体对CH_(4)传感器的有害影响提供一种有效的技术方法。
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关键词
甲烷传感器
传感器阵列
硫化氢检测
气体分类
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职称材料
题名
半导体甲烷传感器阵列构建及其硫化氢识别方法研究
1
作者
张凯
曾敏
杨志
机构
上海交通大学
微米纳米加工技术全国重点实验室
上海交通大学信息与电子工程学院/集成电路学院
出处
《传感器与微系统》
北大核心
2025年第7期54-57,62,共5页
文摘
在海洋甲烷(CH_(4))探测过程中,常常伴有强腐蚀性有害气体硫化氢(H_(2)S),它能使CH_(4)传感器的敏感材料发生中毒失效。为快速分析CH_(4)气体中是否含有H_(2)S气体,选用两类CH_(4)半导体传感器进行2×3组阵。通过采集电路串接的程控电位器精确调整传感器灵敏度,使传感器阵列的输出具有特征图谱数据,依据特征图谱数据内在的排列关系能快速对CH_(4)和H_(2)S气体进行分类。该传感器阵列输出特征图谱数据对识别单一CH_(4)气体、单一H_(2)S气体、CH_(4)+H_(2)S混合气体的准确率优于99%以上,为快速评估H_(2)S气体对CH_(4)传感器的有害影响提供一种有效的技术方法。
关键词
甲烷传感器
传感器阵列
硫化氢检测
气体分类
Keywords
CH_(4)sensor
sensor arrays
H_(2)S detection
gas classification
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
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1
半导体甲烷传感器阵列构建及其硫化氢识别方法研究
张凯
曾敏
杨志
《传感器与微系统》
北大核心
2025
0
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